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INFICON
8.6 CHLD-Sensor einstellen
Pernicka-700H-CHLD-Betriebsanleitung-jin76ade1-04-(1911)
Das Fenster "Tools" enthält Funktionen, mit denen Sie Einstellungen am CHLD-
Sensor durchführen können. Beispielsweise können Sie auf eine andere Kathode
umschalten oder den Betriebsstrom des SEM-Verstärkers verändern.
► Um das Fenster "Tools" zu öffnen, drücken Sie den Reiter "Tools".
Abb. 57: Fenster "Tools"
Im Fenster "Tools" sind Funktionen zur Wartung und Diagnose des Geräts vorhanden.
Taste
idle
About
TuneUp
soft emi
degas
Beschreibung
Anzeige des Fensters "Tools" (siehe Abbildung oben).
Anzeige der Software-Versionsnummer und INFICON-
Adresseninformationen.
► Um z. B. zwischen den Heizdrähten 1 und 2 im CHLD-
Sensor umzuschalten, drücken Sie diese Taste. Siehe
"Kathode im CHLD-Sensor wählen [} 106]".
Aufruf von Diagnose-Werkzeugen für die Kathoden.
► Sie können den Emissionsstrom für die Kathoden
erhöhen.
► Um die Kathoden von anhaftenden Stoffen zu reinigen,
wählen Sie diese Funktion. Der Emissionsstrom für die
Kathode wird auf 5 mA erhöht und die anhaftenden
Stoffe werden von der Kathode abgedampft.
Beachten Sie, dass der Betrieb der Kathode mit einem
erhöhten Emissionsstrom die Lebensdauer der Kathode
reduziert.
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