Verwandte Anleitungen für Edwards nEXT 730D
Inhaltszusammenfassung für Edwards nEXT 730D
- Seite 1 730D, nEXT 930D Turbomolekularpumpen BETRIEBSANLEITUNG B8J200882_A Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Copyright-Hinweis ©Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. Wir übernehmen keine Haftung für etwaige Fehler in dieser Betriebsanleitung und geben weder ausdrückliche noch stillschweigende... -
Seite 3: Ce-Konformitätserklärung
CE‐Konformitätserklärung Edwards Ltd Innovation Drive Burgess Hill West Sussex RH15 9TW Großbritannien Das folgende Produkt B8xxxxxxx: Turbomolekularpumpe mit integriertem Frequenzwandler wobei x = A bis Z oder 0 bis 9 Typbezeichnung: nEXTa1D a2a3 NWa4 nEXTa1iD a2a3 NWa4 nEXTa1 iiD a2a3 NWa4 wobei a1 = 460 bis 1500 I a2 = ISO‐Kor ISO‐F oder CF I a3 = 100 bis 250 I a4 = 16 oder 25 erfüllt die einschlägigen Vorgaben der europäischen CE‐Vorschriften: 2006/42/EG Maschinenrichtlinie 2014/30/EU Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) 2011/65/EU Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro‐ und Elektronikgeräten (RoHS‐Richtlinie) in der durch die delegierte Richtlinie (EU) 2015/863 geänderten Fassung Auf der Grundlage der einschlägigen Bestimmungen der harmonisierten Normen: EN 1012‐2:1996 +A1:2009 Kompressoren und Vakuumpumpen. Sicherheitsbestimmungen. Vakuumpumpen EN 61010‐1:2010+A1:2019 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess‐, Steuer‐, Regel‐ und Laborgeräte. ... -
Seite 4: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität
Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU‐Richtlinie (EMV): Klasse A/B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für Funkempfang. Konformität mit der EU‐REACH‐Verordnung Bei diesem Produkt handelt es sich um einen komplexen Artikel, der nicht für eine absichtliche Stofffreisetzung konstruiert ist. Nach unserem besten Wissen erfüllen die verwendeten Materialien die Anforderungen der REACH‐ Verordnung. Das Produkthandbuch enthält Informationen und Anweisungen, um eine sichere Lagerung, Verwendung, Wartung und Entsorgung des Produkts sicherzustellen, einschließlich jeglicher stoffbasierter Anforderungen. Erklärung gemäß Artikel 33.1 Dieses Produkt enthält wissentlich oder absichtlich keine Stoffe von auf der Liste der für eine Zulassung in Frage kommenden besonders besorgniserregenden Stoffen in einer Konzentration von mehr als 0,1 Massenprozent gemäß dem Urteil des Europäischen Gerichtshofs vom Jahr 2015 in der Rechtssache C‐106/14. Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätssicherungssystems ... -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt 1. Sicherheit und Compliance........9 1.1 Definition von „Warnung“... - Seite 6 4.7 Wasserkühlung..........28 4.8 Elektrische Daten.
- Seite 7 6.1.10 Elektronische Bremsoptionen......68 6.1.11 Werkseitige Einstellungen....... . . 69 6.1.12 Zuweisen einer Multidrop-Adresse.
- Seite 8 8.2 Lebensdauer des Rotors......... . . 89 8.3 Reinigen der Pumpe.
- Seite 9 14. Zubehör..........108 14.1 Luftkühler.
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Seite 10: Liste Der Abbildungen
Liste der Abbildungen Abbildung 1: Übersicht Modelle nEXT......... . . 15 Abbildung 2: Maßzeichnung. -
Seite 11: Sicherheit Und Compliance
B8J200882_A - Sicherheit und Compliance 1. Sicherheit und Compliance 1.1 Definition von „Warnung“ und „Vorsicht“ HINWEIS: Informationspflicht Lesen und befolgen Sie diese Anweisungen vor der Installation und Inbetriebnahme gewissenhaft, um von Anfang an einen optimalen und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Bei bestimmungsgemäßer Verwendung und Beachtung der Anweisungen in dieser Betriebsanleitung ist ein sicherer und ordnungsgemäßer Betrieb gewährleistet. -
Seite 12: Ausgebildetes Personal
B8J200882_A - Sicherheit und Compliance Warnung/Vorsicht Die einschlägigen Sicherheitshinweise müssen befolgt und potenzielle Gefahren berücksichtigt werden.. Warnung – gefährliche Spannung Weist auf Gefahren durch gefährliche Spannung hin. Warnung – heiße Oberflächen Zeigt an, dass das markierte Element heiß sein kann und nicht ohne Vorsichtsmaßnahmen berührt werden darf. -
Seite 13: Wichtige Sicherheitsinformationen
B8J200882_A - Wichtige Sicherheitsinformationen 2. Wichtige Sicherheitsinformationen 2.1 Mechanische Gefährdung WARNUNG: HERAUSSCHLEUDERN VON TEILEN Wenn die Befestigung nicht stabil genug ist, kann ein Blockieren der Pumpe dazu führen, dass die Pumpe ausbricht; interne Komponenten der Pumpe können in alle Richtungen herausgeschleudert werden. Montieren Sie die Pumpe fest auf die Vakuumkammer. -
Seite 14: Elektrische Gefährdung
B8J200882_A - Wichtige Sicherheitsinformationen VORSICHT: HERABFALLENDE TEILE Transportfehler können zum Herunterfallen der Pumpe führen. Transportieren Sie die Pumpe nur in ihrer Transportverpackung oder an den für den Transport vorgesehenen Ringschrauben. 2.2 Elektrische Gefährdung VORSICHT: STROMSCHLAG Das Berühren spannungsführender Teile kann zu Stromschlag führen. Der elektrische Anschluss darf nur von einer ausgebildeten Person ausgeführt werden. -
Seite 15: Gefährdung In Zusammenhang Mit Sicherheitsbezogenen Maßnahmen Und
B8J200882_A - Wichtige Sicherheitsinformationen 2.5 Gefährdung in Zusammenhang mit sicherheitsbezogenen Maßnahmen und Vorkehrungen VORSICHT: AUTOMTISCHER ANLAUF Der Frequenzwandler ist nicht mit einem eigenen Not-Stopp-Schalter ausgestattet. Das kann zu einem unerwünschten Anlaufen der Pumpe führen. Installieren Sie einen Not-Stopp-Schalter im System. Der Not-Stopp-Schalter muss ■... -
