Störungsbehebung - INFICON MPG400 Gebrauchsanleitung

6.4 Störungsbehebung
tina48d1-c (2017-10) MPG400-401.ga
Störung
Messsignal dauernd <0.5 V
"Error low".
Messsignal dauernd >9.5 V
"Error high".
Grüne Lampe leuchtet und
Status zeigt reinen Pirani-
Betrieb an (Messsignal
dauernd >4.0 V).
Messsignal dauernd > 5 V
-3
oder Anzeige >10 mbar,
trotz gutem Vakuum.
Messsignal instabil.
Mögliche Ursache
Speisung fehlt.
Pirani-Messelement
defekt (Fadenbruch).
Elektronikeinheit nicht
vollständig aufgesteckt.
Kaltkathoden-Entladung
hat nicht gezündet.
MPG wurde erst einge-
schaltet bei
-9
p <3×10 mbar
Pirani-Messkreis nicht
abgeglichen z.B. stark
verschmutzt.
Messung schwerer
Gase.
Starkes Abgasen in der
Kaltkathoden-Mess-
kammer.
Messröhre verschmutzt.
Behebung
Speisung einschalten.
Pirani-Messelement
ersetzen
(MPG400 →  20)
(MPG401 →  23).
Elektronikeinheit voll-
ständig aufstecken
(MPG400 →  20)
(MPG401 →  24).
Warten, bis Gasent-
ladung zündet. (Bei Ver-
unreinigung mit isolie-
renden Schichten ist
totaler Ausfall möglich.)
(Reinigung
MPG400 →  18
MPG401 →  21).
Ein wenig Gas einlassen.
Pirani-Messkreis ab-
gleichen (→  16) oder
Piranielement ersetzen,
falls nicht mehr abgleich-
bar.
Umrechnen gemäß
Gasartabhängigkeit
(→  30).
Messkammer reinigen.
Messröhre reinigen
(MPG400 →  18)
(MPG401 →  21).
25