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Betrieb im chemischen Ionisationsmodus (CI)
Überwachen des Hochvakuumdrucks im CI-Modus
Wenn Sie Wasserstoff als Trägergas verwenden, schalten Sie die
WARNUNG
Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung nicht aus, wenn sich in der Kammer
möglicherweise Wasserstoff angesammelt hat. Lesen Sie den Abschnitt
„Wasserstoff-Sicherheit", bevor Sie den MSD mit Wasserstoff als Trägergas
einsetzen.
Vorgehensweise
1 Starten Sie den MSD, und pumpen Sie den MSD ab. Siehe
2 Wählen Sie in der Ansicht „Tune and Vacuum Control" im Menü Vacuum die
3 In der Ansicht „Instrument Control" können Sie eine MS-Überwachung für
Die Messeinrichtung wird nicht eingeschaltet, wenn der Druck im MSD
oberhalb von ca. 8 × 10
kalibriert, jedoch gelten die in diesem Handbuch aufgelisteten Drücke für
Helium.
Den größten Einfluss auf den Betriebsdruck hat der Trägergasfluss
(Säulenfluss).
verschiedene Gasflüsse mit Helium als Trägergas auf. Diese Drücke sind
ungefähre Werte und variieren von Gerät zu Gerät.
126
MSD im CI-Modus"
auf Seite 106.
Option Turn Vacuum Gauge on/off aus.
Messwerte einrichten. Das Vakuum kann auch am lokalen Bedienfeld oder
im Bildschirm „Manual Tune" abgelesen werden.
Tabelle 20
-3
Torr liegt. Die Messvorrichtung ist für Stickstoff
auf Seite 127 listet die typischen Drücke für
„Abpumpen des
5977 MSD Benutzerhandbuch
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