Seite 16: Übersicht
B8J200882_A - Übersicht 3. Übersicht Eine Pumpe nEXT 730D oder nEXT 930D besteht aus einer Turbomolekularpumpe mit einem dauerhaft angebrachten Motor-Controller, der die Ansteuerungselektronik enthält. Der Motor-Controller steuert die Stromversorgung der Pumpe. Er ermöglicht die manuelle Anpassung der Standby-Drehzahl; alle anderen Steuerungen sind nur über die Logik-Schnittstelle möglich. -
Seite 17: Motor-Controller
Anschlussbuchse des Motor-Controllers auf seite 42.) Es gibt einen USB-Anschluss (, Ziffer 9), der als Serviceanschluss mit der Edwards nST PC- Software über ein Standard-Micro-USB-Kabel zu verwenden ist. Dies ermöglicht die Konfiguration, die Überwachung und die Aktualisierung der Pumpe, ohne dass die Stromversorgung mit 48 V DC getrennt werden muss. -
Seite 18: Funktionsmerkmale
B8J200882_A - Übersicht Der Motor-Controller verfügt über eine Reihe integrierter Sicherheitsfunktionen zum Schutz der nEXT-Pumpen vor Beschädigung sogar bei anhaltend hohen Druckwerten oder Temperaturen. ▪ Die Elektronik überwacht kontinuierlich die Temperatur innerhalb des Motor- Controllers sowie die Temperatur des Lagers innerhalb der Pumpe. Wenn eine der beiden Komponenten zu heiß... -
Seite 19: Standby-Drehzahl
B8J200882_A - Übersicht 3.3.2 Standby-Drehzahl Im Standby-Modus ist die Drehzahl der Pumpe geringer als die maximale Drehzahl. Die werkseitige Standard-Einstellung für die Standby-Drehzahl beträgt 70 % der maximalen Drehzahl. Zum Betrieb mit Standby-Drehzahl muss sich die Pumpe auch im Startzustand befinden. Wenn die Anwendung nicht erfordert, dass die Pumpe ständig mit maximaler Drehzahl läuft, verwenden Sie die Funktion der Standby-Drehzahl, anstatt die Pumpe ganz abzuschalten. -
Seite 20: Optionen Für Automatische Belüftung
B8J200882_A - Übersicht ▪ Gemessene Motor-Controller-Temperatur ▪ Gemessene Temperatur des Lagers Das analoge Ausgangssignal bewegt sich zwischen 0 und 10 V und ist direkt proportional zum jeweiligen Systemparameter (siehe Logik-Schnittstelle Logikschnittstelle auf seite 19). Schließen Sie den Analogausgang an ein geeignetes Mess- oder Anzeigegerät an, um den jeweiligen Systemparameter anzeigen zu lassen, oder schließen Sie ihn an Ihre Steuereinrichtung an (beispielsweise, um andere Komponenten im Pumpsystem mit voreingestellten Werten zu betreiben). -
Seite 21: Elektronisches Abbremsen
B8J200882_A - Übersicht gesteuert werden, da es zeigt, dass die Pumpendrehzahl und damit auch das Saugvermögen einen bestimmten Mindeststand erreicht hat. Die werkseitige Standardeinstellung ist 80 % der maximalen Drehzahl. Siehe für Anweisungen zum Ändern der Einstellung der Normaldrehzahl. Einstellung der Normaldrehzahl auf seite 66 3.3.7 Elektronisches Abbremsen Die Pumpe verfügt über eine vom Anwender wählbare elektronische Bremsoption, die... -
Seite 22: Usb-Schnittstelle
B8J200882_A - Übersicht Die Logik-Schnittstelle kann direkt in den Edwards TIC Turbo Controller oder den TIC Turbo Instrument Controller eingesteckt werden. Sie können dann die von diesen bereitgestellten Funktionen nutzen. Alternativ kann die Logik-Schnittstelle auch an das Steuergerät des Kunden angeschlossen werden. -
Seite 23: Serielle Steuerung Mit Paralleler Überwachung
Falls die Leitung „Serial Enable‟ (serielle Aktivierung) immer deaktiviert ist, während sich der Schiebeschalter RS485/CAN/RS232 in der Position „RS232‟ befindet, sollte auch die serielle Verbindung getrennt werden. Edwards empfiehlt, ein spezielles Kabel für die serielle Kommunikation vorzusehen, zu dem auch eine Verbindung zwischen „Serial Enable“... -
Seite 24: Konfiguration Des Motor-Controllers (Serielle Konfiguration)
Schnittstellensystems betrieben werden kann. Für die Konfiguration der Pumpe kann entweder ein einfaches serielles System des Kunden über eine serielle Schnittstelle oder der Edwards TIC Turbo Controller, der TIC Turbo Instrument Controller oder der TAG Controller verwendet werden. Die TICs verfügen über eine Funktion zur Speicherung der Konfiguration der nEXT-Pumpe. -
Seite 25: Technische Daten
B8J200882_A - Technische Daten 4. Technische Daten 4.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen Tabelle 2 Betriebs- und Lagerungsbedingungen Bereich (Range) Technische Daten Umgebungstemperaturbereich (Betrieb) 5 °C bis 40 °C Umgebungsluftfeuchtigkeit max. 85 % RH, (nicht ‑kondensierend) Maximale Betriebshöhe 4000 m Umgebungstemperaturbereich (Lagerung) -15 °C bis 70 °C 4.2 Allgemeine technische Daten 4.2.1 Tabelle: Technische Daten... - Seite 26 B8J200882_A - Technische Daten nEXT 730D 730D 930D 930D Anlaufzeit, ca. Min. max. Stromverbrauch Stromverbrauch bei Enddruck Schutzart Kühlung Standard Konvektion* Kühlung optional Luft oder Wasser* Plug-in-Anschluss für Schlauch 6 x 1/alternativ G Kühlwasseranschluss 1/8" Kühlwasserverbrauch Der zulässige Kühlwasserdruck bar(g): bar (gemessen) ist Überdruck, bar(g) d.
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Seite 27: Pumpmedien
1. SW 36 RINGSCHLÜSSEL 1. SW 36 RINGSCHLÜSSEL 2. SPÜLEN G 1/8" 2. SPÜLEN G 1/8" 3. BELÜFTUNG G 1/8" 3. BELÜFTUNG G 1/8" Tabelle 4 Abmessungen in mm nEXT 730D 160 ISO-K nEXT 730D 160 CF 202,5 nEXT 930D 200 ISO-K... - Seite 28 Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet. Das Edwards-Handbuch P40040882 für Vakuumpumpen und Sicherheit von Vakuumsystemen enthält Sicherheitsinformationen im Zusammenhang mit der Spezifikation, der Konstruktion und dem Betrieb von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen.
