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Scroll-Pumpen
XDS35i, XDS35iC, XDS35iE und XDS35iCE
BETRIEBSANLEITUNG
BESCHREIBUNG
Scroll-Pumpe XDS35i (auf Hochspannung eingestellt)
Scroll-Pumpe XDS35i (auf Niederspannung eingestellt)
Scroll-Pumpe XDS35i
Chemische Scroll-Pumpe XDS35iC
Scroll-Pumpe XDS35i (ohne Gasballast)
Erweiterte Scroll-Pumpe XDS35iE
Erweiterte chemische Scroll-Pumpe XDS35iCE
Erweiterte Scroll-Pumpe XDS35iE (ohne Gasballast)
A73001882_N
edwardsvacuum.com
BESTELLNUMMER
A730YY983
A730YY986
A73001983
A73006938
A73005983
A73003983
A73008983
A73007983
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
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Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Edwards XDS35i
Inhaltszusammenfassung für Edwards XDS35i
- Seite 1 Scroll-Pumpen XDS35i, XDS35iC, XDS35iE und XDS35iCE BETRIEBSANLEITUNG edwardsvacuum.com BESCHREIBUNG BESTELLNUMMER Scroll-Pumpe XDS35i (auf Hochspannung eingestellt) A730YY983 Scroll-Pumpe XDS35i (auf Niederspannung eingestellt) A730YY986 Scroll-Pumpe XDS35i A73001983 Chemische Scroll-Pumpe XDS35iC A73006938 Scroll-Pumpe XDS35i (ohne Gasballast) A73005983 Erweiterte Scroll-Pumpe XDS35iE A73003983 Erweiterte chemische Scroll-Pumpe XDS35iCE...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Hinweis zum Urheberrecht ©Edwards Limited 2021. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Weiterführende Publikationen Titel der Publikation Nummer der Publikation Vakuumpumpen und Sicherheit von Vakuumsyste- P40040100 Betriebsanleitung für das Tip Seal-Ersatzteil-Kit... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
5.5.1 Zündfähige/pyrophore Stoffe....... . 25 A73001882_N Seite 3 03/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 4 9.4.3 Gasballast-Kit..........39 A73001882_N Seite 4 03/2021 - ©Edwards Limited...
- Seite 5 Abbildung 2: Leistungsdaten der XDS35i........
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Seite 6: Sicherheit Und Compliance
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. 1.2 Gefahrensymbole Die Gefahrensymbole auf den Produkten kennzeichnen Bereiche, in denen Sorgfalt und Aufmerksamkeit erforderlich sind. A73001882_N Seite 6 03/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 7 Warnung – gefährliche Spannung Weist auf Gefahren durch gefährliche Spannung hin. Warnung – heiße Oberflächen Weist auf mögliche Gefahren durch heiße Oberflächen hin. Warnung – Schutzausrüstung verwenden Angemessene Schutzausrüstung für die Aufgabe verwenden. A73001882_N Seite 7 03/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 8: Einführung
2.1 Umfang des vorliegenden Handbuchs Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Scroll-Pumpen XDS35i, XDS35iC, XDS35iE und XDS35iCE. Verwenden Sie Ihre Pumpe ausschließlich gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung. Dieses Handbuch ist vor Montage und Inbetriebnahme der Pumpe durchzulesen. -
Seite 9: Beschreibung
Hohlräume. Das durch den Einlass in die Pumpe eintretende Gas wird durch die bewegte Spirale verdichtet und in die Mitte der Festspirale befördert. Das verdichtete Gas entweicht durch die Auslassöffnung nahe der Mitte der Festspirale und wird durch den Pumpenauslass abgelassen. A73001882_N Seite 9 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 10: Gasballastregler
Niedervakuumstufen eingeblasen werden. Wahlweise kann auch ein Inertgas wie z. B. Stickstoff über ein geeignetes Außenventil mit passendem Adapter eingeleitet werden. Der Adapter ist als Zubehör erhältlich. Siehe Gasballastadapter auf Seite 37. Der Gasballastregler hat drei Positionen: A73001882_N Seite 10 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 11: Bauweise
