Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
TV 551/701
Navigator
Pump models:
969-8922
969-8925
969-8927
Kit models:
969-8832
969-8835
969-8837
Controller models:
969-8976
87-900-934-01(H)
JULY 2006
969-8923
969-8926
969-8944
969-8945
969-8833
969-8836
969-8842
969-8843
969-8977
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian TV 551 Navigator Serie
Inhaltszusammenfassung für Varian TV 551 Navigator Serie
- Seite 1 TV 551/701 Navigator MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Pump models: MANUAL DE INSTRUCCIONES 969-8922 969-8923 MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8925 969-8926 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8927 969-8944 (DK) INSTRUKSTIONSBOG 969-8945 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL Kit models: (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-8832 969-8833 (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-8835 969-8836...
- Seite 2 TV 551 Navigator TV 701 Navigator...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................5 MODE D’EMPLOI ...............................9 INSTRUCCIONES DE USO ..........................13 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................21 BRUGSANVISNING ............................25 BRUKSANVISNING............................29 BRUKERVEILEDNING .............................33 KÄYTTÖOHJEET .............................37 PDHGIES CRHSEWS ............................41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................45 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE TV 551/701 NAVIGATOR ..............69... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie- locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare partico- ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza... -
Seite 8: Fissaggio Della Pompa
La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start” meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te- che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente, chnical Information". - Seite 9 In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio- processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per- termini e condizioni contrattuali di vendita. mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto.
-
Seite 10: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 11: Allgemeine Informationen
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein- LAGERUNG gehalten werden: Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An- Anweisungen zu beachten: hang "Technical Information") -
Seite 12: Befestigung Der Pumpe
Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahl- Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager klemmen befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang DCMZ). -
Seite 13: Wartung
Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan- d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontak- ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein tieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System... -
Seite 14: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 15: Indications Generales
à fort risque d'incendie. Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de conditions environnementales suivantes: respecter les instructions suivantes : pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique •... -
Seite 16: Fixation De La Pompe
La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ). à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique). -
Seite 17: Mise Au Rebut
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. -
Seite 18: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 19: Información General
Varian antes de producido durante el transporte, ponerse en contacto con la usar el aparato. Varian se considera libre de posibles oficina local de ventas. responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no... -
Seite 20: Fijación De La Bomba
A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión de acero de alta resistencia (como el modelo Varian IC 63250 atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas DCMZ). - Seite 21 En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
-
Seite 22: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Seite 23: Instalação
Varian antes de poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela com o escritório de vendas local. inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para... - Seite 24 Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250 específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão DCMZ).
-
Seite 25: Paragem De Emergência
50 ºC. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito. -
Seite 26: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 27: Algemene Informatie
Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in... - Seite 28 (boven de atmosferische druk) bedragen. De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom 63250 DCMZ).
-
Seite 29: Afvalverwerking
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en Varian of de "Varian advanced exchange service" in te verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben defecte pomp. -
Seite 30: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Seite 31 Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af Sørg for, at TV 551/701 Navigator ikke tabes eller udsættes for disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt...
- Seite 32 (over atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en dør, stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med DCMZ).
-
Seite 33: Vedligeholdelse
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”, nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. der udskifter systemet med et repareret system. -
Seite 34: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 35: Allmän Information
Varian före användning av utrustningen. emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av transporten. Se till att TV 551/701 Navigator inte tappas eller åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av utsätts för stötar vid uppackningen. - Seite 36 Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till Start och användning av TV 551/701 Navigator vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information”. För att starta TV 551/701 behöver du bara ansluta till ett TV 551/701 Navigator kan installeras i valfri position.
-
Seite 37: Underhåll
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta upp- eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett samlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kon- renoverat system. -
Seite 38: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 39: Klargjøre Til Installasjon
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av salgskontoret. - Seite 40 FORSIKTIG! ISO-K-flensen kan f.eks. festes ved hjelp av stålklemmer med høy styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250 DCMZ). Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av Den følgende tabellen beskriver antall klemmer IC 63250 turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades.
- Seite 41 BRUKERVEILEDNING VEDLIKEHOLD ELIMINERING TV 551/701 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". ADVARSEL! Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske Før noe arbeid gjøres på...
