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Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch Seite 10

Turbomolekularpumpen
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  • DEUTSCH, seite 11
Pannello Posteriore del Cestello Controller
Schema Elettrico
5
ISTRUZIONI PER L'USO
1. Connettore di interlock (collegato al
connettore P1 del controller)
2. Contattore
3. Relè di sovraccarico
4. Spina di alimentazione della rete
5. Alimentazione della pompa primaria
(collegato al connettore J7 del controller)
6. Alimentazione del controller (collegato al
connettore FUSE-MAINS del controller)
7. Morsettiera di collegamento con la rete
1. Controller Turbo-V
2. Vent valve (opzionale)
3. Rete di alimentazione (220 V, 50 Hz,
1 fase)
4. Pompa meccanica
5. Ventilatore a bassa potenza
6. Ventilatore ad alta potenza
7. Scheda Set Point
8. Multi-Gauge (opzionale)
87-900-888-01(B)

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