Die Spiralen der Pumpe bestehen aus anodisiertem Aluminium. Das Motorgehäuse ist aus Aluminium gefertigt. Die Pumpenflächen, die dem gepumpten Gas ausgesetzt sind, enthalten kein Kupfer, Zink oder Kadmium. Weitere Konstruktionsmaterialien sind u. a. Fluorelastomere, Nitril, chemisch resistente Polymere, Nickel, Edelstahl und ein PTFE-Verbundwerkstoff. A73001882_N Seite 11 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 12: Technische Daten
50 Liter† trieb – maximal 6 Zyklen pro Stunde Maximaler Anfangsdruckanstieg ohne Gasbal- 5 mbar l last-Durchsatz Rückstromschutz Durch Abgasventil Leckdichtheit < 1 x 10 mbar l s Maximale Verdrängung 44 m /Std. A73001882_N Seite 12 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 13: Pumpmedien
Gilt nicht für Varianten ohne Gasballast Tabelle 3 Leistungsdaten Gasballastregelkol- Gasballastdurchfluss XDS35i Gesamtend- XDS35iE Gesamt- druck (mbar) enddruck (mbar) (l min < 0.01 < 0.03 < 0.02 < 0.04 < 10.0 < 10.0 A73001882_N Seite 13 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 14: Abbildung 2 Leistungsdaten Der Xds35I
A73001882_N - Technische Daten Abbildung 2 Leistungsdaten der XDS35i Hinweis: Die XDS35i kann 90 Sekunden lang mit hoher Spitzenleistung arbeiten, bevor ein thermischer Schutzalgorithmus aktiviert wird, der die Drehzahl und Pumpgeschwindigkeit reduziert. Abbildung 3 Leistungsdaten der XDS35iE Der Stromverbrauch der erweiterten Version bei hohem Einlassdruck kann durch den Einbau eines zweiten Auslassschalldämpfers mit einem T-Stück (DN25KF) um weitere... -
Seite 15: Mechanische Daten
Kabelstil = H05VV-F, 3 × 1,5 mm 300 V, 70 °C, maximale Länge von Gerader Ein- A50505003 2,5 Metern gang Steckerart = BS1363 UK-Stecker Gerätekupplung = IEC 60320 Art C19 Rechteckiger A50505006 Eingang A73001882_N Seite 15 03/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 16 Eingang Kabelsatz, Kabelstil = SJT, 3 × 14 AWG, 300 V, USA/Kanada 90 °C, VW-1, maximale Länge von (200-230 V) 3 Metern k. A. Steckerart = NEMA, 6-15P Gerätekupplung = IEC60320 Art C19 A73001882_N Seite 16 03/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 17: Installation
Alle Stromkabel müssen sicher verlegt sein, um versehentliches Stolpern von Personen zu vermeiden. ▪ Vergewissern Sie sich, dass alle benötigten Bauteile zur Verfügung stehen und dem richtigen Typ entsprechen, bevor Sie mit der Arbeit beginnen. A73001882_N Seite 17 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 18: Überlegungen Zur Systemkonzeption
Bedingungen den Kontakt mit heißen Oberflächen zu verhindern. Spülen Sie die Pumpe mit Inertgas, um zündfähige Gemische auf sichere Konzentrationen zu verdünnen. Wenden Sie sich bei Bedarf für weitere Unterstützung zu Verdünnungsanforderungen an uns. A73001882_N Seite 18 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 19: Abbildung 4 Installationszeichnung (Abmessungen In Mm)
A73001882_N - Installation Abbildung 4 Installationszeichnung (Abmessungen in mm) A73001882_N Seite 19 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 20: Auspacken Und Überprüfen
Gasballastregler (falls installiert) und der Betriebs-/Standby-Schalter zugänglich sind. 4.4.1 Mechanische Befestigung VORSICHT: Verwenden Sie zur Befestigung bei Bedarf die vier Löcher an jeder Ecke des Pumpenfußes. Wir empfehlen Ihnen die Verwendung von M8-Schrauben. A73001882_N Seite 20 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 21: Elektroinstallation
Einschalten ein Auslösen zu verhindern. WARNUNG: Die Pumpe schaltet sich nach der Wiederherstellung der Stromversorgung nach einem Stromausfall automatisch wieder ein. Informationen zur empfohlenen regionalen Schutzvorrichtung und zu Kabelsätzen siehe Elektrische Daten auf Seite 15. A73001882_N Seite 21 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 22: Einlass- Und Auslassanschlüsse
