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6 Instandhaltung
6.1 Messröhre abgleichen
Benötigtes Werkzeug
Vorgehen
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Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen
sind, sowie Verschleißteile (Heizfaden), fallen nicht unter die Gewähr-
leistung.
GEFAHR
GEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden ver-
ursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä-
gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen
erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug
benutzen.
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Durch Einsatz unter anderen klimatischen
Bedingungen, durch extreme Temperaturen, Alterung, Verschmutzung oder durch
Austauschen des Sensors kann eine Verschiebung der Kennlinie stattfinden und
ein Nachabgleich oder eine Reinigung notwendig werden.
Der für den tiefen Druckbereich (<1×10
ist werksseitig fest abgeglichen. Hingegen kann der Pirani-Messkreis nachjustiert
werden. Beim Abgleichen wird der Druckbereich zwischen etwa 10
2
10
mbar kaum beeinflusst.
•
Schraubendreher 1.5 mm
•
Zylindrischer Stift ø≈3 mm
Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter auf
Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen (→ 15).
Messröhre in Betrieb nehmen (möglichst in der gleichen Lage, in der sie
später betrieben wird).
Evakuieren auf p << 10
-3
mbar) dominante Kaltkathoden-Messkreis
-4
mbar, anschließend >10 Minuten warten.
-2
mbar und
tina48d1-c
(2017-10)
MPG400-401.ga
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