Edwards RV3 Betriebsanleitung Seite 14

Parameter
Stromversorgung 50 Hz
Stromversorgung 60 Hz
Maximal zulässiger Einlass- und Gasballast-Einlassdruck
bar gemessen
Pa
Maximal zulässiger Auslassdruck
bar gemessen
Pa
Tabelle 3 Leistungsdaten – Hochvakuum-Betrieb – 1
Parameter
Gasballast-Steuerventil geschlossen (Position „0")
Gesamtdruck Endvakuum
Gasballast-Steuerventil niedriger Durchsatz (Position „I")
Gesamtdruck Endvakuum
Gasballast-Durchsatz
Maximale Wasserdampf-
Pumpkapazität
Maximaler Wasserdampf-
Einlassdruck
Gasballast-Steuerventil hoher Durchsatz (Position „II")
Gesamtdruck Endvakuum
Gasballast-Durchsatz
Maximale Wasserdampf-
Pumpkapazität
Maximaler Wasserdampf-
Einlassdruck
A65201882_AA
A65201882_AA - Technische Daten
RV3
3,3
3,9
0,5
1,5 × 10
0,2
0,2 × 10
HOCHVAKUUM-BETRIEB S
Einheiten
einphasig
mbar
Pa
mbar
Pa
-1
l min
-1
0,06
kg h
mbar 27
Pa
2,7 x 10
mbar
1,2 x 10
Pa
1,2 x 10
-1
l min
-1
0,22
kg h
mbar 80
3
Pa
8 x 10
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Referenzdaten
RV5
5,1
6,2
0,5
5 5
1,5 × 10 1,5 × 10
0,2
5 5
0,2 × 10 0,2 × 10
RV3
dreiphasig einphasig
-3
2 x 10
-1
2 x 10
-2
3 x 10
3
5
0,04
18
3 3
1,8 x 10 1,6 x 10
-1
1
14
0,12
54
3
5,4 x 10
RV8 RV12
8,5 12,0
10,0 14,2
0,5 0,5
5
1,5 × 10
0,2 0,2
5
0,2 × 10
RV5
dreiphasig
-3
2 x 10
-1
2 x 10
-2
3 x 10
3
5
0,06 0,04
16 11
3
1,1 x 10
-1
1 x 10
1
1 x 10
14
0,22 0,12
50 32
3
5 x 10 3,2 x 10
05/2021 - ©Edwards Limited
5
5
3
3