Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Varian Anleitungen
  4. Pumpen
  5. Turbo Stack 969-8200
  6. Bedienungshandbuch

Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch

Turbomolekularpumpen
Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Verfügbare Sprachen
  • DE

Verfügbare Sprachen

  • DEUTSCH, seite 11

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
Turbo Stack
969-8200 969-8201
969-8202 969-8203
969-8204 969-8205
969-8206 969-8207
969-8208 969-8209
969-8210 969-8211
87-900-888-01(B)
OCTOBER 2004
Models
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Varian Turbo Stack 969-8200

Inhaltszusammenfassung für Varian Turbo Stack 969-8200

  • Seite 1 Turbo Stack MANUALE DI ISTRUZIONI Models BEDIENUNGSHANDBUCH 969-8200 969-8201 NOTICE DE MODE D’EMPLOI 969-8202 969-8203 MANUAL DE INSTRUCCIONES 969-8204 969-8205 MANUAL DE INSTRUÇÕES 969-8206 969-8207 BEDRIJFSHANDLEIDING 969-8208 969-8209 INSTRUKSTIONSBOG 969-8210 969-8211 BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ...
  • Seite 2 Turbo Stack...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    ISTRUZIONI PER L’USO ....................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ....................6 MODE D’EMPLOI ......................11 INSTRUCCIONES DE USO ....................16 INSTRUÇÕES PARA O USO.................... 21 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ..................... 26 BRUGSANVISNING ......................31 BRUKSANVISNING......................36 BRUKERVEILEDNING ...................... 41 KÄYTTÖOHJEET ......................46 ODHGIES CRHSHS ......................51 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ....................

  • Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L’USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 7: Informazioni Generali

    V300HT con flangia ISO 100; addizionale fornita dalla Varian prima dell’utilizzo − Modello 969-8210: Turbo Stack con pompa Turbo- dell’apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da V150HT con flangia CFF 6"; eventuali responsabilità dovute all’inosservanza totale o − Modello 969-8211: Turbo Stack con pompa Turbo- parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di V150HT con flangia ISO 100.

  • Seite 8: Preparazione Per L'installazione

    ISTRUZIONI PER L’USO potenza assorbita varia, a seconda della configurazione, da un minimo di 1055 VA ad un massimo di 1155 VA. MOD. POS. COMPONENTE 969-8200 Pompa Turbo-V70 CFF 4.5" IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l'immagazzinamento del Turbo Pompa Meccanica SD40 Stack devono essere soddisfatte le seguenti condizioni Controller Turbo-V70 ambientali:...
  • Seite 9 ISTRUZIONI PER L’USO Per quel che riguarda le apparecchiature installate nel Turbo Stack, fare riferimento a quanto riportato nei MANUTENZIONE relativi manuali. Il Turbo Stack non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale  autorizzato. PERICOLO! In caso di guasto di una delle apparecchiature montate La pompa Turbo installata sul Turbo Stack può...
  • Seite 10 ISTRUZIONI PER L’USO 1. Connettore di interlock (collegato al connettore P1 del controller) 2. Contattore 3. Relè di sovraccarico 4. Spina di alimentazione della rete 5. Alimentazione della pompa primaria (collegato al connettore J7 del controller) 6. Alimentazione del controller (collegato al connettore FUSE-MAINS del controller) 7.

  • Seite 11: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Seite 12: Allgemeine Informationen

    Dieses Gerät ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor dem Gebrauch des Geräts sollte der Benutzer dieses Hand- − Modell 969-8207: Turbo Stack mit Pumpe Turbo- buch sowie alle weiteren von Varian gelieferten Zusatz- V250 mit Anschlussflansch ISO 100; informationen aufmerksam gelesen haben. Varian über- −...

  • Seite 13: Vorbereitung Der Installation

    GEBRAUCHSANLEITUNG nahme liegt je nach Konfiguration der Einheit zwischen mindestens 1055 VA und höchstens 1155 VA. MOD. POS. KOMPONENTE 969-8200 Pumpe Turbo-V70 CFF 4.5" LAGERUNG Während Transport und Lagerung des Turbo Start müs- Mechanische Pumpe SD40 sen folgende Umgebungsbedingungen erfüllt werden: Controller Turbo-V70 −...