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Seite 29: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
B8J200882_A - Technische Daten 4.4 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative Luftfeuchtigkeit kann jedoch die nachfolgende ‑Abpumpzeit deutlich erhöhen. Um die ‑Abpumpzeiten zu verringern, belüften Sie die Pumpe mit trockenen, sauberen Gasen. Eine Beschreibung der Belüftungsoptionen finden Sie unter Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung auf seite... -
Seite 30: Spülgas-Spezifikation
B8J200882_A - Technische Daten ▪ Fluorelastomer und O-‑Ringe ▪ Kohlenwasserstoffbasiertes Schmiermittel ▪ ▪ Magnete aus seltenen Erden ▪ Siliziumnitrid ▪ PTFE 4.6 Spülgas-Spezifikation Tabelle 6 Spülgas-Spezifikation Spülgas-Spezifikation Referenzwerte Spülgas Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase Maximaler Taupunkt bei -22 °C Atmosphärendruck Maximale Partikelgröße 1 µm... -
Seite 31: Elektrische Daten
4.8 Elektrische Daten Die nEXT-Pumpen können entweder über ein kundeneigenes System oder über den Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder den TIC Turbo Controller gesteuert werden. Bei Verwendung des kundeneigenen Systems muss eine geeignete, genehmigte und nach UL/CSA eingestufte Stromversorgung mit 48 V DC verwendet werden. Die Größe der benötigten Stromversorgung hängt von der Anwendung und der in der nEXT-Pumpe... - Seite 32 B8J200882_A - Technische Daten Tabelle 8 Technische Daten der Logikschnittstelle Logik-Schnittstelle - Technische Daten 15‑-poliger D‑-Stecker Stecker Steuereingänge „Start‟ und „Serial Enable‟ (serielle Aktivierung): Steuerspannung aktiviert: niedrig 0–0,8 V DC (Iout = 0,55 mA nominal) (Schließen) Steuerspannung deaktiviert: hoch 4 bis 26,4 V DC (intern angehoben auf 6,4 (geöffnet) V nominal) Standby-Steuereingang:...
- Seite 33 B8J200882_A - Technische Daten Logik-Schnittstelle - Technische Daten Nennspannungswert 28,8 V DC maximale externe Pull-up- Spannung Gegenstück des Anschlusses gehört nicht zum Lieferumfang. Die folgende Tabelle informiert über die Anschlusspins der Logik-Schnittstelle für die Elektroanschlüsse. Tabelle 9 Pin-Belegung für den Logikschnittstellenanschluss Pin-Nr.
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Seite 34: Serielles Protokoll
B8J200882_A - Technische Daten Abbildung 5 Schnittstellenschaltungen für nEXT-Turbopumpen-Controller 4.10 Serielles Protokoll Die Verbindung über die serielle Schnittstelle ist auf 9600 Baud, 8 Bit, 1 Stopp-Bit keine Parität und kein Handshaking eingestellt. Die Befehle bestehen aus druckbaren ASCII- Zeichen. Die maximale Größe der Meldungen, die Sie senden können, liegt bei 80 Zeichen, einschließlich Anfangs- und Endzeichen. - Seite 35 B8J200882_A - Technische Daten Jede vollständige gesendete Befehlsmeldung erhält eine Antwort – entweder einen Status-Code oder zurückgesendete Daten. Die nEXT-Pumpe kann jeweils nur eine Meldung verarbeiten. Sie nimmt eine neue Meldung erst an, nachdem die Antwort auf die vorhergehende Meldung zurückgesendet wurde. Wenn die nEXT-Pumpe Zeichen empfängt, die nicht von Start- und Stopp-Zeichen eingerahmt sind, ignoriert sie diese.
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Seite 43: Multidrop-Betrieb
B8J200882_A - Technische Daten 4.12 Multidrop-Betrieb Im Multidrop-‑Modus kann ein einziges Computersystem mit mehr als einer nEXT- Pumpe kommunizieren. Jeder nEXT-Pumpe muss ihre eigene individuelle Adresse zugewiesen worden sein, bevor sie in ein Multidrop-‑System eingebaut werden kann. Der Befehl zum Zuweisen der Multidrop-‑Adresse wird im Standard-nEXT- Meldungsformat gesendet (siehe Zuweisen einer Multidrop-Adresse auf seite 69). -
Seite 44: Aux/Anschlussbuchse Des Motor-Controllers
B8J200882_A - Technische Daten Abbildung 7 RS485-Multidrop-Anschluss 1. RS485-Schnittstelle an der 1. RS485-Schnittstelle an der 2. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe 2. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe Steuereinrichtung Steuereinrichtung 4.13 Aux/Anschlussbuchse des Motor-Controllers Die nEXT-Pumpe verfügt über eine 4-polige Aux-Anschlussbuchse seitlich am Motor- Controller. Der passende Stecker dafür ist vorab an verschiedenen Zubehörteilen angebracht oder als eigenständiges Zubehörteil erhältlich (siehe Zubehör). -
Seite 45: Anzeige-Leds
73). Aux-Ausgang 1 hat Standardeinstellungen für ein im Ruhezustand geöffnetes Belüftungsventil und Aux-Ausgang 2 für einen Lüfter. Edwards nEXT-Luftkühler- und Belüftungsventil-Zubehör (siehe Zubehör) mit dem entsprechenden Anschluss ist bereits für Aux-Ausgang 1 und Aux-Ausgang 2 vorkonfiguriert und ermöglicht Plug-and-play-Funktionen. nEXT-Belüftungsventile sind für Aux-Ausgang 1 vorkonfiguriert und die Standardeinstellungen für Belüftungsoptionen... - Seite 46 B8J200882_A - Technische Daten Beschreibung Servicearbeit durchgeführt werden muss, blinkt die LED in einer bestimmten Sequenz und gibt damit an, welche Servicetätigkeit erforderlich ist. Informationen zur Fehlersuche finden Sie unter Fehlersuche auf seite Diese rote LED blinkt in einer bestimmten Sequenz, um einen Fehlercode anzuzeigen, wenn der Pumpenbetrieb aufgrund Alarm-LED eines Fehlerzustands gestört ist.
