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Typische Druckmesswerte
Verwenden Sie die Mikro-Ionen-Vakuummessvorrichtung G3397B.
Beachten Sie, dass der Massenfluss-Controller für Methan und die
Vakuummessvorrichtung für Stickstoff kalibriert ist, sodass diese Messungen
nicht exakt sind, jedoch als Orientierung für typische festgestellte Messwerte
dienen
Bedingungen erfasst. Beachten Sie, dass es sich um typische
PCI-Temperaturen handelt:
Quellentemperatur
Quadtemperatur
Verbindungstemperatur
Helium-Trägergasfluss
Tabelle 20 Massenfluss-Controller-Einstellungen und typische Messwerte
MFC
(%)
10
15
20
25
30
35
40
Machen Sie sich mit den Messungen auf Ihrem System unter
Betriebsbedingungen vertraut, und achten Sie auf Veränderungen, die auf ein
Vakuum- oder Gasflussproblem hinweisen könnten. Messungen können von
einem MSD zum anderen bzw. von einer Messvorrichtung zu einer anderen um
bis zu 30% abweichen.
5977 MSD Benutzerhandbuch
(Tabelle 20
auf Seite 127). Diese wurden unter den folgenden
250 °C
150 °C
280 °C
1 ml/Min
Druck (Torr)
Methan
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
10
–5
×
5.5
10
–5
×
8.0
10
–4
×
1.0
10
–4
×
1.2
1
–4
×
1.5
10
–4
×
2.0
10
–4
×
2.5
Betrieb im chemischen Ionisationsmodus (CI)
Ammoniak
EI/PCI/NCI-MSD
(Leistungs-Turbopumpe)
–5
×
5.0
10
–5
×
7.0
10
–5
×
8.5
10
–4
×
1.0
10
–4
×
1.2
10
–4
×
1.5
10
–4
×
2.0
10
4
127
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