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10.4
Austausch des Prozessfensters
Lassen sich Ablagerungen auf dem Prozessfenster durch eine Reinigung gemäß „9.1.3
Reinigung von Prozessfenstern" nicht entfernen oder ist die Oberfläche durch Kontakt mit
korrosiven Gasen wie Fluorwasserstoff angegriffen, muss das Prozessfenster ausgetauscht
werden. Gehen Sie wie in „10.4.2 Verfahren zum Austausch des Prozessfensters" beschrieben
vor, um das Prozessfenster auszutauschen. Beim Austausch eines Prozessfensters ist auch
immer der O-Ring zu wechseln.
10.4.1
Austauschteile (Prozessfenster)
Für den Austausch von Prozessfenstern sind die in Tabelle 10.1 aufgeführten Komponenten
bereit zu halten.
Tabelle 10.1
Teilenum-
Teilebezeichnung
mer
K8010CA Prozessfenstereinheit Für Spülblock (gilt gleichermaßen für -X1, -X2, -C2, -C3,
K9772TH O-Ring
*:
Codes in Klammern stehen für Gasparameter in Modell- und Zusatzcodes des TDLS8200.
10.4.2
Verfahren zum Austausch des Prozessfensters
Dieser Abschnitt beschreibt das Austauschverfahren für das Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Lanze zur Reinigung davon, dass der Prozess
komplett gestoppt ist und kein Prozessgas in die Atmosphäre entweichen kann.
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
bruchempfindlichem optischem Glas bestehen.
(1) Schalten Sie die Spannungsversorgung aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den Analysator vom Prozess.
(Trennen Sie ihn gegebenenfalls vollständig vom Prozess, indem Sie beispielsweise ein
Prozessabsperrventil nutzen.)
(5) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist und bauen
Sie es aus.
(6) Lösen Sie die vier Innensechskantschrauben M4 an der Halterung des Prozessfensters und
nehmen Sie das Prozessfenster heraus.
(7) Installieren Sie ein neues Prozessfenster. Ersetzen Sie auch den O-Ring.
Die Position des O-Rings ist Abbildung 10.4 zu entnehmen. Drücken Sie den O-Ring fest in
die dafür vorgesehene Nut hinein.
Ersatzteile
-C4)
Für an dem Spülblock befestigte Prozessfenster
<10. Fehlersuche>
Zweck*
IM 11Y01D03-01DE-E 4. Ausgabe: 12. August 2022-00
10-7
Menge
1
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