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Edwards nEXT 930D Handbücher
Anleitungen und Benutzerhandbücher für Edwards nEXT 930D. Wir haben
1
Edwards nEXT 930D Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung
Edwards nEXT 930D Betriebsanleitung (116 Seiten)
Turbomolekularpumpen
Marke:
Edwards
| Kategorie:
Pumpen
| Dateigröße: 2 MB
Inhaltsverzeichnis
Haftungsausschluss
2
CE-Konformitätserklärung
3
Erklärung Gemäß Artikel
4
Konformität mit der EU-REACH-Verordnung
4
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität
4
Inhaltsverzeichnis
5
Liste der Abbildungen
10
1 Sicherheit und Compliance
11
Definition von „Warnung" und „Vorsicht
11
Sicherheitssymbole
11
Ausgebildetes Personal
12
2 Wichtige Sicherheitsinformationen
13
Mechanische Gefährdung
13
Elektrische Gefährdung
14
Thermische Gefährdung
14
Gefährdung durch Materialien und Substanzen
14
Gefährdung in Zusammenhang mit Sicherheitsbezogenen Maßnahmen und
15
Vorkehrungen
15
3 Übersicht
16
Bestellinformationen
16
Motor-Controller
17
Abbildung 1 Übersicht Modelle Next
17
Funktionsmerkmale
18
Einstellung der Leistungsgrenze
18
Standby-Drehzahl
19
Timer
19
Analogausgang
19
Optionen für Automatische Belüftung
20
Einstellung der Normaldrehzahl
20
Elektronisches Abbremsen
21
Logikschnittstelle
21
USB-Schnittstelle
22
Parallele Steuerung und Überwachung
22
Überwachung
22
Serielle Steuerung und Überwachung
22
Serielle Steuerung mit Paralleler Überwachung
23
Parallele Steuerung mit Serieller Überwachung oder Serieller
23
Konfiguration
23
Konfiguration des Motor-Controllers (Serielle Konfiguration)
24
4 Technische Daten
25
Betriebs- und Lagerungsbedingungen
25
Allgemeine Technische Daten
25
Tabelle: Technische Daten
25
Pumpmedien
27
Abbildung 2 Maßzeichnung
27
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
29
Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
29
Abbildung 3: Maximal Zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften: Druck über der Zeit (Pumpe Läuft Anfangs mit Maximaler Drehzahl)
29
Spülgas-Spezifikation
30
Wasserkühlung
30
Elektrische Daten
31
Anschluss der Logik-Schnittstelle
31
Abbildung 4: Maximale Relative Luftfeuchtigkeit, um eine Kondensation bei der
31
Serielles Protokoll
34
Abbildung 5 Schnittstellenschaltungen für Next-Turbopumpen-Controller
34
Verfügbare Befehle
36
Multidrop-Betrieb
43
Abbildung 6: Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss über die RS232
43
Aux/Anschlussbuchse des Motor-Controllers
44
Abbildung 7 RS485-Multidrop-Anschluss
44
Anzeige-Leds
45
Abbildung 8 Ventilanschluss
45
5 Installation
47
Auspacken und Überprüfen
47
Anschluss an das Vakuumsystem
48
Abbildung 9 Typisches Pumpsystem mit einer Next-Pumpe
48
Abbildung 10 Anschluss- und Bedienelemente
49
Entfernen/Austausch des Ansaugsiebes
49
Montage der Pumpe
50
Vorvakuumanschluss
51
Spülgasanschluss
51
Empfohlener Spülgasdurchsatz
51
Anschließen des Spülgases
51
Elektroinstallation
52
Abbildung 11 Controller-Ansicht
52
Anschließen der Logik-Schnittstelle an die Steuereinrichtung
53
Anschließen der Stromversorgung
53
Erdungs-(Masse-)Anschlüsse
53
TIC- oder TAG-Logik-Schnittstellen-Anschlüsse
53
Anschluss der Parallelen Steuerung und Überwachung
54
Abbildung 12 Stromversorgungsanschluss
54
Anschluss für die Serielle Steuerung und Überwachung
56
Anschließen der Seriellen Schnittstelle an das Kundeneigene Steuergerät
56
Abbildung 13 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
56
Abbildung 14 Vereinfachte Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
56
Serielle Aktivierung („Serial Enable")
58
Abbildung 16 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Serielle RS485-Steuerung
58
Verbindung für Gemischten Parallelen und Seriellen Betrieb