  • Seite 14: Wartung

    GEBRAUCHSANLEITUNG Hinsichtlich der im Turbo Stack installierten Geräte wird WARTUNG auf die entsprechenden Bedienungsanleitungen verwie- Die Turbo Stack ist wartungsfrei. Jegliche Eingriffe müs- sen. sen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt wer- den.  Beziehen Sie sich im Fall eines Defekts eines in der GEFAHR! Einheit installierten Aggregats auf die jeweilige Betriebs- Die auf dem Turbo Stack installiere Turbopumpe kann...
  • Seite 15 GEBRAUCHSANLEITUNG 1. Interlock-Steckverbinder (angeschlossen an den Verbinder P1 des Controllers) 2. Schaltglied 3. Überlastungsschutzrelais 4. Netzstecker 5. Versorgung der Primärpumpe (angeschlos- sen an den Steckverbinder J7 des Control- lers) 6. Versorgung des Controllers (angeschlossen an den Steckverbinder FUSE-MAINS des Controllers) 7.

  • Seite 16: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
  • Seite 17 − Modèle 969-8207 : Turbo Stack avec pompe Turbo- tentivement cette notice d'instructions ainsi que toute V250 avec bride ISO 100 ; autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant − Modèle 969-8208 : Turbo Stack avec pompe Turbo- d'utiliser l'appareillage. Varian décline par conséquent V300HT avec bride CFF 6"...

  • Seite 18: Préparation Pour L'installation

    MODE D'EMPLOI varie, selon la configuration, d'un minimum de 1055 VA à un maximum de 1155 VA. MOD. POS. COMPOSANT 969-8200 Pompe Turbo-V70 CFF 4.5" EMMAGASINAGE Pendant le transport et l'emmagasinage du Turbo Stack, il Pompe mécanique SD40 faut veiller à respecter les conditions environnementales Contrôleur Turbo-V70 suivantes : 969-8201...
  • Seite 19 MODE D'EMPLOI Pour ce qui est des appareils installés dans le Turbo ENTRETIEN Stack, se reporter à ce qui est indiqué dans les notices Le Turbo Stack n'exige aucun entretien. Toute opération correspondantes. doit être effectuée par un personnel agréé. En cas de panne de l'un des appareils montés sur la ...
  • Seite 20 MODE D'EMPLOI 1. Connecteur d’interlock (branché au connec- teur P1 du contrôleur) 2. Contacteur 3. Relais de surcharge 4. Fiche d’alimentation du réseau 5. Alimentation de la pompe primaire (bran- chée au connecteur J7 du contrôleur) 6. Alimentation du contrôleur (branché au connecteur FUSE-MAINS du contrôleur) 7.

  • Seite 21: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 22: Información General

    12. Modelo 969-8208: Turbo Stack con bomba Turbo- instrucciones y cualquier otra información suplementaria V300HT con brida CFF 6"; facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se 13. Modelo 969-8209: Turbo Stack con bomba Turbo- considera libre de posibles responsabilidades debidas al V300HT con brida ISO 100;...

  • Seite 23: Preparación Para La Instalación

    INSTRUCCIONES DE USO según la configuración, desde un mínimo de 1055 VA a un máximo de 1155 VA. MOD. POS. COMPONENTE 969-8200 Bomba Turbo-V70 CFF 4.5" ALMACENAMIENTO Durante el transporte y el almacenamiento del Turbo Bomba Mecánica SD40 Stack deben ser satisfechas las siguientes condiciones Controlador Turbo-V70 ambientales: 969-8201...
  • Seite 24 INSTRUCCIONES DE USO Por lo que concierne a los aparatos instalados en el MANTENIMIENTO Turbo Stack, hacer referencia a lo indicado en los El Turbo Stack no requiere ningún mantenimiento. manuales Cualquier intervención debe ser ejecutada por personal autorizado. En caso de avería de uno de los equipos montados ...
  • Seite 25 INSTRUCCIONES DE USO Conector de interlock (conectado al conector P1 del controlador) Contactor Relé de sobrecarga Toma de alimentación de la red Alimentación de la bomba primaria (conectado al conector J7 del controlador) Alimentación del controlador (conectado al conector FUSE-MAINS del controlador) Tablero de bornes de conexión con la red Panel Posterior del Cesto Controlador 1.

