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Beschreibung
In dem seltenen Fall, dass der Sensor mit Helium verseucht ist, ist nur das Ventil V3
zum Referenzeinlass "Ref" geöffnet, um den Sensor zu spülen. In diesem Fall muss
hochreiner Stickstoff oder Außenluft dem Referenzeinlass zugeführt werden um den
Sensor möglichst schnell zu entseuchen.
Fig. 3-8 Ventilkonfiguration in Dekontaminierung
Pos. Beschreibung
1
Eingang "IN"
2
Referenz "Ref"
3
Filter 2
4
Ventil V
3
5
Ventil V
2
6
Drossel 2
7
Wise Technology™ Sensor
Pos.
Beschreibung
8
Druckmesser p1
9
Pumpe
10
Pumpenanschluss "AUS"
11
Drossel 3
12
Drossel 1
13
Ventil V
1
14
Filter 1
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