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Gasartabhängigkeit - INFICON PSG550 Gebrauchsanleitung

Pirani standard gauge
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2.2
Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)
p (mbar)
10
2
8
6
4
2
10
1
8
6
4
2
10
0
8
6
4
2
10
–1
8
6
4
2
H
O-Dampf
2
10
–2
8
6
4
2
10
–3
10
–3
2
Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar
Gasart
He
Ne
Ar
Kr
Xe
24
10
10
–2
–1
6
6
4
2
4
p
= C × angezeigter Druck
eff
Kalibrier-
faktor C
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
H
He
2
10
0
6
6
2
4
2
4
Gasart
H
2
Luft, O
, CO, N
2
CO
2
Wasserdampf
Freon 12
Ne
Luft / Air
O
2
CO
N
2
CO
2
Ar
Freon 12
Kr
Xe
10
10
1
2
6
2
4
p
(mbar)
eff
Kalibrier-
faktor C
0.5
1.0
2
0.9
0.5
0.7
tina60d1-b
(2017-10)

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Diese Anleitung auch für:

Psg554Psg552

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