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B: Gasartabhängigkeit - INFICON MPG400 Gebrauchsanleitung

Inverted magnetron pirani gauge
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Gasartabhängigkeit
B:
Anzeigebereich über 10
(reiner Pirani-Betrieb)
Anzeigebereich von
-6
10
... 0.1 mbar
30
-2
mbar
Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen).
p (mbar)
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
H
O-Dampf
2
10
–2
10
–3
2
4 6
Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen).
p (mbar)
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
10
–4
8
6
4
2
10
–5
8
6
4
2
10
–6
10
–6
2
4 6
Anzeigenbereich
über 10
mbar
-2
10
–2
10
–1
8
2
4 6 8
2
4 6 8
Anzeigenbereich
10
... 10
mbar
-6
-1
Ar
Luft
N
2
O
2
CO
He
10
10
–5
–4
8
2
4 6 8
2
4 6
8
H
He
Ne
2
Luft
N
2
O
2
CO
CO
Ar
Freon 12
Kr
Xe
10
0
10
1
2
4 6 8
2
4 6 8
p
(mbar)
eff
10
10
10
–3
–2
2
4 6
8
2
4 6
8
p
(mbar)
eff
tina48d1-c
2
10
2
–1
(2017-10)
MPG400-401.ga

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