PI H-811 Benutzerhandbuch Seite 73

10 Technische Daten
Bewegen
Typische
Winkelgeschwindigkeit in
θ , unbelastet
Y
Typische
Winkelgeschwindigkeit in
θ , unbelastet
Z
Positionieren
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
X
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
Y
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
Z
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
θ
X
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
θ
Y
Unidirektionale
Wiederholgenauigkeit in
θ
Z
Kleinste Schrittweite in X 0,2 µm
Kleinste Schrittweite in Y 0,2 µm
Kleinste Schrittweite in Z 0,08 µm
Kleinste Schrittweite in θ
Kleinste Schrittweite in θ
Kleinste Schrittweite in θ
Umkehrspiel in X
Umkehrspiel in Y
Umkehrspiel in Z
Umkehrspiel in θ
Umkehrspiel in θ
Umkehrspiel in θ
H-811 Hexapod Mikroroboter
H-811.I2V
120 mrad/s
120 mrad/s
H-811.I2V
± 0,15 µm
± 0,15 µm
± 0,06 µm
± 2 µrad
± 2 µrad
± 3 µrad
2,5 µrad
X
2,5 µrad
Y
5 µrad
Z
0,2 µm
0,2 µm
0,06 µm
2 µrad
X
2 µrad
Y
4 µrad
Z
MS235D
Toleranz
Toleranz
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
Version: 2.4.0 69