INFICON T-Guard Technisches Handbuch Seite 19

Bei der FEIN-Messung sind V1 und V2 offen, V3 ist geschlossen (siehe
Sensor bekommt nur das Gas aus dem Messeingang und zeigt die höchste Empfind-
lichkeit für Helium, das von der Messleitung kommt.
Fig. 3-9 Ventilstellung bei FEIN
Pos. Beschreibung
1 Eingang "IN"
2 Referenz "Ref"
3 Filter 2
4 Ventil V
3
5 Ventil V
2
6 Drossel 2
7 Wise Technology™ Sensor
Pos. Beschreibung
8 Druckmesser p1
9 Pumpe
10 Pumpenanschluss "AUS"
11 Drossel 3
12 Drossel 1
13 Ventil V
1
14 Filter 1
Beschreibung
Fig. 3-9). Der
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