-
Seite 42: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-934-01(H) -
Seite 43: Yleisiä Tietoja
Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden myyntitoimistoon. täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV ammattitaidottoman henkilön virheellisestä... - Seite 44 (esim. malli Varian IC 63250 DCMZ). Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle laipalle tarvittava IC 63250 DCMZ -kiinnitinmäärä ja niiden kiristysmomentit. TV 551/701 Navigatorin käynnistys ja käyttö LAIPPA MÄÄ-RÄ...
- Seite 45 Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja pintalämmön laskea alle 50ºC:en. hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service" - vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle.
-
Seite 46: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 47 £llh prÒsqeth plhrofor∂a mporoÚsan na ◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H ◊rceste se epafˇ me to topikÒ tmˇma pwlˇsewn. Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ...
- Seite 48 Òlej oi epÒmenej enaÚseij g∂nontai cwr∂j ton trÒpo "Soft sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Start". Gia na ◊cete xan£ m∂a ekk∂nhsh me energÒ "Soft Start" Varian. Gia perissÒterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". crei£zetai na apokatastˇsete ton anaferq◊nta trÒpo diam◊sou software (bl◊pe thn par£grafo "RS 232 COMMUNICATION...
- Seite 49 50°C. Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj Varian ˇ sto “Varian advanced exchange service”, pou saj d∂nei th dunatÒthta na antikatastˇsete thn calasm◊nh antl∂a me m∂a £llh anazwogonhm◊nh.
-
Seite 50: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 51 A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,...
- Seite 52 „Műszaki információ” függelékben. Az „F” karima acélcsavarjai osztályának >=8.8-nak kell lennie. A TV 551/701 Navigatoron elhelyezett zöld LED a villogásának A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes •...
- Seite 53 50 °C alá esik. beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert egy viszonteladó.
-
Seite 54: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... -
Seite 55: Ogólne Informacje
Varian przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku aby nie spowodować upadku systemu TV 551/701 Navigator niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w... - Seite 56 Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych automatycznie, i dlatego też wszystkie następne uruchomienia informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje odbywają...
-
Seite 57: Konserwacja
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu zroznicowanej . naprawczego Varian "Varian advanced exchange Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej service",który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie w zastępstwie uszkodzonego systemu. -
Seite 58: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... -
Seite 59: Všeobecné Informace
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technické... - Seite 60 RS 232/485” v příloze “Technické informace”). připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické TV 551/701 Navigator indikuje provozní stavy systému informace". blikáním: Vývěvu TV 551/701 Navigator lze instalovat v libovolné poloze.
- Seite 61 V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za porouchané. POZNÁMKA Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný...
-
Seite 62: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Seite 63 Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, spoločnosti Varian.
- Seite 64 (napr. model Varian IC63250DCMZ). postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nasledujúca tabuľka ukazuje, pre každý typ príruby potrebný Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. počet svoriek a príslušný upevňovací krútiaci moment.
- Seite 65 50 şC. účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko spoločnosti Varian, kde vám pokazený systém vymenia. POZNÁMKA Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník “Zdravie a bezpečnosť”, Dotazník pripojený...
-
Seite 66: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! - Seite 67 TV 551/701 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren pisarno. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz.
- Seite 68 Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 551/701 Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. sistema: Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
-
Seite 69: Odlaganje Opadkov
črpalke pade pod 50 °C. pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Varian servisni center, ki kupopordajne pogodbe. vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim. -
Seite 70: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 71: General Information
Varian before operating the equipment. curred during transport, contact your local sales office. Varian will not be held responsible for any events occurring due When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid to non-compliance, even partial, with these instructions, im- any kind of sudden impact or shock vibration to it. -
Seite 72: Pump Fixing
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the The green LED located on the TV 551/701 Navigator base front vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard- panel indicates with its flashing frequency the system operating ware. - Seite 73 Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down.