  • Seite 26: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Seite 27: Informações Gerais

    − Modelo 969-8208: Turbo Stack com bomba Turbo- instruções e todas as informações adicionais fornecidas V300HT com flange CFF 6”; pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A Varian − Modelo 969-8209: Turbo Stack com bomba Turbo- não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial V300HT com flange ISO 100;...

  • Seite 28: Preparação Para A Instalação

    INSTRUÇÕES PARA O USO absorvida varia, segundo a configuração, de um mínimo de 1055 a um máximo de 1155 VA. MOD. POS. COMPONENTE 969-8200 Bomba Turbo-V70 CFF 4.5" ARMAZENAGEM Durante o transporte e a armazenagem do Turbo Stack, Bomba Mecânica SD40 devem ser satisfeitas as seguintes condições ambientais: Controller Turbo-V70 −...
  • Seite 29 INSTRUÇÕES PARA O USO No que se refere às aparelhagens instaladas no Turbo MANUTENÇÃO Stack, consultar quanto descrito nos respectivos O Turbo Stack não requer qualquer manutenção. Todas manuais. as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.  Em caso de defeito numa das aparelhagens montadas PERIGO! nesse grupo, consultar o respectivo manual de A bomba Turbo instalada no Turbo Stack pode atingir...
  • Seite 30 INSTRUÇÕES PARA O USO 1. Conector de interlock (ligado ao conector P1 do controller) 2. Caixa de contactos 3. Relê de sobrecarga 4. Ficha de alimentação da rede 5. Alimentação da bamba primária (ligada ao conector J7 do controller) 6. Alimentação controller (ligada conector FUSE-MAINS do controller)

  • Seite 31: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Seite 32: Algemene Informatie

    − Model 969-8208: Turbo Stack met Turbo-V300HT Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van pomp met CFF 6” flens; het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzin- gen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opge- −...
  • Seite 33 GEBRUIKSAANWIJZINGEN varieert, afhankelijk van de configuratie, van een minimum van 1055 VA tot een maximum van 1155 VA. MOD. POS. COMPONENT 969-8200 Turbo-V70 Pomp CFF 4.5" OPSLAG Tijdens het transport en de opslag van de Turbo Stack Mechanische pomp SD40 moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: Controller Turbo-V70 −...
  • Seite 34 GEBRUIKSAANWIJZINGEN Voor wat betreft de apparaten die op de Turbo Stack ONDERHOUD worden geïnstalleerd, wordt verwezen naar Turbo Stack onderhoudsvrij. Eventuele betreffende handleidingen. werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.  In geval van defecten aan apparaten die op de Turbo GEVAAR! Stack zijn gemonteerd, de betreffende handleidingen De op de Turbo Stack geïnstalleerde Turbopomp kan...
  • Seite 35 GEBRUIKSAANWIJZINGEN 1. Interlock connector (aangesloten op connector P1 van de controller). 2. Contactor 3. Overbelastingsrelais 4. Stekker voor netvoeding 5. Voeding van de primaire pomp (aangesloten op connector J7 van de controller) 6. Voeding van de controller (aangesloten op de FUSE-MAINS connector van de controller).

  • Seite 36: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Seite 37: Generel Information

    − Model 969-8208: Turbo Stack med pumpe Turbo- yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. V300HT med flange CFF 6"; Varian påtager sig intet ansvar for skader, der helt eller − Model 969-8209: Turbo Stack med pumpe Turbo- delvist skyldes tilsidesættelse af disse instruktioner, V300HT med flange ISO 100;...

