Anzahl Peaks - Micro-Epsilon Interferometer Ims5420-Th Benutzerhandbuch
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Inbetriebnahme
Anzahl Peaks
Anzahl der Peaks des FFT-Signals, die zur Auswertung bei der Dickenmessung verwendet werden. Die Auswahl der
Peakanzahl erfolgt im Menü Einstellungen > Messwertaufnahme > Anzahl Peaks.
Diese Funktion ist für folgende Systeme möglich:
- IMS5420MP und IMS5420IP67MP: maximal 5 Schichten
Achten Sie auf die richtige Zählweise der Peaks, siehe Kap. Übersicht mögliche Presets.
Die Materialauswahl für eine Dickenmessung startet mit der dünnsten Schicht (Schicht 1) unabhängig von der physi-
kalischen Anordnung im Messobjekt.
Beispiel für eine Schicht aus Silizium und Spalt, Messpeak-Sortierung: Erster, zugehörige Materialauswahl
IMP-TH
Silizium
Peak 3
Spalt
0
20
40
IMS5420-TH / IMS5420MP-TH / IMS5420IP67-TH / IMS5420IP67MP-TH
Peak 2
Peak 1
Bereich [%]
60
80
100
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