Betriebsarten; Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten - Micro-Epsilon Interferometer Ims5420-Th Benutzerhandbuch

Betriebsarten

Bei Lasereinrichtungen der Klasse 1 kann eine Beein-
trächtigung des Farbsehens und Belästigung nicht
ausgeschlossen werden, z.B. durch Blendwirkung.
Am Controller signalisiert eine LED, dass aus der opti-
schen Öffnung der Lichtquelle Pilot Laserstrahlung
austritt.
Betriebsarten
Das Messsystem interferoMETER misst hochpräzise
- Dicken bei transparenten Schicht-Materialien, z. B.
Silizium-Wafer, bei einer Wellenlänge von 1100 nm.
Silizium
0,05 ... 1,05 mm
Luft
0,2 ... 4 mm
Messbereiche bei Dickenmessung
Die mögliche Auflösung liegt dabei im Nanometerbe-
reich.
Für einen Schnelleinstieg empfiehlt sich die Verwen-
dung von gespeicherten Konfigurationen (Presets) für
verschiedene Messobjektoberflächen und Anwendun-
gen, siehe Betriebsanleitung Kap. 6.6.
1) Messbereich bei n=3,82 (Silizium); Messbare Dicke
abhängig von Dotierung
2) Bei Luftspaltmessung zwischen zwei Glasplatten
(n~1) beträgt der Messbereich 0,2 ... 4 mm. Das
Messobjekt muss sich innerhalb des Arbeitsabstan-
des befinden.
IMS5420-TH / IMS5420MP-TH / IMS5420IP67-TH / IMS5420IP67MP-TH
1
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Systemaufbau, Anschlussmöglichkeiten
Verbinden Sie die Komponenten miteinander, bau-
en Sie die Sensoren in die Halterungen ein.
Patchkabel 2x RJ45
Controller
Patchkabel 2x RJ45
PS 2020
SC2471-x/RS422/OE
IF2001/USB
Anschlussbeispiele am IMS5420, IMS5420MP
2-Port
Switch /
EtherCAT-
Hub
Abzweigung
Run
X1
X2
IPC
SPS
Sensor
USB
IPC
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