  • Seite 38: Forberedelser Før Installation

    BRUGSANVISNING OPBEVARING Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved MOD. POS. KOMPONENT transport og opbevaring af Turbo Stack: 969-8200 Pumpe Turbo-V70 CFF 4.5" − temperatur: fra -20ºC til +70ºC Mekanisk pumpe SD40 − relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende) Styreenhed Turbo-V70 969-8201 Pumpe Turbo-V70 ISO 63 FORBEREDELSER FØR INSTALLATION...
  • Seite 39 BRUGSANVISNING Vedrørende apparater, der installeres på Turbo Stack, VEDLIGEHOLDELSE henvises til de pågældende manualer. Turbo Stack er vedligeholdelsesfri. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af autoriseret personale.  Hvis et af de påmonterede apparater går i stykker, se ADVARSEL! den omhandlende brugsanvisning. Turbo pumpen, som er blevet installeret på...
  • Seite 40 BRUGSANVISNING 1. Interlock-kontakt (samlet til styreenhedens kontakt P1). 2. Kontaktor 3. Overbelastningsrelæ 4. Elnettets kontakt 5. Primærpumpens strømforsyning (samlet til styreenhedens kontakt J7) 6. Styreenhedens strømforsyning (samlet til styreenhedens kontakt FUSE-MAINS) 7. Forbindelse til elnettet Det bageste panel til styreenhedens kasse 1.

  • Seite 41: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Seite 42: Allmän Information

    Varian före användning V300HT och fläns CFF 6”; utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt − Modell 969-8209: Turbo Stack med pump Turbo- eller delvis orsakats av åsidosättande av instruktionerna, V300HT och fläns ISO 100; olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som...

  • Seite 43: Förberedelser För Installation

    BRUKSANVISNING FÖRVARING Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid MODELL POS. KOMPONENT transport och förvaring av Turbo Stack:: 969-8200 Pump Turbo-V70 CFF 4.5" − temperatur: från -20ºC till + 70 ºC Mekanisk pump SD40 − relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) Styrenhet Turbo-V70 969-8201 Pump Turbo-V70 ISO 63...
  • Seite 44 BRUKSANVISNING I fråga om apparatur som installerats på Turbo Stack, se UNDERHÅLL de aktuella manualerna. Turbo Stack kräver inget underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.  Om skada uppstår på någon av apparaterna som är VARNING! monterade på Turbo Stack, se aktuell bruksanvisning. Turbopumpen som installerats på...
  • Seite 45 BRUKSANVISNING 1. Interlock-kontakt (ansluten till styrenhetens kontakt P1) 1. Kontaktor 2. Maximalrelä 3. Elnätets kontakt 4. Strömförsörjning till primärpump (ansluten till styrenhetens kontakt J7) 5. Strömförsörjning till styrenhet (ansluten till styrenhetens kontakt FUSE MAINS) 6. Kopplingsplint till elnätet Styrenhetslådans bakpanel 1.

  • Seite 46: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Seite 47: Generell Informasjon

    − Modell 969-8209: Turbo Stack med pumpe Turbo annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Vari- V300HT med flens ISO 100”; an kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...

  • Seite 48: Forberede Installasjonen

    BRUKERVEILEDNING LAGRING Når Turbo Stacker transporteres eller lagres, må følgende MOD. POS. KOMPONENT miljøforhold være oppfylt:: 969-8200 Pumpe Turbo-V70 CFF 4.5" − temperatur: fra -20 ºC til +70 ºC Mekanisk pumpe SD40 − relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) Styreenhet Turbo-V70 969-8201 Pumpe Turbo-V70 ISO 63...
  • Seite 49 BRUKERVEILEDNING Vedrørende apparater som er installert på Turbo Stack VEDLIKEHOLD henvises det til de relevante manualene. Turbo Stack er vedlikeholdsfri. Alt arbeid på enheten må kun utføres av autorisert personell.  Dersom en av apparatene som er installert på Turbo ADVARSEL Stack blir skadd, se brukerveiledningen.
  • Seite 50 BRUKERVEILEDNING 1. Interlock forbindelse (koplet til styreenhetens P1 forbindelse) 2. Kontaktor coil 3. Overvekt relè 4. Støpsel 5. Tilførsel til primær pumpen (koplet til styreenhetens J7 forbindelse) 6. Tilførsel til styreenheten (kolplet til styreenhetens FUSE-MAINS forbindelse) 7. Klemmeanordning for tilkopling til nettet Det bakre panelet til styreenhetens kasse 1.