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Seite 47: Installation
Es wird empfohlen, alle Verpackungsmaterialien für eine eventuelle Einsendung der Pumpe zum Kundendienst aufzubewahren. Tabelle 12 Checkliste der einzelnen Artikel Menge Beschreibung Prüfung nEXT 730D oder nEXT 930D Turbomolekular-Vakuumpumpe ❏ Zentrierring-O-Ring-Dichtung mit integriertem Filtersieb ❏ (Nur ISO-Varianten. Das Sieb wird an CF-Pumpen angebracht.) Page 45... -
Seite 48: Anschluss An Das Vakuumsystem
B8J200882_A - Installation Abbildung 9 Typisches Pumpsystem mit einer nEXT-Pumpe 1. Vakuumsystem 1. Vakuumsystem 2. Hochvakuum-Messröhre 2. Hochvakuum-Messröhre 3. Ansaugsieb 3. Ansaugsieb 4. nEXT-Pumpe 4. nEXT-Pumpe 5. Vorvakuumventil 5. Vorvakuumventil 6. Vakuum-Messröhre 6. Vakuum-Messröhre 7. Faltenbälge 7. Faltenbälge 8. Adsorptionsfalle 8. -
Seite 49: Entfernen/Austausch Des Ansaugsiebes
B8J200882_A - Installation VORSICHT Stellen Sie sicher, dass alle mit der Pumpe verbundenen Kabel und Rohrleitungen sorgfältig geführt sind, um Rutsch- und Stolpergefahren sowie mögliche Beschädigungen der Kabel zu vermeiden. Abbildung 10 Anschluss- und Bedienelemente 1. Hochvakuumflansch 1. Hochvakuumflansch 2. 4 x Bohrungen für Ringschrauben zum 2. -
Seite 50: Montage Der Pumpe
Wenn die Angeln noch nicht korrekt sitzen, müssen sie mit Hilfe eines geeigneten Werkzeugs, mit dem sie in die korrekte Position gedrückt werden, in die Arretiernut im Hochvakuumflansch eingerastet werden. Für Pumpen mit ISO-Flanschen liefert Edwards eine Kombination aus Ansaugsieb/O-Ring mit Zentrier- und Außenring. 5.2.2 Montage der Pumpe... -
Seite 51: Vorvakuumanschluss
B8J200882_A - Installation 5.2.3 Vorvakuumanschluss Die Pumpe ist für die Verwendung mit Drehschieber-, Scroll- oder Membran- Vorvakuumpumpen von Edwards geeignet. Die Systemleistung kann von der verwendeten Pumpe abhängen. Wenden Sie sich für die Auswahl einer für Ihre Anwendung geeigneten Vorvakuumpumpe an Edwards. -
Seite 52: Elektroinstallation
Vor Inbetriebnahme den Widerstand der Erdungsleitung und die Eignung der zugeordneten Überstromschutzvorrichtung prüfen. Die nEXT-Pumpe kann direkt an einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller, einen TIC Turbo Controller oder einen TAG Controller und die Edwards Stromversorgung angeschlossen werden. Die nEXT-Pumpe kann auch über eine kundeneigene Stromversorgung über das nEXT-Pumpenstromversorgungskabel mit Strom versorgt und... -
Seite 53: Erdungs-(Masse-)Anschlüsse
Ihre eigene Stromversorgung über das spezielle nEXT- Pumpenstromversorgungskabel an die Pumpe angeschlossen werden. Der RS485/CAN/RS232-Schiebeschalter muss sich in der Position „RS232‟ befinden, wenn die nEXT 730D- oder nEXT 930D-Pumpe über den TIC oder TAG gesteuert werden soll. 5.4.3 Anschließen der Logik-Schnittstelle an die Steuereinrichtung Wenn Sie die Pumpe mit Ihrem eigenen Steuersystem betreiben wollen, verwenden Sie ein geeignetes Anschluss-Gegenstück (nicht im Lieferumfang enthalten), um Ihre... -
Seite 54: Anschluss Der Parallelen Steuerung Und Überwachung
B8J200882_A - Installation VORSICHT: Überschreiten Sie nicht die maximale Versorgungsspannung. Eine zu hohe Versorgungsspannung führt zu dauerhaften Schäden an der Steuerelektronik und kann bei einigen Fehlerbedingungen eine mechanische Gefährdung zur Folge haben. Die Stromversorgung der nEXT-Pumpe muss die Anforderungen von UL61010-1 und EN61010-1 erfüllen. - Seite 55 Der Ausgang kann ein Relais mit kleiner Leistung mit einem Spulen-Nennwert von maximal 24 V DC (max. 20 mA) ansteuern. Stromversorgungsanschluss an die Pins 1, 6 und 11 ist für die nEXT 730D- oder nEXT 930D-Pumpe nicht erforderlich, da ein spezielles Stromversorgungskabel vorhanden ist.
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Seite 56: Anschluss Für Die Serielle Steuerung Und Überwachung
B8J200882_A - Installation Abbildung 13 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle – parallele Steuerung 48 V d.c. 1. Optionale 48 V DC Stromversorgung 1. Optionale 48 V DC Stromversorgung 2. Optionale Sicherung 2. Optionale Sicherung 3. Optionale Anzeige – Normaldrehzahl 3. Optionale Anzeige – Normaldrehzahl 4. - Seite 57 B8J200882_A - Installation VORSICHT: Wenn Sie die Pumpe an einen PC anschließen, denken Sie daran, dass der 0 V-Pin am RS232-Anschluss möglicherweise über den PC mit der Erde verbunden ist. In diesem Fall müssen Sie sich vergewissern, dass die 0 V-Schiene der Stromversorgung mit 48 V DC nicht auch an einem anderen Punkt, z.
