primes FocusParameterMonitor FPM-Serie Originalbetriebsanleitung Seite 5

FocusParameterMonitor FPM
9.3.2 IP-Adresse eines verbundenen Gerätes ändern ........................................................39
9.3.3 Verbindung zum FPM aufbauen ................................................................................40
9.3.4 IP-Adresse mit DHCP automatisch beziehen.............................................................41
10 Beschreibung der LDS
10.1 Grafische Benutzeroberfläche .................................................................................................42
10.1.1 Die Menüleiste ..........................................................................................................43
10.1.2 Die Werkzeugleiste ....................................................................................................44
10.1.3 Menü-Übersicht ........................................................................................................44
11 Messeinstellungen
11.1 Warnhinweise ..........................................................................................................................47
11.2 Messparameter mit der LDS eingeben ....................................................................................48
11.2.1 Verbindung herstellen ................................................................................................48
11.2.2 Auflösung einstellen ..................................................................................................48
11.2.3 Messfenster und Position einstellen...........................................................................49
11.2.4 Die Kommandozeile „Command" ..............................................................................50
11.2.5 Setups erstellen ........................................................................................................51
11.2.6 Überprüfen der Strahlposition ...................................................................................52
11.3 Messparameter über die SPS eingeben ..................................................................................52
11.4 Belichtungszeit ermitteln mit Hilfe der LDS ..............................................................................53
11.4.1 Vorbereitung .............................................................................................................53
11.4.2 Auslösen einer händischen Messung ........................................................................53
11.4.3 Einstellen der Verstärkung .........................................................................................54
11.5 Belichtungszeit ermitteln über die SPS ....................................................................................55
12 Messen
12.1 Messabläufe ............................................................................................................................61
12.1.1 Messablauf Leistungsmessung .................................................................................61
12.1.2 Messablauf Fokusmessung (ungetriggert) .................................................................62
12.1.3 Messablauf Fokusmessung (getriggert) .....................................................................63
12.1.4 Messablauf Kaustikmessung .....................................................................................64
12.1.5 Messablauf kombinierte Messung .............................................................................65
12.2 Timing-Diagramme ..................................................................................................................67
12.2.1 Timing-Diagramm der Leistungsmessung .................................................................67
12.2.2 Timing-Diagramm Fokusmessung (ungetriggert) .......................................................68
12.2.3 Timing-Diagramm Fokusmessung (getriggert) ...........................................................70
12.2.4 Timing-Diagramm Kaustikmessung ...........................................................................72
12.2.5 Timing-Diagramm kombinierte Messung ...................................................................73
12.3 Ablauf-Diagramm kombinierte Messung .................................................................................76
13 Darstellung einer Messung im Webbrowser
14 Wartung und Inspektion
14.1 Wartungsintervalle ...................................................................................................................80
14.2 Reinigung ................................................................................................................................80
14.2.1 Geräteoberfläche reinigen .........................................................................................80
14.2.2 Schutzglas reinigen ...................................................................................................80
14.3 Ersatzteile ...............................................................................................................................80
14.4 Wartung/Austausch des Schutzglases ....................................................................................81
14.4.1 Wechselkassette austauschen ..................................................................................82
14.4.2 Schutzglas wechseln oder reinigen ...........................................................................83
15 Maßnahmen zur Produktentsorgung
16 Einbauerklärung für eine unvollständige Maschine
17 Technische Daten
18 Abmessungen
Revision 08 DE - 12/2023
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