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Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch Seite 15

Turbomolekularpumpen
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Hintere Abdeckung des Controller-Gestells
Schaltplan
10
GEBRAUCHSANLEITUNG
1. Interlock-Steckverbinder (angeschlossen an
den Verbinder P1 des Controllers)
2. Schaltglied
3. Überlastungsschutzrelais
4. Netzstecker
5. Versorgung der Primärpumpe (angeschlos-
sen an den Steckverbinder J7 des Control-
lers)
6. Versorgung des Controllers (angeschlossen
an den Steckverbinder FUSE-MAINS des
Controllers)
7. Klemmenleiste für den Netzanschluss
1. Controller Turbo-V
2. Entlüftungsventil (Option)
3. Versorgungsnetz (220 V, 50 Hz, 1
Phase)
4. Mechanische Pumpe
5. Gebläse mit niedriger Leistung
6. Gebläse mit hoher Leistung
7. Set-Point-Karte
8. Multi-Gauge (Option)
87-900-888-01(B)

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