Austauschteile (Prozessfenster); Austauschverfahren Für Prozessfenster (Am Ausrichtflansch) - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

10.4.1

Austauschteile (Prozessfenster)

Für den Austausch von Prozessfenstern sind die in Tabelle 10.1 aufgeführten Komponenten
bereit zu halten.
Tabelle 10.1
Nr. Teilenum-
mer
1 K9772RA Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -X1, -X2)
2 K9772RB Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -H1)
3 K9772RC Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -A1)
4 K9772RD Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für -H3)
5 K9772RE Prozessfenstereinheit Für Ausrichtflansche (für-C3, -C4)
6 K9772TH O-Ring
7 K9775EA Saphirglasfenster
8 K9775EB Saphirglasfenster
9 K9775EC Saphirglasfenster
10 K9775ED Saphirglasfenster
11 K9775EE Saphirglasfenster
12 K9775GM O-Ring
*: Der Text in Klammern bezieht sich auf Gasparameter oder Zusatzcodes die in Modell und Code angegeben sind.
10.4.2 Austauschverfahren für Prozessfenster (am
Ausrichtflansch)
Dieser Abschnitt beschreibt das Austauschverfahren für das am Ausrichtflansch angebrachte
Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett gestoppt
ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre entweichen kann.
Das Ausbauen eines Prozessfensters bei laufendem Prozess ist extrem gefährlich!
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den TDLS8000 vom Prozess.
(Trennen Sie ihn gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie beispielsweise ein
Prozessabsperrventil nutzen.)
(5) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist und bauen
Sie es aus.
(6) Lösen Sie die vier M4-Inbusschrauben der Halterung des Prozessfensters im
Ausrichtflansch und nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
(7) Installieren Sie ein neues Prozessfenster. Ersetzen Sie auch den O-Ring.
Ersatzteile
Teilebezeichnung
Für Prozessfenster des Ausrichtflansches
Für Prozess-Isolationsflansche oder Durchflusszellen (für
-X1, -X2)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für -H1)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für -A1)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für -H3)
Für Prozess-Isolierflansche oder Durchflusszellen (für -C3, -C4)
Für Prozessfenster des Prozess-Isolationsflansches oder
der Durchflusszelle
Für Prozessfenster der Durchflusszelle
<10. Fehlersuche>
Zweck*
IM 11Y01D01-01D-E 11. Ausgabe: 05. Januar 2023-00
10-8
Anzahl
1
oder
2