Gasspülungen; Verwenden Der Steuerelemente Der Pumpe; Einführung - Edwards Rv3 Betriebsanleitung

▪ Bringen Sie eine Inertgasspülung in den Gasballast-Anschluss der Pumpe ein, um
die Kondensation zündfähiger Dämpfe im Pumpenmechanismus sowie in der
Abgasleitung zu verhindern.
5.1.2 Gasspülungen
WARNUNG:
Wenn Sie Spülungen mit Inertgas verwenden, um gefährliche Gase auf einen sicheren
Wert zu verdünnen, stellen Sie sicher, dass die Pumpe ausgeschaltet wird, falls die
Inertgasversorgung ausfallen sollte.
WARNUNG:
Befolgen Sie die nachfolgenden Sicherheitshinweise, um sicherzustellen, dass die
gepumpten Gase nicht ihren zündfähigen Bereich erreichen.
Schalten Sie die Inertgasspülung ein, um Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu
entfernen, bevor Sie den Prozess starten. Schalten Sie den Spülfluss am Prozessende erst
aus, nachdem die zündfähigen Restgase oder -dämpfe aus der Pumpe und der
Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die zündfähige Dämpfe erzeugen, in der Pumpenumwegleitung
vorliegen könnten, muss die Inertgasversorgung der Vakuumpumpe solange
eingeschaltet bleiben, wie diese Flüssigkeiten vorhanden sind. Zündfähige Flüssigkeiten
könnten aufgrund von Kondensation in der Vorvakuumleitung vorhanden oder aus dem
Prozess mitgerissen worden sein.
Berücksichtigen Sie bei der Berechnung des Durchsatzes des Inertgases für die Spülung
den maximalen Durchsatz der zündfähigen Gase/Dämpfe, die auftreten könnten. Wenn
Sie beispielsweise eine Massendurchsatzsteuerung einsetzen, um zündfähige Gase in
den Prozess zu leiten, sollten Sie eine Flussrate für zündfähige Gase zugrunde legen, die
bei vollständig geöffneter Massendurchsatzsteuerung auftreten könnte.
Ermitteln Sie kontinuierlich die Fließrate des Inertgases: Sollte der Durchsatz unter den
erforderlichen Wert sinken, muss die Zufuhr des zündfähigen Gas- oder Dampfstroms
zur Pumpe gestoppt werden.
Hinweis:
Wir empfehlen hierzu das Handbuch „Vacuum Pump and Vacuum System Safety"
(Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen) (Publikationsnummer
P40040100), das bei uns oder beim Lieferanten erhältlich ist.

5.2 Verwenden der Steuerelemente der Pumpe

5.2.1 Einführung
Verwenden Sie die Modusauswahl
Steuerventil
Pumpe für die jeweilige Anwendung. Die Leistungseigenschaften der Pumpe bei
unterschiedlichen Steuerungseinstellungen finden Sie in der
Hochvakuum-Betrieb
A65201882_AA
A65201882_AA - Bedienung
Abbildung: Die RV-Pumpe, Ziffer 5) zur Optimierung der Leistung der RV-
und der Tabelle: Leistungsdaten –
Seite 35
(Abbildung: RV-Pumpe, Ziffer 11) und das Gasballast-
Hochdurchsatz-Betrieb. Die
Tabelle: Leistungsdaten
05/2021 - ©Edwards Limited