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Seite 58: Serielle Aktivierung („Serial Enable")
4. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe 4. Logik-Schnittstelle der nEXT-Pumpe Stromversorgungsanschluss an die Pins 1, 6 und 11 ist für die nEXT 730D- oder nEXT 930D-Pumpe nicht erforderlich, da ein spezielles Stromversorgungskabel vorhanden ist. Die Sicherung ist nur dann erforderlich, wenn eine Stromversorgung mit 48 V DC an die Logik-Schnittstelle angeschlossen wird. -
Seite 59: Verbindung Für Gemischten Parallelen Und Seriellen Betrieb
Die Pumpe kann über die Steuereingänge der parallelen Schnittstelle gesteuert werden und gleichzeitig verschiedene Pumpenparameter über die serielle Schnittstelle oder den USB-Serviceanschluss mit Edwards nST PC-Software überwachen. Alternativ kann die Pumpe mit Befehlen gesteuert werden, die über die serielle Schnittstelle gesendet werden, während gleichzeitig das „Normal“-Signal und der Analogausgang über die... -
Seite 60: Kühlung
Wenn während des Betriebs die Temperatur irgendeiner Oberfläche der Pumpe 50 °C übersteigt, ist die Kühlung nicht ausreichend und muss verstärkt werden. Wenn Pumpe und nEXT-Motor-Controller nicht ausreichend gekühlt werden, kann dies die Pumpenleistung beeinträchtigen. Edwards empfiehlt, wo immer möglich, die Pumpe mit Druckluft oder Wasser zu kühlen. Page 58... -
Seite 61: Druckluftkühlung
5.8.2 Druckluftkühlung Der Controller kann nur dann zur Steuerung eines Luftkühlers konfiguriert werden, wenn Befehle über die serielle Schnittstelle oder einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder Turbo Controller gesendet werden können. Luftkühlungszubehör ist für nEXT-Pumpen lieferbar (siehe Zubehör). Montieren Sie den Luftkühler so, wie in der mit ihm gelieferten Betriebsanleitung beschrieben. - Seite 62 B8J200882_A - Installation Befestigen Sie den Kühlwasserblock mit vier M4-Schrauben an der nEXT-Pumpe, Anziehdrehmoment 3 Nm. Kühlwasserschläuche anschließen. Die Schlauchanschlüsse können über die integrierten G 1/8"-Gewinde abgeschraubt und entfernt werden. Achten Sie darauf, dass die Wasserzufuhr konstant ist und die angegebenen Werte für Qualität, Temperatur und Durchsatz einhält, wie angegeben in Tabelle: Zufuhranforderungen für Wasserkühlungsblock auf Seite...
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Seite 63: Konfiguration
61 zu genauen Angaben für die erforderlichen Befehle, um den Motor-Controller zu konfigurieren. Alternativ können Sie auch den Edwards TIC Turbo Instrument Controller, den TIC Turbo Controller oder den TAG Controller verwenden. Weitere Einzelheiten hierzu finden Sie in Pumpe mit einem... -
Seite 64: Meldungsstruktur
B8J200882_A - Konfiguration Stromversorgung eines Ein Lüfter kann über den nEXT-Motor-Controller oder ein Aux-Ausgang 2 Lüfters über den Motor- mit Strom versorgt werden. Controller auf seite 64 Optionen für die Wenn der Motor-Controller zur automatischen Steuerung eines geregelte Belüftung auf Belüftungsventils verwendet wird, gibt es eine Reihe unterschiedlicher seite 64 Belüftungsoptionen. -
Seite 65: Liste Der Befehle Und Antworten - Definitionen
B8J200882_A - Konfiguration 6.1.2 Liste der Befehle und Antworten – Definitionen Erläuterung der Befehls- und Antwort-Zeichen. Tabelle 14 Abkürzungen der Befehle Bedeutung Abkürzung Wagenrücklauf-Zeichen chars Zeichen Dezimales ASCII-Zeichen Hexadezimales ASCII-Zeichen Zurückgesendeter Fehlercode – siehe Befehlssatz Fehlercodes auf seite 98 Leerzeichen string Zeichenfolge, kann aus mehreren ASCII-Zeichen bestehen... -
Seite 66: Stromversorgung Eines Lüfters Über Den Motor-Controller
B8J200882_A - Konfiguration Senden Sie den Befehl wie folgt (hierbei stehen die Zeichen „d“ für den Wert in Watt, der eingestellt wird. Wenn Sie beispielsweise den Grenzwert auf 90 W setzen wollen, geben Sie „90“ ein). Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort Die Einstellung der Leistungsgrenze ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. -
Seite 67: Einstellung Der Standby-Drehzahl
B8J200882_A - Konfiguration Um eine Belüftungsoption auf Aux-Ausgang 1 einzustellen, senden Sie den folgenden Befehl (hierbei bezieht sich das Zeichen „d“ auf die in Tabelle: Belüftungsventiloptionen auf Seite 73 angegebene Nummer der Option): Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort Die Einstellung der Belüftungsoption ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. -
Seite 68: Einstellung Der Normaldrehzahl
B8J200882_A - Konfiguration Um die Einstellung der Standby-Drehzahl über einen seriellen Befehl zu ändern, senden Sie den folgenden Befehl (wobei die Zeichen „d“ für den Wert als Prozentsatz der maximalen Drehzahl stehen): Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort Die Standby-Drehzahl ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. -
Seite 69: Optionen Für Analogsignal
B8J200882_A - Konfiguration Um die Timer-Einstellung zu ändern, senden Sie den folgenden Befehl (wobei die Zeichen „d‟ für die Timeout-Dauer in Minuten stehen): Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus: Antwort Die Timer-Einstellung ist jetzt im Speicher in der nEXT-Pumpe gespeichert. Um zu überprüfen, welche Timeout-‑Dauer eingestellt ist, senden Sie wie folgt eine Abfrage: Befehl... -
Seite 70: Elektronische Bremsoptionen
B8J200882_A - Konfiguration Tabelle 16 Optionen für Analogsignal Beschreibung zur Nummer des Analogausgangs Nr. der Option Gemessene Pumpendrehzahl Dies ist die werkseitige Standard- Einstellung. Gemessene Verbindungsleistung Gemessene Motortemperatur Gemessene Motor-Controller-Temperatur Gemessene Temperatur des Lagers Um den Analogausgang zu konfigurieren, senden Sie den folgenden Befehl (wobei das Zeichen „d“... -
Seite 71: Werkseitige Einstellungen
B8J200882_A - Konfiguration Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus (wobei d=0 „deaktiviert“ bedeutet und d=1 „aktiviert“): Antwort 6.1.11 Werkseitige Einstellungen Die nEXT-Pumpe kann mithilfe eines seriellen Befehls auf die ursprünglichen werkseitigen Standardeinstellungen zurückgesetzt werden.‑ Um den Motor-Controller auf die Werkseinstellungen zurückzusetzen, senden Sie den folgenden Befehl: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus:... -
Seite 72: Konfiguration Der Pumpe Mit Einem Tic
Sobald der Multidrop-Modus deaktiviert ist, antwortet die Pumpe nicht länger auf Multidrop-Befehle. 6.1.13 Konfiguration der Pumpe mit einem TIC Die nEXT-Pumpe kann mit dem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder dem TIC Turbo Controller konfiguriert werden. Siehe TIC- oder TAG-Logik-Schnittstellen-Anschlüsse auf seite Sie können die folgenden Parameter der nEXT-Pumpe mit dem TIC einstellen:... -
Seite 73: Betrieb
B8J200882_A - Betrieb 7. Betrieb 7.1 Vor dem Einschalten der Pumpe Vor dem Starten der Pumpe muss das Belüftungsventil geschlossen und die Vor- Startsequenz abgeschlossen sein. 7.1.1 Schließen des Belüftungsventils Das Belüftungsventil kann über das Steuersystem des Kunden oder per TAV5- Magnetventil manuell geschlossen werden. -
Seite 74: Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss Und -Steuerung
Vakuumsystem) bei jedem Abschalten zu belüften. 7.2.1 Manuelles Belüftungsventil Edwards empfiehlt, das manuelle Belüftungsventil erst dann zu öffnen, nachdem die Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist. Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der nEXT-Pumpe. Es ist nicht möglich, die Geschwindigkeit des Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil... -
Seite 75: Steuerung Belüftungsventil
Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist, bevor das Belüftungsventil geöffnet wird. 7.2.3 Steuerung Belüftungsventil Das TAV5-Magnetventil kann vom nEXT-Motor-Controller oder von einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller gesteuert werden. Der nEXT-Controller kann die Belüftungsrate steuern anhand der Belüftungsventiloptionen in der... - Seite 76 B8J200882_A - Betrieb Nr. der Beschreibung der Belüftungsfunktion Option Geregelte Belüftung von 100 bis 50 % der maximalen Drehzahl, Belüftungsventil öffnet sich vollständig unter 50 % der maximalen Drehzahl bei einem Stopp-Befehl oder einem Fehlerzustand. Wenn ein Stopp-Befehl eingeht, wird das Belüftungsventil sofort vollständig geöffnet.
