Prüfen Und Korrektur Der Öffnung In Dem Prozess; Prüfen Der Laserausgangsleistung Und Korrektur Im Fall Von Verschlechterung Oder Verlust - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

Abb. 10.1 Bedingungen, unter denen eine Ausrichtung der optischen Achse erforderlich ist
Verbessert sich der Übertragungsgrad trotz einer Neuausrichtung der optischen Achse gemäß
Abschnitt 3.3 nicht, liegen weitere Faktoren vor, die das Problem verursachen.
(3) Prüfen und Korrektur der Öffnung in dem Prozess
Bringen die unter (1) und (2) beschriebenen Maßnahmen keine Verbesserung des
Übertragungsgrads, kann das Problem in der Prozess-Durchgangsstrecke liegen.
Beispielsweise können sich in einem Prozessflansch oder einem Einsatzrohr Staub oder
sonstige Ablagerungen angesammelt haben und den Laserstrahl blockieren.
Nehmen Sie den TDLS8000 vom Ausrichtflansch ab und überprüfen Sie, dass sich im
Prozessflansch und dem Einsatzrohr keine Ablagerungen gebildet haben. Sind Ablagerungen
vorhanden, entfernen Sie sie bitte wie folgt:
Abb. 10.2 Beispiel für Ablagerungen in der Öffnung
(a) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(b) Stoppen Sie die Spülung von LU und SCU.
(c) Bauen Sie LU und SCU vom Ausrichtflansch ab.
(d) Schauen Sie durch das Prozessfenster und überprüfen Sie den Zustand der Durchgangsstrecke.
Wenn Sie Ablagerungen feststellen, führen Sie folgende Maßnahmen durch:
(e) Bauen Sie die Prozessschnittstelle (Ausrichtflansch oder Prozess-Isolationsflansch) ab.
(f) Falls Einsatzrohre verwendet werden, entfernen Sie sie aus dem Prozess. Entfernen
Sie anschließend die Ablagerungen. Sind auch in den Prozessflanschen Ablagerungen
vorhanden, sind diese auch zu entfernen.
(g) Bauen Sie die Prozessschnittstelle wieder in den Prozess ein.
(h) Bauen Sie den TDLS8000 wieder ein, führen Sie Spülgas zu und schalten Sie die
Spannungsversorgung ein.
Falls Sie den Ausrichtflansch entfernt haben, richten Sie die optische Achse gemäß
„3.3 Ausrichtung der optischen Achse" erneut aus.
Kann der Übertragungsgrad auch durch Entfernen der Ablagerungen nicht verbessert werden,
gibt es ggf. noch andere Problemfaktoren.
(4) Prüfen der Laserausgangsleistung und Korrektur im Fall von
Verschlechterung oder Verlust
Ist das Übertragungssignal sehr niedrig oder Null auch nach Durchführung der in (1), (2) und (3)
beschriebenen Maßnahmen, kann die Laser-Ausgangsleistung merklich nachgelassen haben
oder der Laser hat eine Funktionsstörung.
Zur Prüfung der Laser-Ausgangsleistung führen Sie folgende Schritte durch:
(a) Schalten Sie die Spannungsversorgung des TDLS8000 aus.
(b) Bauen Sie LU und SCU aus dem Prozess aus.
<10. Fehlersuche>
IM 11Y01D01-01D-E 11. Ausgabe: 05. Januar 2023-00
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