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3.4
Wise Technology™ Sensor
Der Heliumsensor (Wise Technology™ Sensor) besteht aus einem geschlossenen
Glasgehäuse mit einem Messgerät für die genaue Bestimmung des Drucks im
Inneren des Glasgehäuses und einem Membranchip mit einer großen Anzahl an
kleinen Quarzfenstern.
Die Membran ist nur für Helium durchlässig, alle anderen Bestandteile in der Luft
werden durch die Membran vom Inneren des Glasgehäuses zurückgehalten.
Die Quarzmembran wird beheizt, so dass die Durchlässigkeit für Helium ausrei-
chend hoch und schnell ist.
Im Inneren des Glasgehäuses wird der Gesamtdruck genau gemessen. Da nur
Helium in das Glasgehäuse eindringen kann, entspricht der Gesamtdruck dem parti-
ellen Druck des Heliums.
Der festgestellte Gesamtdruck im Inneren des Gehäuses ist proportional zu dem
Helium-Partialdruck außerhalb des Sensors.
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Beschreibung
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