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Seite 77: Anschluss Eines Anderen Ventils An Das Vakuumsystem
Controller kann für eine der anderen Belüftungsoption konfiguriert werden, sofern Befehle über die serielle Schnittstelle oder einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller, einen TIC Turbo Controller oder die Edwards nST PC-Software und den seriellen USB-Anschluss gesendet werden können. Bei im Ruhezustand geöffneten Ventilen erregt („schließt“) der Controller das TAV- Magnetventil nur, wenn er einen Start-Befehl empfängt. -
Seite 78: Betrieb Mit Paralleler Steuerung Und Überwachung
B8J200882_A - Betrieb 7.3 Betrieb mit paralleler Steuerung und Überwachung 7.3.1 Starten der Pumpe mit der parallelen Steuerung VORSICHT: Betreiben Sie die Pumpe nicht bei freiliegendem Rotor. Nehmen Sie die Pumpe erst dann in Betrieb, wenn sie an das Vakuumsystem angeschlossen ist. Wenn die Pumpe bei freiliegendem Rotor betrieben wird, kann die sehr schnelle Rotation des Pumpenrotors Verletzungen verursachen;... -
Seite 79: Abschalten Der Pumpe Mit Der Überwachung Über Die Parallele Schnittstelle
B8J200882_A - Betrieb 7.3.3 Abschalten der Pumpe mit der Überwachung über die parallele Schnittstelle WARNUNG: Nachdem die Stromversorgung der Pumpe, ob durch einen Notfall oder beabsichtigt, unterbrochen wurde, läuft der Rotor mit sehr hoher Drehzahl weiter. Der Rotor verfügt über erhebliche mechanische Energie, bis er deutlich langsamer wird bzw. zum Stillstand kommt. -
Seite 80: Starten Sie Die Pumpe Mit Der Seriellen Steuerung
B8J200882_A - Betrieb 7.4.2 Starten Sie die Pumpe mit der seriellen Steuerung VORSICHT: Betreiben Sie die Pumpe nicht bei freiliegendem Rotor. Nehmen Sie die Pumpe erst dann in Betrieb, wenn sie an das Vakuumsystem angeschlossen ist. Wenn die Pumpe bei freiliegendem Rotor betrieben wird, kann die sehr schnelle Rotation des Pumpenrotors Verletzungen verursachen;... -
Seite 81: Steuerung
B8J200882_A - Betrieb Befehl Die Antwort hat das folgende Format: Antwort 7.4.4 Halten Sie die Pumpe mit der seriellen Steuerung an Bei erfolgreichem Empfang des Stopp-Befehls wird der Pumpenrotor bis zum Stillstand verlangsamt. Um die nEXT-Pumpe abzuschalten, senden Sie den folgenden Befehl über die serielle Datenübertragungsverbindung: Befehl Die Antwort hat das folgende Format:... -
Seite 82: Gemischter Paralleler Und Serieller Betrieb
B8J200882_A - Betrieb Befehl Die Antwort hat das folgende Format, wobei sich die erste zurückgesendete Zahl auf die Motordrehzahl in Umdrehungen pro Sekunde (Hz) bezieht: Antwort = sp d Hinweis: Die zweite zurückgesendete Zahl ist ein 32-Bit Systemstatus-Wort (eine Gruppe von 8 Hexadezimal-Zeichen), das bei der Fehlersuche hilfreich ist. - Seite 83 B8J200882_A - Betrieb Schalter Serieller Modus aktiv Serieller Modus inaktiv Die parallele Standby-Steuerung und Die serielle Kommunikation ist Störungsanzeige sind deaktiviert. deaktiviert. * Als Reaktion auf die Daten, die von anderen an den Bus angeschlossenen Geräten auf den RS485-Bus geleitet werden, wechselt die Zieldrehzahl der Pumpe zwischen Betriebsdrehzahl und Standby-Drehzahl.
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Seite 84: Betrieb Mit Einem Tic Oder Tag
Abbildung 19 Serielle und parallele Steuerung – Flussdiagramm 7.6 Betrieb mit einem TIC oder TAG Die nEXT-Pumpe kann direkt an einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller, einen TIC Turbo Controller oder einen TAG Controller angeschlossen werden. Der TIC liefert die für den Antrieb der nEXT-Pumpe erforderliche Energie, der TAG erfordert jedoch für den... -
Seite 85: Betrieb Unter Extremen Bedingungen
B8J200882_A - Betrieb Wenn Sie den Motor-Controller zur Steuerung eines TAV-Magnetventils verwenden, gibt es eine Verzögerung von 2 Sekunden zwischen einem empfangenen Stopp-Befehl oder einem erkannten Störfall und der Öffnung des Belüftungsventils. Diese Verzögerung bietet die Möglichkeit, dass Messröhren, Ventile und andere Einrichtungen ausgeschaltet werden, bevor die Belüftung erfolgt. -
Seite 86: Fehler In Der Stromversorgung
Überdrehzahl erkannt wurde.‑ Wenn Sie vermuten, dass die Pumpe mit Überdrehzahl läuft, schalten Sie sie aus, und wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. 7.8.4 Fehler in der Stromversorgung Wenn die Stromversorgung der nEXT-Pumpe ausfällt, während sich die Pumpe dreht, wird der Motor der Pumpe als Generator genutzt. - Seite 87 B8J200882_A - Betrieb Tabelle 20 Verhalten einer Pumpe, wenn die Stromversorgung nach einem Ausfall wieder hergestellt wird Länge des Stromausfalls Steuerungsmodus Verhalten der Pumpe Die rückgewonnene Energie erhält alle Die Stromversorgung ist Ausgangssignale während des Stromausfalls Entweder paralleler wieder hergestellt, bevor aufrecht.
