Austausch Des Prozessfensters; Austauschteile (Prozessfenster) - YOKOGAWA TDLS8000 Bedienungsanleitung

10.4

Austausch des Prozessfensters

Lassen sich Ablagerungen auf dem Prozessfenster durch eine Reinigung gemäß Abschnitt 9.1.2
angegriffen, muss das Prozessfenster ausgetauscht werden. Zum Austausch befolgen Sie
bitte die in Abschnitten 10.3.2 und 10.3.3 beschriebenen Verfahren. Beim Austausch eines
Prozessfensters ist auch immer der O-Ring zu wechseln.
10.4.1

Austauschteile (Prozessfenster)

Für den Austausch von Prozessfenstern sind die in Tabelle 10.1 aufgeführten Komponenten
bereit zu halten.
Tabelle 10.1 Austauschteile
Nr. Teilenr.
1 K9772RA Prozessfenstereinheit
2 K9772RB Prozessfenstereinheit
3 K9772RC Prozessfenstereinheit
4 K9772RD Prozessfenstereinheit
5 K9772RE Prozessfenstereinheit
6 K9772TH O-Ring
7 K9775EA Saphirglasfenster
8 K9775EB Saphirglasfenster
9 K9775EC Saphirglasfenster
10 K9775ED Saphirglasfenster
11 K9775EE Saphirglasfenster
12 K9775GE O-Ring
10.4.2 Austauschverfahren für Prozessfenster (am
Prozessfenster.
HINWEIS
Überzeugen Sie sich vor dem Ausbau der Prozessfenster davon, dass der Prozess komplett
gestoppt ist und von der Umgebung isoliert ist, damit kein Prozessgas in die Atmosphäre
entweichen kann. Das Ausbauen eines Prozessfensters bei laufendem Prozess ist extrem
gefährlich!
VORSICHT
Gehen Sie bei der Handhabung der Prozessfenster äußerst behutsam vor, da sie aus
(1) Schalten Sie den TDLS8000 aus.
(2) Stoppen Sie die Spülgaszufuhr.
(3) Entfernen Sie die Spülgasverrohrung.
(4) Entfernen Sie den TDLS8000 vom Prozess (falls erforderlich, zunächst vom Prozess isolie-
ren, z.B. durch ein Prozessabsperrventil etc.).
(5) Prüfen Sie, ob das Prozessfenster erheblich von Verschmutzung betroffen ist und bauen
Sie es aus.
Bezeichnung
<10. Fehlersuche>
Beschreibung
IM 11Y01D01-01D-E
10-7
Anzahl
1
oder
2
1. Ausgabe: 31. Juli, 2015-00