Agilent Technologies 5977 Benutzerhandbuch Seite 71

Tabelle 13 Messwerte des Ionen-Vakuummeters
Säulenflussrate,
ml/Min
3
4
6
Wenn der Druck konstant über den aufgelisteten Werten liegt, lesen Sie in der
Online-Hilfe der MassHunter Data Acquisition-Software die Informationen zur
Fehlerbehebung bei Luftlecks und anderen Vakuumproblemen.
In der Ansicht „Instrument Control" können Sie eine MS-Überwachung zum
Anzeigen dieses Vakuummesswerts einrichten. Das Vakuum kann auch am
lokalen Bedienfeld oder im Bildschirm „Manual Tune" abgelesen werden.
5977 MSD Benutzerhandbuch
Betrieb im Elektronenionisationsmodus (EI)
Optionaler
Messwert an der
Messvorrichtung, Torr
Leistungs-Turbopumpe
1.86E–05
2.48E–05
3.75E–05
Messwert an der
Messvorrichtung, Torr
Diffusions-Pumpe
1.13E–04
3
Vordruckmesswert,
Torr
Diffusions-Pumpe
125.76
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