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Seite 88: Ausheizen
Hochvakuumflansch auf über 70 °C ausgeheizt wird, muss sie mit Wasser gekühlt werden, um Schäden an der Lagerschmierung zu vermeiden. Zum Ausheizen der Pumpe kann die Edwards-Flanschheizung verwendet werden (siehe Zubehör). Bringen Sie die Manschette direkt um den CF-Hochvakuumflansch der Pumpe herum an. - Seite 89 B8J200882_A - Betrieb Öffnen Sie das Belüftungsventil, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % zurückgegangen ist. Wenn die Pumpe zum Stillstand gekommen ist, können das Belüftungsventil und das Vorvakuumventil geschlossen und die Vorvakuumpumpe ausgeschaltet werden. Page 87...
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Seite 90: Wartung
Lebensdauer des Rotors auf seite Die Lebensdauer der Rotoren einer nEXT-Turbomolekularpumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleunigungszyklen oder aber nach 10 Jahren, je nachdem, welche Bedingung zuerst eintritt, von Stopp-Stellung auf maximale Drehzahl und zurück in die Stopp-Stellung zum erweiterten... -
Seite 91: Lagerwartung
8.2 Lebensdauer des Rotors Die Lebensdauer der Rotoren einer nEXT-Turbomolekularpumpe beträgt in der Regel 40.000 bis 50.000 Zyklen. Als Vorsichtsmaßnahme empfiehlt Edwards, die Pumpen nach 20.000 Beschleunigungszyklen oder aber nach 10 Jahren, je nachdem, welche Bedingung zuerst eintritt, von Stopp-Stellung auf maximale Drehzahl und zurück in die Stopp- Stellung zum erweiterten Kundendienst (Rotoraustausch) zurückzusenden. -
Seite 92: Entschlüsseln Der Servicestatus-Wörter
B8J200882_A - Wartung 8.4 Entschlüsseln der Servicestatus-Wörter Der Zugriff auf den Servicestatus kann direkt über die serielle Verbindung erfolgen. Bei dieser Art von Zugriff auf den Servicestatus erhalten Sie den umfassendsten Überblick über die aktuellen und zukünftigen Serviceanforderungen und können präventive Wartungsmaßnahmen planen. -
Seite 93: Controller-Laufzeit
B8J200882_A - Wartung 8.5 Controller-Laufzeit Sie können die Betriebsstunden und die empfohlene Servicezeit des Controllers auf der nEXT-Pumpe überwachen. Senden Sie die folgende Abfrage: Befehl Die Antwort lautet wie folgt. Dabei gibt die erste Zahl die Betriebsstunden des Controllers und die zweite Zahl die Anzahl der Stunden bis zu einem empfohlenen Service an: Antwort = sp d... - Seite 94 B8J200882_A - Wartung Senden Sie die folgende Abfrage: Befehl Die Antwort lautet wie folgt. Dabei gibt die erste Zahl die Betriebsstunden des Lagers und die zweite Zahl die Anzahl der Stunden bis zu einem empfohlenen Service an: Antwort = sp d Page 92...
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Seite 95: Lagerung
B8J200882_A - Lagerung 9. Lagerung Vermeiden Sie, sofern möglich, eine längere Lagerung. Wenn eine längere Lagerung unvermeidlich ist, sollte die Pumpe alle 12 Monate aufgestellt und mindestens acht Stunden in Betrieb genommen werden. Verfahren Sie zum Einlagern der Pumpe wie folgt: Bringen Sie an allen Anschlüssen, dem Haupteinlass, dem Zwischenstufenauslass sowie dem Spül- und dem Belüftungsanschluss Schutzabdeckungen an. -
Seite 96: Entsorgung
Partikel zu vermeiden. Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Bei der Rücksendung der Pumpe an Edwards müssen Sie ein HS2-Formular ausfüllen. Entsorgen Sie die Pumpe und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. -
Seite 97: Fehlersuche
B8J200882_A - Fehlersuche 11. Fehlersuche Tabelle 23 Fehlersuche Störung Die LEDs des Controllers blinken nicht 0,5 Sekunden lang, wenn das System eingeschaltet wird auf seite 95 Die Pumpe dreht sich nicht, nachdem ein paralleler Start-Befehl geliefert wurde auf seite 95 Die Pumpe dreht sich nicht, nachdem ein serieller Start-Befehl gesendet wurde auf seite 95 Die Pumpe antwortet im Multidrop-Modus nicht auf seite 96 Die grüne Normal-LED leuchtet nicht auf oder die Pumpe dreht sich nicht mit maximaler Drehzahl... -
Seite 98: Die Pumpe Antwortet Im Multidrop-Modus Nicht
Ursache Der Rotor dreht sich nicht frei. Beseitigung Möglicherweise sind die Pumpenlager beschädigt. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Fehler Der Endvakuumdruck kann nicht erreicht werden Ursache Der Druck wird durch Wasserdampf begrenzt. -
Seite 99: Keine Serielle Datenübertragung
Beseitigung Ein Lager ist defekt. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Ursache Die Pumpe erzeugt ein konstantes hohes Geräusch. Beseitigung Der Rotor hat eine Unwucht. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Fehler Keine serielle Datenübertragung Ursache Keine Stromversorgung, serielle Verbindung verloren. -
Seite 100: Fail- Oder Standby-Signal Funktioniert Nicht
Sie die dort gegebenen Hinweise. Fehler Alle sonstigen Probleme Ursache Andere als die bisher erwähnten Störfälle. Beseitigung Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. 11.1 Befehlssatz Fehlercodes Mögliche Fehlercodes für die serielle Steuerung und Überwachung. Tabelle 24 Befehl Fehlercodes Zurückgesendeter Fehlercode Bedeutung Kein Fehler Ungültiger Befehl für Objekt ID... -
Seite 101: Blinksignale Für Wartung
Software hin. Schalten Sie die Stromversorgung in diesem Fall aus und wieder ein. Falls die LED auch nach dem Aus- und Wiedereinschalten noch erforderlich. Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Wenn die Alarm-LED blinkt, stellen Sie den Blinksignal-Fehlercode fest und konsultieren Sie die Tabelle in Entschlüsseln der... - Seite 102 Interne Software-Inkompatibilität Lsssss Fehlercode erneut auftritt. des Controllers. Wenden Sie sich in diesem Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe aus und wieder ein, Interner Konfigurations- und und überprüfen Sie, ob der sLssss Kalibrierungsvorgang für Fehlercode erneut auftritt.