Abgasabsaugsystems. Achten Sie darauf, dass die Absaugeinrichtung bei laufender Pumpe nicht blockiert oder verstopft werden kann. In der Abgasleitung der Pumpe kann sich eine kleine Menge Staub vom Tip-Seal-Abrieb ansammeln. Der Staub wird möglicherweise nach dem Entlüften der Pumpe mit dem A73001882_N Seite 22 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 23: Lecktest Am System
Luftstoß ausgeblasen. Dies ist normal und das Staubaufkommen wird mit der Zeit geringer. 4.7 Lecktest am System Führen Sie ein Lecktest am System durch und dichten Sie alle nach der Installation der Pumpe festgestellten Lecks ab. A73001882_N Seite 23 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 24: Betrieb
VORSICHT: Während des Starts kann feiner Staub vom Auslass der Scroll-Pumpe ausgestoßen werden, besonders wenn die Pumpe neu ist oder neue Tip Seals montiert wurden. Befolgen Sie folgende Schritte zur Inbetriebnahme der Pumpe: A73001882_N Seite 24 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 25: Erreichen Des Endvakuums (Bei Vorhandenem Gasballast)
Abgasleitung, indem Sie eine Spülung mit Inertgas am Gasballastanschluss der Pumpe durchführen. Beachten Sie, dass diese Option bei Modellen ohne Gasballast nicht verfügbar ist. In diesen Pumpen kann nur Inertgas eingesetzt werden. A73001882_N Seite 25 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 26: Gasspülungen
Leerlauf – (Pumpe läuft mit 67 % Drehzahl) ▪ Boost – (Pumpe läuft zu 116 %) nur zum vorübergehenden Gebrauch (nicht für Dauerbetrieb). Siehe Hinweis unten für weitere Informationen über diesen Betriebszustand. ▪ OK-Signal A73001882_N Seite 26 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 27: Ausschalten
Rückströmen in das Vakuumsystem zu verhindern. Schalten Sie die Pumpe aus. (Wenn die Pumpe ausgeschaltet wurde, läuft der Lüfter noch eine Minute weiter). Belüften Sie die Pumpe mit dem Gasballast-Steuerventil (falls vorhanden) oder mit dem Ventil am Einlass. A73001882_N Seite 27 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 28: Abbildung 5 Schaltplan Logik-Schnittstelle
Verbin- Verbin- dung dung dung Leerlauf 24 V Verbin- Verbin- offen dung dung Die Toleranz der Stromversorgung kann ± 10 % betragen. Stellen Sie sicher, dass keine der nicht verwendeten Pins angeschlossen sind. A73001882_N Seite 28 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 29: Wartung
Prüfen Sie nach Abschluss der Wartungsarbeiten erneut die Drehrichtung der Pumpe, wenn das System von der Stromversorgung getrennt war. ▪ Vergewissern Sie sich, dass alle benötigten Bauteile zur Verfügung stehen und dem richtigen Typ entsprechen, bevor Sie mit der Arbeit beginnen. A73001882_N Seite 29 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 30: Wartungsplan
Substanzen geeigneten Reinigungslösung. Bringen Sie den Ansaugfilter wieder an, bevor Sie die Pumpe wieder an das Vakuumsystem anschließen. Siehe Abbildung: Ansaugfilter-Baugruppe. Trennen Sie das Vakuumsystem vom Einlassanschluss der Pumpe (Ziffer 3) und entfernen Sie die Baugruppe aus A73001882_N Seite 30 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 31: Überprüfen Und Reinigen Des Gasballastreglers (Falls Vorhanden)
Bajonettverschlüsse (Ziffer 5) zu öffnen und das Steuerelement (Ziffer 1) zu entfernen. Wischen Sie das Steuerelement bei Bedarf mit einem sauberen, trockenen und fusselfreien Tuch ab und achten Sie darauf, dass das Luftloch (Position 3) nicht blockiert ist. A73001882_N Seite 31 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 32: Reinigen Der Außengebläseabdeckung
