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3
Drücken Sie zweimal die Positionstaste (▲).
Die Anzeige ARMS SETTING (4/5) erscheint.
4
Drücken Sie die Taste [3] (SENSING METHOD).
Die Anzeige SENSING METHOD erscheint.
5
Drücken Sie die Taste [1] (ISM) oder die Taste [2] (NORMAL).
Die Methode wird in SENSING METHOD ausgewählt.
6
Bestätigen Sie die Einstellung durch Drücken der
Taste [ENTER] (SET).
Die Einstellung wird gesetzt, die Anzeige ARMS SETTING (4/5) erscheint.
7
Drücken Sie die Taste [PAUSE/MENU].
Die Startanzeige erscheint.
Einstellung des Scan-Schritts beim Scannen von Passermarken
Bei sehr feinen Linien können Passermarken (selbst bei einer niedrigen Geschwindigkeit) eventuell nicht
erkannt werden. Wurde der Intervallwert auf 0-Schritt gesetzt, werden Passermarken während der
Sensorbewegung durch Stichproben (Sampling) erkannt. Ist ein Intervallwert von 5 bis 15 μm angegeben,
werden Passermarken vom Sensor mit diesem Intervallwert erkannt.
Das ist nur gültig, wenn die Passermarke TYP 3 oder TYP 4 angegeben ist.
Anleitung
1
Drücken Sie die Taste [PAUSE/MENU].
Die Menüanzeige erscheint.
Ergänzung
Ohne die Einstellungen zu ändern gelangen
Sie zurück zur Anzeige ARMS SETTING (4/5)
durch Drücken der Taste [ESC] (CANCEL).
Ergänzung
Ohne die Einstellungen zu ändern
gelangen Sie zurück zur Anzeige ARMS
SETTING durch Drücken der Taste [ESC]
(PREVIOUS).
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