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Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch Seite 90

Turbomolekularpumpen
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Turbo Cart Controller box rear panel
Schematic diagram
85
INSTRUCTIONS FOR USE
1. Interlock connector
2. Contactor coil
3. Overload relay
4. Mains plug
5. Forepump power supply plug (connected to
J7 connector of controller)
6. Controller power supply socket (connected
to FUSE-MAINS connector)
7. Mains terminal board
1. Turbo-V Controller
2. Vent valve (optional)
3. Mains (220 V, 50 Hz, 1 phase)
4. Mechanical pump
5. Low power fan
6. High power fan
7. Set Point card
8. Multi-Gauge (optional)
87-900-888-01(B)

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