Gasspülung; Stilllegung - Edwards XDS Serie Betriebsanleitung

Verdünnen Sie alle entflammbaren Gase bzw. Dämpfe durch Spülen mit inertem Gas (z. B. mit Stickstoff)
am Pumpeneinlass und/oder Gasballast (falls installiert), um die Konzentration entflammbarer Gase oder
Dämpfe in der Pumpe und der Abgasleitung auf weniger als ein Viertel der unteren Explosionsgrenze (UEG)
zu reduzieren.
Verhindern Sie die Kondensation von entflammbaren Dämpfen im Pumpenmechanismus und in der
Abgasleitung durch Spülen mit inertem Gas am Gasballastanschluss. Beachten Sie, dass diese Option
bei 05-Ausführungen ohne Gasballast nicht zur Verfügung steht. Bei diesen Pumpen kann lediglich eine
Einlassspülung verwendet werden.
4.5.3 Gasspülung
Falls Sie Spülungen mit inerten Gasen einsetzen, um gefährliche Gase auf ein sicheres Niveau
zu konzentrieren, achten Sie darauf, dass die XDS-Pumpe ausgeschaltet wird, falls die Zufuhr
von inertem Gas versagt.
Folgende Maßnahmen sind zu treffen, damit die geförderte Gase außerhalb des
Zündbereichs bleiben.
Schalten Sie die Spülung mit inertem Gas ein, um vor Verfahrensanlauf Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung
zu entfernen. Der Spülstrom darf am Ende des Verfahrens erst ausgeschaltet werden, nachdem alle entflammbaren
Gas- oder Dampfreste aus der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die entflammbare Dämpfe erzeugen, in der Pumpenzufuhrleitung vorhanden sein könnten,
muss die Spülung mit inertem Gas an die XDS-Pumpe zu allen Zeiten, zu denen diese Flüssigkeit vorhanden ist,
eingeschaltet sein. Entflammbare Flüssigkeiten können sich aufgrund von Kondensation in der Zufuhrleitung befinden
oder als Verfahrensüberreste vorhanden sein.
Bei Berechnung der Durchflussmenge von inertem Gas für Verdünnungszwecke ist die maximale Durchflussmenge
für die evtl. auftretenden entflammbaren Gase/Dämpfe zu berücksichtigen. Beispielsweise ist bei Einsatz von MFCs
(Mass Flow Controllers, Massendurchflusscontrollern) für die Zufuhr von entflammbaren Gasen von einem Durchfluss
auszugehen, der bei vollständig geöffnetem MFC eintreten würde.
Die Durchflussmenge der Spülung ist ständig zu messen: wenn die Durchflussmenge unter die erforderliche Menge
abfällt, ist der Zufluss der entflammbaren Gase oder Dämpfe an die Pumpe zu unterbrechen.
Hinweis: Wir empfehlen, dass Sie die Publikation „Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen"
(Nr. P300-20-000) von Edwards oder Ihrem Lieferanten bestellen und lesen.
4.6

Stilllegung

Befolgen Sie folgende Schritte zur Stilllegung der Pumpe:
1. Wenn die Pumpe längere Zeit gelagert werden soll, beseitigen Sie vor dem Abschalten alle Verfahrensgase
mithilfe der Einlassspülung oder durch Betrieb der Pumpe mit hohem Gasballastdurchfluss (falls Gasballast
installiert ist).
2. Ggf. das Vakkumsystem-Trennventil schließen, um ein Zurücksaugen in das Vakuumsystem zu vermeiden.
3. Die Pumpe mit dem Ein-/Ausschalter am Motor ausschalten.
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WARNUNG
WARNUNG
A726-01-882 Ausgabe M, Übersetzung
Seite 23