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A373-10-882 Issue T
4.1.3
Gasspülungen
Wenn Sie Spülungen mit Inertgas verwenden, um gefährliche Gase auf einen sicheren Wert zu
verdünnen, stellen Sie sicher, dass die Pumpe ausgeschaltet wird, falls die Inertgasversorgung
ausfallen sollte.
Befolgen Sie die nachfolgenden Sicherheitshinweise, um sicherzustellen, dass die gepumpten Gase
nicht ihren zündfähigen Bereich erreichen.
Schalten Sie die Inertgasspülung ein, um Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu entfernen, bevor Sie den Prozess
starten. Schalten Sie den Spülfluss am Prozessende erst aus, nachdem die zündfähigen Restgase oder -dämpfe aus
der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.
Falls Flüssigkeiten, die zündfähige Dämpfe erzeugen, in der Pumpenumwegleitung vorliegen könnten, muss die
Inertgasversorgung der Vakuumpumpe solange eingeschaltet bleiben, wie diese Flüssigkeiten vorhanden sind.
Zündfähige Flüssigkeiten könnten aufgrund von Kondensation in der Umwegleitung vorliegen oder aus dem Prozess
mitgerissen worden sein.
Berücksichtigen Sie bei der Berechnung des Durchsatzes des Inertgases für die Spülung den maximalen Durchsatz der
zündfähigen Gase/Dämpfe, die auftreten könnten. Wenn Sie beispielsweise eine Massendurchsatzsteuerung
einsetzen, um zündfähige Gase in den Prozess zu leiten, sollten Sie eine Flussrate für zündfähige Gase zugrunde
legen, die bei vollständig geöffneter Massendurchsatzsteuerung auftreten könnte.
Messen Sie kontinuierlich den Durchsatz des zur Spülung verwendeten Inertgases. Sollte der Durchsatz unter den
erforderlichen Wert sinken, muss die Zufuhr des zündfähigen Gas- oder Dampfstroms zur Pumpe gestoppt werden.
Hinweis:
Edwards empfiehlt hierzu das Handbuch „Vacuum Pump and Vacuum System Safety" (Sicherheit von
Vakuumpumpen und Vakuumsystemen) (Publikationsnummer P400-40-882), das bei Edwards oder beim
Lieferanten erhältlich ist.
4.2
Gasballast-Steuerventil
Verwenden Sie das Gasballast-Steuerventil
Niedervakuumstufe der Pumpe zu ändern und eine zusätzliche Ölzufuhr zum Pumpenmechanismus zu gewährleisten.
Verwenden Sie das Gasballast-Steuerventil geschlossen:
Zum Erreichen des Endvakuums
Zum Pumpen trockener Gase
Drehen Sie das Gasballast-Steuerventil um sechs Umdrehungen entgegen dem Uhrzeigersinn, um es vollständig zu
öffnen. Verwenden Sie das Gasballast-Steuerventil offen:
Zum Pumpen hoher Konzentrationen kondensierbaren Dampfes
Zur Dekontamination des Öls
Wenn Sie die Pumpe mit geöffnetem Gasballast-Steuerventil betreiben, erhöht sich der Ölverbrauch der Pumpe.
Idealerweise sollten bei sauberen Anwendungen ein Ölnebelfilter und eine Ölrückführung verwendet werden.
Seite 22
WARNUNG
WARNUNG
(Abbildung
1, Element 3), um den Fluss von Gasballast in die
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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