Entfernen Sie mithilfe eines trockenen Tuchs und einer weichen Bürste Schmutz und Ablagerungen von der Gebläseabdeckung. 6.6 Auswechseln der Tip Seals Diese Anleitung gilt für den Ersatz-Tip Seal-Satz (enthalten im kleinen Wartungs-Kit, siehe Wartungs-Kits auf Seite 39), der eingebaut werden muss. A73001882_N Seite 32 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 33: Testen Des Zustands Des Motors
Überprüfung von elektrischen Anlagen. Wir empfehlen eine Durchgängigkeit der Erdverbindung kleiner als 0,1 W und einen Isolationswiderstand größer als 2 MW. (Referenz EN61010-1) Sollte die Pumpe diese Prüfungen nicht bestehen, wenden Sie sich bitte an uns. A73001882_N Seite 33 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 34: Fehlersuche
Die Tip Seals müssen ausgewechselt werden. ▪ Der Frequenzumrichter begrenzt die Stromversorgung. ▪ Die Pumpe befindet sich im Leerlaufbetrieb. 7.3 Die Pumpe ist zu laut ▪ Die Pumpe ist mit Feststoffpartikeln verunreinigt. ▪ Die Lager sind abgenutzt. A73001882_N Seite 34 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 35: Die Oberflächentemperatur Der Pumpe Ist Hoch
Die Anschlussrohre haben einen zu geringen Durchmesser. ▪ Die Verbindungsleitungen sind zu lang. ▪ Der Ansaugfilter ist blockiert. ▪ Das System ist undicht. ▪ Der Frequenzumrichter begrenzt die Stromversorgung. ▪ Die Pumpe befindet sich im Leerlaufbetrieb. A73001882_N Seite 35 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 36: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie die Pumpe und alle davon abmontierten Komponenten in sicherer Weise und unter Beachtung aller vor Ort und landesweit geltenden Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen und Altöl, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. A73001882_N Seite 36 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 37: Service Und Ersatzteile
100 W reduziert werden, wenn ein zweiter Schalldämpfer mit einem T-Stück (DN25KF) an der Auslassöffnung installiert wird. 9.2.3 Gasballastadapter Montieren Sie anstelle des Gasballastreglers einen Gasballastadapter an der Pumpe. Der Adapter ermöglicht den Anschluss einer geregelten Versorgung der Pumpe mit Inertgas. Gasballastadapter A50502000. A73001882_N Seite 37 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 38: Elektromagnetische Rohrleitungsventile
Aufzeichnung/Kopie der Konfiguration an, bevor Sie die Pumpe einschicken. Alle Ersatzpumpen werden mit den werkseitigen Standardeinstellungen ausgeliefert. ▪ Schicken Sie keine Pumpe mit montiertem Zubehör ein. Bauen Sie alle Zubehörteile ab, und bewahren Sie sie zur künftigen Verwendung auf. A73001882_N Seite 38 03/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 39: Wartungs-Kits
Das Kit mit der Teilenummer A73001801 enthält alle zum Tauschen der Tip Seals und des Abgasventils erforderlichen Komponenten. Tip Seals sollten paarweise ausgetauscht werden, wofür nur einfache Werkzeuge erforderlich sind. Dieses Kit ist für XDS35i und XDS35iE geeignet. Das gleiche Kit ist für die gegenüber Chemikalien beständige Version der Pumpen XDS35iC und XDS35iCE unter der Teilenummer A73008801 erhältlich. -
Seite 40: Ce-Konformitätserklärung
Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt Scroll-Pumpe XDS35i, auf Hochspannung 100–120 V, 200–230 V, einphasig, 50/60 Hz A730-YY-983 eingestellt Scroll-Pumpe XDS35i, auf Niederspannung 100–120 V, 200–230 V, einphasig, 50/60 Hz A730-YY-986 eingestellt Scroll-Pumpe XDS35i, ohne Gasballast 100–120 V, 200–230 V, einphasig, 50/60 Hz... -
Seite 41: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU-Richtlinie (EMV): Klasse A/B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III: 6(b) Blei als Legierungselement in Aluminium mit einem Massenanteil von höchstens 0,4 % •... - Seite 42 Diese Seite bleibt frei.
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