INFICON T-Guard Technisches Handbuch Seite 16

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Beschreibung
Wenn der T-Guard™ Sensor zur Dichtheitsprüfung gerade nicht misst oder F
ist, sind V2 und V3 offen, V1 ist geschlossen (siehe
Referenzeingang gelangt zum Sensor.
Fig. 3-6 Ventilstellung bei F
Pos. Beschreibung
1 Eingang "IN"
2 Referenz "Ref"
3 Filter 2
4 Ventil V
3
5 Ventil V
2
6 Drossel 2
7 Wise Technology™ Sensor
ERTIG
Pos. Beschreibung
8 Druckmesser p1
9 Pumpe
10 Pumpenanschluss "AUS"
11 Drossel 3
12 Drossel 1
13 Ventil V
14 Filter 1
Fig. 3-6). Nur das Gas vom
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ERTIG