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FocusParameterMonitor FPM
8.3
Fehlerkennung
Die Fehlerkennungen werden in die nachfolgend beschriebenen sechs Gruppen eingeteilt: Hardware,
Parameteranwahl, usw. Bei der Ausgabe der Fehlerkennungen ist zu beachten, dass die Fehlerkennungen
innerhalb einer Gruppe aufaddiert werden.
In der Gruppe Parameteranwahl könnte z.B. die Fehlerkennung „3" ausgegeben werden. Daraus kann man
kombinieren, dass das Fenster in X- und in Y-Richtung zu klein ist.
8.3.1
Fehlerkennung Hardware
„Gruppenmeldung Fehler Hardware" wird gesetzt.
„Measurement Failure" wird gesetzt.
Fehler
Xilinx oder ExtXi-Fehler
EE-CRC nicht korrekt
8.3.2
Fehlerkennung Parameteranwahl
„Gruppenmeldung Fehler Parameteranwahl" wird gesetzt.
„Measurement Failure" wird gesetzt.
Fehler
Fenster (in X) zu klein
Fenster (in Y) zu klein
Fenster (in X) zu groß/
zu weit rechts
Fenster (in Y) zu groß/
zu weit oben
Auflösung (in X) zu klein
Auflösung (in Y) zu klein
Auflösung (in X) zu groß (für LDS)
Auflösung (in Y) zu groß (für LDS)
Auflösung (in X) zu groß
Auflösung (in Y) zu groß
kleinstes y-Fenster bei x_
anz==1024
Zu viele Pixel für
Array sample_data
Abschwächung zu stark
Integrationszeit oder Delay zu groß
Unzulässige BeamFind-Parameter
Sonstiger unzulässiger Parameter
Revision 08 DE - 12/2023
Fehlerbedingung
mess_x == 0 oder
(anz_x>512)&&((mess_y/anz_y)*projection) < (pixelpitch_y*2)
mess_y == 0
((pos_x+mess_x)*projection) > ((pixelnumberx*pixelpitchx)/1000)
((pos_y+mess_y)*projection) > ((pixelnumbery*pixelpitchy)/1000)
anz_x == 0
anz_y == 0
anz_x > 1024
anz_y > 1024
((mess_x/anz_x)*projection) < (pixelpitchx)
((mess_y/anz_y)*projection) < (pixelpitchy)
((mess_y/anz_y)*projection) < (pixelpitchy * 2)
((anz_x+25)*anz_y) > 550000
amp < -85.1;
tInt > 217026µs; tDelay > 217026µs
counts > 4095 oder percent > 99
Auswertealgorithmus > 1; Triggermode > 2; Messmodus>3;
Kennung
0x0001
0x0002
Kennung
0x0001
0x0002
0x0004
0x0008
0x0010
0x0020
0x0040
0x0080
0x0100
0x0200
0x0400
0x0800
0x1000
0x2000
0x4000
0x8000
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