Agilent Technologies 5977 Benutzerhandbuch Seite 70

3
Betrieb im Elektronenionisationsmodus (EI)
4 Klicken Sie auf die Registerkarte Values, um den Messwert „HiVac"
Den größten Einfluss auf den Betriebsdruck im EI-Modus hat der
Trägergasfluss (Säulenfluss).
verschiedene Gasflüsse mit Helium als Trägergas auf. Diese Drücke sind
ungefähre Werte und variieren von Gerät zu Gerät um ca. 30%.
Tabelle 13 Messwerte des Ionen-Vakuummeters
Säulenflussrate,
ml/Min
0.5
0.7
1
1.2
2
70
anzuzeigen.
Optionaler
Messwert an der
Messvorrichtung, Torr
Leistungs-Turbopumpe
3.18E–06
4.42E–06
6.26E–06
7.33E–06
1.24E–05
Tabelle 13 listet die typischen Drücke für
Messwert an der
Messvorrichtung, Torr
Diffusions-Pumpe
2.18E–05
2.59E–05
3.66E–05
4.46E–05
7.33E–05
Vordruckmesswert,
Torr
Diffusions-Pumpe
34.7
39.4
52.86
60.866
91.784
5977 MSD Benutzerhandbuch