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12.2.3
Timing-Diagramm Fokusmessung (getriggert)
Das folgende Timing-Diagramm zeigt eine getriggerte Messung. Dies ist der Standardfall.
Abb. 12.3:
Timingdiagramm der Fokusmessung (getriggert)
t0:
Die Messparameter (Setup-Nr. oder detaillierte Messparameter) müssen gesetzt sein, ehe das
Flag „start" gesetzt wird.
t1:
Als Bestätigung, dass das Start-Kommando und die Messparameter empfangen wurden, wird
das Flag „start acknowledge" gesetzt, „idle" und „finished" gelöscht. Ebenso werden die Ergeb-
nisregister, die Fehlerflags und die Fehler-Kennungen gelöscht.
t2:
Dann darf das Flag „start" gelöscht werden.
t3:
Wenn „start" wieder gelöscht ist, wird „start acknowledge" gelöscht und „measurement running"
gesetzt.
t4:
Wenn „start acknowledge" wieder gelöscht ist, ist sichergestellt, dass die Messparameter einge-
lesen wurden; sie können dann beliebig geändert werden (z. B. als Vorbereitung für die nächste
Messung)
t5:
Wenn die Messbereitschaft hergestellt ist, wird „ready" gesetzt. Als Zeichen, dass jetzt der Laser
angeschaltet werden soll „Laser on". Der Laserpuls sollte nicht vorher ausgelöst werden, da er
sonst möglicherweise schon vorbei ist, ehe das Gerät messbereit ist!
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FocusParameterMonitor FPM
Revision 08 DE - 12/2023
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