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FocusParameterMonitor FPM
9.3.2
IP-Adresse eines verbundenen Gerätes ändern ........................................................39
9.3.3
Verbindung zum FPM aufbauen ................................................................................40
9.3.4
IP-Adresse mit DHCP automatisch beziehen.............................................................41
10
Beschreibung der LDS
10.1 Grafische Benutzeroberfläche .................................................................................................42
10.1.1
Die Menüleiste ..........................................................................................................43
10.1.2
Die Werkzeugleiste ....................................................................................................44
10.1.3
Menü-Übersicht ........................................................................................................44
11
Messeinstellungen
11.1 Warnhinweise ..........................................................................................................................47
11.2 Messparameter mit der LDS eingeben ....................................................................................48
11.2.1
Verbindung herstellen ................................................................................................48
11.2.2
Auflösung einstellen ..................................................................................................48
11.2.3
Messfenster und Position einstellen...........................................................................49
11.2.4
Die Kommandozeile „Command" ..............................................................................50
11.2.5
Setups erstellen ........................................................................................................51
11.2.6
Überprüfen der Strahlposition ...................................................................................52
11.3 Messparameter über die SPS eingeben ..................................................................................52
11.4 Belichtungszeit ermitteln mit Hilfe der LDS ..............................................................................53
11.4.1
Vorbereitung .............................................................................................................53
11.4.2
Auslösen einer händischen Messung ........................................................................53
11.4.3
Einstellen der Verstärkung .........................................................................................54
11.5 Belichtungszeit ermitteln über die SPS ....................................................................................55
12
Messen
12.1 Messabläufe ............................................................................................................................61
12.1.1
Messablauf Leistungsmessung .................................................................................61
12.1.2
Messablauf Fokusmessung (ungetriggert) .................................................................62
12.1.3
Messablauf Fokusmessung (getriggert) .....................................................................63
12.1.4
Messablauf Kaustikmessung .....................................................................................64
12.1.5
Messablauf kombinierte Messung .............................................................................65
12.2 Timing-Diagramme ..................................................................................................................67
12.2.1
Timing-Diagramm der Leistungsmessung .................................................................67
12.2.2
Timing-Diagramm Fokusmessung (ungetriggert) .......................................................68
12.2.3
Timing-Diagramm Fokusmessung (getriggert) ...........................................................70
12.2.4
Timing-Diagramm Kaustikmessung ...........................................................................72
12.2.5
Timing-Diagramm kombinierte Messung ...................................................................73
12.3 Ablauf-Diagramm kombinierte Messung .................................................................................76
13
Darstellung einer Messung im Webbrowser
14
Wartung und Inspektion
14.1 Wartungsintervalle ...................................................................................................................80
14.2 Reinigung ................................................................................................................................80
14.2.1
Geräteoberfläche reinigen .........................................................................................80
14.2.2
Schutzglas reinigen ...................................................................................................80
14.3 Ersatzteile ...............................................................................................................................80
14.4 Wartung/Austausch des Schutzglases ....................................................................................81
14.4.1
Wechselkassette austauschen ..................................................................................82
14.4.2
Schutzglas wechseln oder reinigen ...........................................................................83
15
Maßnahmen zur Produktentsorgung
16
Einbauerklärung für eine unvollständige Maschine
17
Technische Daten
18
Abmessungen
Revision 08 DE - 12/2023
42
47
61
78
80
84
85
86
88
5
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