-
Seite 74: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TV 551/701 NAVIGATOR The TV 551/701 Navigator pumping system con- TV 551 Navigator kit models sists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in five models for TV 551 and three models for TV 701. -
Seite 75: Pump Description
TECHNICAL INFORMATION The pump is balanced after assembly with a resid- Pump Description ual vibration amplitude less than 0.01 μm. The pump consists of a high frequency motor driv- ing a turbine fitted with 8 bladed stages and 4 The pump can operate in any position and can be Macrotorr stages. -
Seite 76: Technical Specification
Navigator software (optional) Recommended Installation category forepump Mechanical Varian DS 302 Pollution degree Varian Triscroll PTS 300 Storage temperature -20° C to +70° C Operating position Weight kg (lbs) Operating ambient +5 °C to +35 °C ISO flange 19.4 (43) -
Seite 77: Tv 551/701 Navigator Outline
TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 NAVIGATOR OUTLINE The following figures show the TV 551/701 Navi- gator outlines (dimensions are in inches [mm]). TV 551 Navigator outline 87-900-934-01(H) - Seite 78 TECHNICAL INFORMATION TV 701 Navigator outline 87-900-934-01(H)
- Seite 79 TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 Navigator with ISO F flange outlines 87-900-934-01(H)
- Seite 80 TECHNICAL INFORMATION TV 551 TV 701 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-934-01(H)
-
Seite 81: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J1 - IN-OUT The following figure shows the TV 551/701 inter- connections. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TV 551/701 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. -
Seite 82: Soft Start
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the FAULT: this open collector output signal is ON pump speed. The PWM signal characteristics must when a system fault condition is detected. be the following: • frequency: 100 Hz +/-20% PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec- •... - Seite 83 TECHNICAL INFORMATION When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). How to connect the output open collector of the controller Here below there are the typical connections of the output open collector of TV551/701 Navigator to...
-
Seite 84: P2 - Serial
TECHNICAL INFORMATION P2 - Serial Communication Protocol The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where: • Host = MASTER • Controller = SLAVE The communication is performed in the following way: 1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to This is a 9 pin D-type serial input/output connector the controller (SLAVE);... - Seite 85 TECHNICAL INFORMATION The addressed SLAVE will respond with an AN- Examples: SWER whose structure depends from the MESSAGE Command: START type. Source: PC Destination: Controller When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
-
Seite 86: Window Meanings
1 = Current valve on/off Off = 0 2 = Time (on = closed) (default = 1) (default = 0) Reserved to Varian service Set Point (default = 643) threshold (expressed Set the vent Automatic = 0 in Hz, mA or valve (see note 1.) -
Seite 87: Inlet Screen Installation
0 to 9999 ber (zeroed by the reset command) Pump life in 0 to 999999 hours (ze- roed by the reset com- mand) Reserved to Varian service QE5XXXX EPROM (where “XXXX” (QE) are variable) CRC Pa- PA5XXXX ram. (PA) (where “XXXX”... -
Seite 88: Heater Band Installation
TECHNICAL INFORMATION The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. HEATER BAND INSTALLATION The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the fol- lowing figure. -
Seite 89: Air Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- To fix the fan to the TV 551/701 case execute the eration. In the event of turbopump overheat, the following procedure (see the following figure): pump will be automatically cut out by the thermis- 1. -
Seite 90: Tv 551/701 Pump With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION TV 551/701 Pump with Standard Rack WATER COOLING KIT INSTALLATION Controller The water cooling kit mod. 969-9347 or 969-9337 When the TV 551/701 pumps are used with the must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insuf- standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model 969-9314. -
Seite 91: Vent Accessories
TECHNICAL INFORMATION Cooling may be carried out either through an open Then screw the vent valve into the pump and circuit with eventual discharge of the water, or us- tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a ing a closed circuit cooling system. torque of 2.5 Nm. -
Seite 92: Vibration Isolator Installation
TECHNICAL INFORMATION Vent Device mod. 969-9831 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Six vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: − model 969-9345 for ISO 160 flange; − model 969-9346 for ISO 200 flange; −... -
Seite 93: Serial Cable Installation
TECHNICAL INFORMATION and then screw the gas purge valve (with a torque TV 551/701 CONTROLLER INSTALLATION of 2.5 Nm) as shown in the following figure. The controller can be mounted in two position: − bottom mounting (as per the complete system) −... -
Seite 94: Connection A - High Vacuum Flange
7. Turn the pump again; For ConFlat flange connections we recommend 8. Plug the line card and connect the pump cable using Varian hardware. to the pump; To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- pro C-100 high temperature lubricant to the screw 9. -
Seite 95: Connection Configurations
Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. CAUTION To prevent bearing damage, Varian suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. -
Seite 96: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case from the system. should be carefully reviewed by Varian's specialist. Turn off the Turbopump. As a matter of fact, in case of high magnetic fields,... - Seite 97 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Seite 98 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 99 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.