  • Seite 51: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-888-01(B)

  • Seite 52: Yleisiä Tietoja

    Ennen laitteen käyttöönottoa käyttäjän tulee lukea − Malli 969-8209: Turbo Stack Turbo-V300HT- huolellisesti tämä käyttöohje sekä kaikki muu Varianin pumpulla, jossa on ISO 100 -laippa; toimittama lisätieto. Varian ei vastaa seurauksista, jotka − Malli 969-8210: Turbo Stack Turbo-V150HT- johtuvat laitteen käyttöohjeiden...

  • Seite 53: Valmistelut Asennusta Varten

    KÄYTTÖOHJEET VARASTOINTI Turbo Stackin kuljetuksen ja varastoinnin on täytettävä MALLI seuraavat ympäristövaatimukset: 969-8200 Turbopumppu-V70 CFF 4.5" − lämpötila: -20 °C - +70 °C Mekaaninen pumppu SD40 − suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ilman lauhdetta) Turbon ohjain-V70 969-8201 Turbopumppu-V70 ISO 63 VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Mekaaninen pumppu SD40 Turbo Stack toimitetaan erityisessä...
  • Seite 54 KÄYTTÖOHJEET Turbo Stackiin asennettujen laitteistojen ohjeet löytyvät HUOLTO vastaavista käyttöohjeista. Turbo Stack ei vaadi huoltoa. Kaikki toimenpiteet on suoritettava valtuutetun henkilökunnan toimesta.  Mikäli koneistoon liitetty laitteisto vaurioituu, katsokaa VAARA! kyseisen laitteiston käyttöohjeita. Turbo Stackiin asennettu Turbo-pumppu saattaa lämmetä hyvin kuumaksi, mikä voi aiheuttaa vakavia ...
  • Seite 55 KÄYTTÖOHJEET 1. Interlock-liitin (liitetty ohjaimen P1 liittimeen). 2. Kontaktori 3. Ylikuormitusrele 4. Verkkopistoke 5. Ensiöpumpun kytkin (liitetty ohjaimen liittimeen J7) 6. Ohjaimen kytkentä (liitetty ohjaimen FUSE- MAINS -liittimeen) 7. Verkon liitäntärima Ohjaimen rasian takapaneeli 1. Turbo-V -ohjain 2. Tuuletinläppä (lisävaruste) 3.

  • Seite 56: Odhgies Crhshs

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...

  • Seite 57: Γενικεσ Πληροφοριεσ

    Μοντέλο 969-8207: Turbo Stack µε αντλία Turbo- οποιαδήποτε άλλη πληοροφορία που παρέχεται από τη V250 µε φλάντζα εισαγωγής ISO 100 Varian, πριν από τη χρησιµοποίηση της συσκευής. H − Μοντέλο 969-8208: Turbo Stack µε αντλία Turbo- Varian δεν φέρει καµία ευθύνη για συµβάντα που...
  • Seite 58 ODHGIES CRHSHS αποστάσεως, τα ενδεικτικά σήµατα κατάστασης της αντλίας, οι εντολές εκκίνησης/στάσης της αντλίας κενού, MONT. ΘΕΣΗ ΣΤΟΙΧΕΙΟ η δυνατότητα ελέγχου ασφάλισης (για το διακόπτη 969-8200 Αντλία Turbo-V70, φλάντζα CFF 4.5" πίεσης, το διακόπτη ελέγχου ροής του νερού, κλπ). Το Turbo Stack πρέπει να τροφοδοτείται µε τάση 220 Μηχανική...
  • Seite 59 ODHGIES CRHSHS Αναλυτικές πληροφορίες σχετικά µε άλλες µονάδες που ΣΥΝΤΗΡΗΣΗ είναι εγκατεστηµένες στο Turbo Stack περιέχονται στα Το Turbo Stack δεν χρειάζεται συντήρηση. Οποιαδήποτε σχετικές Οδηγίες Χρήσεως. εργασία στο Turbo Stack πρέπει να εκτελείται από εξουσιοδοτηµένο προσωπικό.  Σε περίπτωση βλάβης κάποιας µονάδας του Turbo KINDUNOS! Stack, ανατρέξτε...
  • Seite 60 ODHGIES CRHSHS 1. Σύνδεσµος ασφάλισης 2. Πηνίο επαφής 3. Ρελέ υπερφόρτωσης 4. Βύσµα κεντρικής παροχής ρεύµατος 5. Βύσµα τροφοδότησης αντλίας κενού (συνδέεται σε σύνδεσµο J7 του ελεγκτή) 6. Υποδοχή τροφοδότησης ελεγκτή (συνδέεται σε σύνδεσµο FUSE-MAINS) 7. Σώµα ακροδεκτών κεντρικής παροχής ρεύµατος...