59
Kühlung
60
Kühlungsanforderungen
60
Abbildung 17: Anschluss der Logik-Schnittstelle - Gemischter Paralleler und Serieller
60
Druckluftkühlung
61
Wasserkühlung
61
Abbildung 18 Anbringen der Wasserkühlung
61
6 Konfiguration
63
Konfiguration der Pumpe mit Seriellen Befehlen
63
Meldungsstruktur
64
Liste der Befehle und Antworten - Definitionen
65
Einstellung der Leistungsgrenze
65
Stromversorgung eines Lüfters über den Motor-Controller
66
Optionen für die Geregelte Belüftung
66
Einstellung der Standby-Drehzahl
67
Einstellung der Normaldrehzahl
68
Timer-Einstellung und -Optionen
68
Optionen für Analogsignal
69
Elektronische Bremsoptionen
70
Werkseitige Einstellungen
71
Zuweisen einer Multidrop-Adresse
71
Konfiguration der Pumpe mit einem TIC
72
7 Betrieb
73
Vor dem Einschalten der Pumpe
73
Schließen des Belüftungsventils
73
Vor-Startsequenz
73
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -Steuerung
74
Manuelles Belüftungsventil
74
TAV5-Belüftungsmagnetventil
74
Steuerung Belüftungsventil
75
Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem
77
Betrieb mit Paralleler Steuerung und Überwachung
78
Starten der Pumpe mit der Parallelen Steuerung
78
Betreiben Sie die Pumpe mit Standby-Drehzahl und Paralleler Steuerung
78
Abschalten der Pumpe mit der Überwachung über die Parallele Schnittstelle
79
Parallele Überwachung
79
Betrieb mit Serieller Steuerung und Überwachung
79
Verzögerter Start mit Serieller Steuerung
79
Starten Sie die Pumpe mit der Seriellen Steuerung
80
Betreiben Sie die Pumpe mit Standby-Drehzahl und Serieller
80
Steuerung
81
Halten Sie die Pumpe mit der Seriellen Steuerung an
81
Überwachung der Temperaturwerte mit Serieller Steuerung
81
Überwachung der Verbindungsparametereinstellungen mit Serieller
81
Überwachen der Gemessenen Motordrehzahl mit Serieller Steuerung
81
Gemischter Paralleler und Serieller Betrieb
82
Betrieb mit einem TIC oder TAG
84
Verlangsamen und Belüften
84
Abbildung 19 Serielle und Parallele Steuerung - Flussdiagramm
84
Betrieb unter Extremen Bedingungen
85
Betrieb mit Hohem Einlassdruck
85
Betrieb bei Hohen Temperaturen
85
Schutz vor Überdrehzahl
85
Fehler in der Stromversorgung
86
Ausheizen
88
Manuelles Ausschalten der Pumpe
88
8 Wartung
90
Lagerwartung
91
Lebensdauer des Rotors
91
Reinigen der Pumpe
91
Entschlüsseln der Servicestatus-Wörter
92
Controller-Laufzeit
93
Pumpenlaufzeit
93
Pumpzyklen
93
Lagerlaufzeit
93
9 Lagerung
95
10 Entsorgung
96
11 Fehlersuche
97
Die Leds des Controllers Blinken nicht 0,5 Sekunden Lang, wenn das System
97
Eingeschaltet wird
97
Wurde
97
Die Pumpe Antwortet IM Multidrop-Modus nicht
98
Die Grüne Normal-LED Leuchtet nicht auf oder die Pumpe Dreht sich nicht
98
Der Endvakuumdruck kann nicht Erreicht werden
98
Keine Serielle Datenübertragung
99
Fail- oder Standby-Signal Funktioniert nicht
100
Die Gelbe Service-LED Blinkt Wiederholt
100
Die Rote Alarm-LED Leuchtet
100
Die Rote Alarm LED Blinkt
100
Alle Sonstigen Probleme
100
Befehlssatz Fehlercodes
100
Blinksignale für Wartung
101
Blinksignal-Fehlercodes
101
Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter
103
Service-Informationen
105
12 Kundendienst
107
Rücksendung von Ausrüstung oder Komponenten an den Kundendienst
107
Vor-Ort-Wartung des Lagers
108
13 Ersatzteile
109
Ansaugsieb
109
HV-Flansch-Dichtungen und Integrierte Ansaugsiebe
109
14 Zubehör
110
Luftkühler
111
Wasserkühler
111
Flanschheizung
111
TAV5-Belüftungsventil
112
VRX-Belüftungsdrossel
112
Belüftungsanschluss-Adapter
112
PRX-Spülgas-Drosselventil
113
Schnittstellenkabel
113
Nst PC-Programm
113
Hilfsklemme
113
Zusätzliches Verlängerungskabel
114
Hilfs-„Y"-Kabeladapter
114
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