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2.2
Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)
p [mbar]
4
2
10
3
8
6
4
2
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
0
10
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
8
6
4
2
–4
10
10
–4
2
4 6
Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar
Gasart
He
Ne
Ar
Kr
Xe
24
sensor
10
–3
10
–2
10
2
4 6
2
4 6
p
= C × angezeigter Druck
eff
Kalibrier-
faktor C
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
Kapazitiver
Pirani-
Misch-
Membran-
bereich
Luft, O
He
Ar
–1
10
0
10
1
2
4 6
2
4 6
Gasart
H
2
Luft, O
, CO, N
2
CO
2
Wasserdampf
Freon 12
Sensor
, CO, N
2
2
10
2
10
3
2
4 6
2
4 6
2
p
[mbar]
eff
Kalibrier-
faktor C
0.5
1.0
2
0.9
0.5
0.7
tina56d1-h
(2019-02)
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