Pumpen Kondensierbarer Dämpfe; Dekontamination Des Öls - Edwards Rv3 Betriebsanleitung

Leistung nicht (das Endvakuum wird nicht erreicht).
Ursachen für das Nichterreichen der angegebenen Leistung. Beachten Sie jedoch die
folgenden häufigsten Ursachen:
▪ Die Druckmesstechnik bzw. die Messröhre ist nicht geeignet oder die Messröhre ist
beschädigt.
▪ Es wurde ein anderes als das empfohlene Öl verwendet und der Dampfdruck des
Öls ist höher als das angegebene Endvakuum der Pumpe.
Gehen Sie wie folgt vor, um das Endvakuum zu erreichen:
1. Trennen Sie die RV-Pumpe vom Vakuumsystem.
2. Wählen Sie mit der Modusauswahl den Hochdurchsatz-Betrieb S , setzen Sie das
Gasballast-Steuerventil auf niedrigen Durchsatz (Position „I") und betreiben Sie die
Pumpe mindestens eine Stunde lang (oder über Nacht), um das Öl gründlich von
Verunreinigungen zu befreien.
3. Wählen Sie mit der Modusauswahl den Hochvakuum-Betrieb S und schließen Sie
das Gasballast-Steuerventil (Position „0").
Öffnen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems und pumpen Sie bis zum Endvakuum.
5.5 Pumpen kondensierbarer Dämpfe
Verwenden Sie Gasballast (Gasballast-Steuerventil in Position „I" oder „II"), wenn sich in
den Prozessgasen ein hoher Anteil kondensierbarer Dämpfe befindet.
1. Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems.
2. Drehen Sie die Modusauswahl vollständig im Uhrzeigersinn, um den Hochvakuum-
Betrieb S auszuwählen, oder vollständig entgegen dem Uhrzeigersinn, um den
Hochdurchsatz-Betrieb S auszuwählen (siehe
3. Drehen Sie das Gasballast-Steuerventil auf hohen Durchsatz (Position „II") und
betreiben Sie die Pumpe 30 Minuten lang, um das Öl zu wärmen; dadurch wird die
Dampfkondensierung in der Pumpe verhindert.
4. Setzen Sie das Gasballast-Steuerventil auf die für die jeweilige Anwendung
erforderliche Position (siehe
der
Hochdurchsatz-Betrieb).
5. Öffnen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems.
Dekontaminieren Sie nach dem Pumpen kondensierbarer Dämpfe bei Bedarf das Öl:
Verfahren Sie wie in
5.6 Dekontamination des Öls
Das Öl in der Pumpe sollte klar sein; wenn das Öl trüb oder verfärbt ist, ist es mit
Prozessdämpfen verunreinigt.
1. Betrachten Sie den Zustand des Öls im Ölstand-Schauglas
Ziffer 8). Wenn das Öl nicht klar oder verfärbt ist, fahren Sie mit der
Vorgehensweise unter Schritt 2 unten fort.
2. Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems.
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A65201882_AA - Bedienung
Tabelle: Leistungsdaten Hochvakuum-Betrieb
Dekontamination des Öls
auf seite 47 für eine Liste möglicher
Modusauswahl
Gasballast-Steuerventil
auf seite 38 beschrieben.
Seite 38
auf seite 36).
auf seite 36 und die Daten in
und der Tabelle: Leistungsdaten
(Abbildung: RV-Pumpe,
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