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Seite 103: Entschlüsseln Der Systemstatus-Wörter
B8J200882_A - Fehlersuche 11.4 Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter Wenn Sie mit einer seriellen Datenübertragungsverbindung arbeiten, können Sie auf weitere Informationen zugreifen, die für die Fehlersuche hilfreich sein können. Wenn Sie eine Abfrage zur Überwachung der gemessenen Motordrehzahl senden, sendet die Pumpe auch ein Systemstatus-Wort zurück. Der Sendebefehl ist wie folgt: Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus, wobei sich die erste zurückgesendete Zahl auf die... - Seite 104 Tabelle gezeigt. enthält eine Liste der unteren 16 Status-Flags, die bei der Fehlersuche hilfreich sind. Die oberen 16 Status-Flags sind für Edwards reserviert. Binäre Ziffern 0 0 1 0 0 0 1 0 1 0 0 0 0 0 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 ê...
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Seite 105: Service-Informationen
B8J200882_A - Fehlersuche Status-Flags Aktive Flags bedeuten Bit-Nr. Serial control mode interlock „Serial Enable“ ist im Anschluss an einen (Verriegelung des seriellen seriellen Start-Befehl inaktiv geworden Steuerungsmodus) Das in dem Beispiel verwendete Systemstatus-Wort wurde erhalten, während sich die Pumpe in Ruhe befand. Durch die Entschlüsselung des Wortes können wir mehr über den Status der Pumpe erfahren. - Seite 106 B8J200882_A - Fehlersuche Befehl Die Antwort sieht wie folgt aus, wobei String 1 den Pumpentyp angibt, String 2 die Versionsnummer der DSP-Software ist und String 3 die vorgegebene maximale Drehzahl der Pumpe (in Umdrehungen pro Sekunde) ist: Antwort = String 1 String 2 ;...
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Seite 107: Kundendienst
Seriennummer ▪ Bestellnummer und Beschreibung des Teils Unsere Produkte werden über ein weltweites Netz von Edwards-Kundendienstzentren betreut. Jedes Kundendienstzentrum bietet eine große Auswahl an Optionen, wie zum Beispiel: Gerätedekontamination Austausch im Rahmen des Kundendiensts; Reparatur; Umbau und Test nach Werksspezifikationen. Anlagen und Geräte, an denen Wartungs-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller... -
Seite 108: Vor-Ort-Wartung Des Lagers
B8J200882_A - Kundendienst ▪ Wenn Sie eine Pumpe speziell für Ihre Anwendung konfiguriert haben, fertigen Sie eine Aufzeichnung/Kopie der Konfiguration an, bevor Sie die Pumpe einschicken. Alle Ersatzpumpen werden mit den werkseitigen Standardeinstellungen ausgeliefert. ▪ Schicken Sie keine Pumpe mit montiertem Zubehör ein. Bauen Sie alle Zubehörteile ab, und bewahren Sie sie zur künftigen Verwendung auf. -
Seite 109: Ersatzteile
B8J200882_A - Ersatzteile 13. Ersatzteile HINWEIS: Die Verwendung von Ersatzteilen, die nicht von Edwards stammen, kann eine geringere Zuverlässigkeit und Leistung zur Folge haben, außerdem erlischt der Gewährleistungsanspruch. 13.1 Ansaugsieb Die Pumpe wird mit montierten Ansaugsieben geliefert, um Schäden durch das Eindringen von Schmutzpartikeln in die Pumpe zu verhindern. -
Seite 110: Zubehör
B8J200882_A - Zubehör 14. Zubehör Luftkühler auf seite Der Luftkühler ist mit einem vorverdrahteten Anschluss direkt zu einem Aux-Anschluss am Controller erhältlich. Wasserkühler auf An die Pumpe kann ein Wasserkühler montiert werden, wenn seite 109 eine Wasserzufuhr verfügbar ist. Flanschheizung auf Eine nXT-Flanschheizung beschleunigt die Entgasung der seite 109 Pumpe und ermöglicht, niedrigere Druckwerte zu erzielen. -
Seite 111: Luftkühler
110-V- und 240-V-Versionen erhältlich. Hinweis: Die Flanschheizung ist nur für den Einsatz in den CF-Varianten bestimmt. Tabelle 36 Flanschheizung Flanschheizung Bestellnummer Flanschheizung nEXT 730D (110 V) B58052775 Flanschheizung nEXT 730D (240 V) B58052776 Flanschheizung nEXT 930D (110 V) auf Anfrage... -
Seite 112: Tav5-Belüftungsventil
B8J200882_A - Zubehör 14.4 TAV5-Belüftungsventil Zum Belüften des Systems stehen 24 V-DC-TAV5-Magnet-Belüftungsventile zur Verfügung; diese sind entweder Ventile N/O (im Ruhezustand geöffnet) oder N/C (im Ruhezustand geschlossen) Beide Ventile sind mit einem vorverdrahteten Anschluss direkt oder über einen Draht zu einem Aux-Anschluss am Controller erhältlich. -
Seite 113: Prx-Spülgas-Drosselventil
Software die Anzeige des Servicestatus, die Zurücksetzung der Serviceintervalle und die Aktualisierung der im Motor-Controller integrierten Software. Diese Software steht auf der Upgrade-Website von Edwards zum Download zur Verfügung: www.upgrades.edwardsvacuum.com Derzeit ist für die Verwendung der nST-Software eine kostenlose Lizenz erforderlich. -
Seite 114: Zusätzliches Verlängerungskabel
B8J200882_A - Zubehör Tabelle 42 Hilfsklemme Bestellnummer nEXT-Hilfsanschluss B8G200839 14.11 Zusätzliches Verlängerungskabel Das Kabel erhöht den Abstand vom Zubehör zur Pumpe und nutzt einen rechtwinkligen Stecker zur Erleichterung der Installation bei begrenztem Platz. Das Kabel ist 0,2 m lang. Tabelle 43 Zusätzliches Verlängerungskabel Bestellnummer Zusätzliches nEXT-Verlängerungskabel B8G200836... - Seite 115 B8J200882_A - Zubehör Page 113...
- Seite 116 edwardsvacuum.com...