  • Seite 61: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...

  • Seite 62: Általános Információ

    A berendezést professzionális felhasználók számára ter- vezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt 969-8208-as típus: Turbo Stack Turbo-V300HT el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosí- szivattyúval, CFF 6” bemeneti karimával; tott bármely információt. A Varian nem vonható fe- 969-8209-es típus: Turbo Stack Turbo-V300HT...

  • Seite 63: Előkészítés Telepítésre

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS A Turbo Stack 220 V AC 50/60 Hz frekvenciájú tápfeszültséget igényel. A felvett teljesítmény 1055-től TÍP. POZ. RÉSZEGYSÉG 1155 VA-ig változik a Turbo Stack konfigurációja szerint. 969-8200 Turbo-V70 szivattyú, CFF 4.5" karima TÁROLÁS SD40 mechanikus szivattyú A Turbo Stack szállításakor a következő környezeti Turbo-V70 vezérlő...
  • Seite 64 HASZNÁLATI UTASÍTÁS A Turbo Stackbe telepített más egységekkel kapcsolatos KARBANTARTÁS részletes információ a megfelelő gépkönyvekben talál- A Turbo Stack nem igényel karbantartást. A Turbo Sta- ható. cken végzett minden munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie.  Ha a Turbo Stackre szerelt egység hibás, forduljon a VIGYÁZAT! vonatkozó...
  • Seite 65 HASZNÁLATI UTASÍTÁS Összekötő csatlakozó Védőkapcsoló tekercse Felső relé Tápdugó Előszivattyú tápdugó (a vezérlő IJ csatla- kozójához csatlakoztatva) Vezérlő tápellátásának foglalata (a vezérlő FUSE MAINS csatlakozójához csatlakoz- tatva) Tápfeszültség-kapocsléc Turbó kártya vezérlő doboz hátsó panelja Turbo-V vezérlő Ventillátorszelep (opcionális) Tápfeszültség (220 V, 50 Hz, 1 fázis) Mechanikai szivattyú...

  • Seite 66: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Seite 67: Ogólne Informacje

    Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą Model 969-8207: Turbo Stack z pompą Turbo- V250 instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną z kołnierzem ISO 100; przez firmę Varian przed użytkowaniem aparatury. Model 969-8208: Turbo Stack z pompą Turbo- Firma Varian uchyla się...

  • Seite 68: Przygotowanie Do Instalacji

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA zależności od konfiguracji, od minimum 1055VA do ma- ksimum 1155VA. MOD. POZ. KOMPONENT 969-8200 Pompa Turbo-V70 CFF 4,5" MAGAZYNOWANIE Podczas transportu i magazynowania zespołu Turbo Pompa Mechaniczna SD40 Stack muszą być spełnione następujące warunki otocze- Kontroler Turbo – V70 nia: 969-8201 Pompa Turbo-V70 ISO 63...
  • Seite 69 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Jeśli chodzi o aparaturę zainstalowaną w zespole Turbo KONSERWACJA Stack, należy zapoznać się z odpowiednimi instrukcjami. Zespół Turbo Stack nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upo-  ważniony personel. NIEBEZPIECZEŃSTWO! W przypadku uszkodzenia jednej z aparatury zamonto- Zainstalowana pompa Turbo na zespole Turbo Stack wanej na nim, należy zapoznać...
  • Seite 70 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Konektor interlock (podłączony do konektora P1 kontrolera) Stycznik Przekaźnik przeciążenia Gniazdo zasilania sieci Zasilanie pompy głównej (połączone do konektora J7 kontrolera) Zasilanie kontrolera ( połączone do konektora FUSE-MAINS kontrolera) Listwa zaciskowa połączenia z siecią Tylny Panel Obudowy Kontrolera Kontroler Turbo –...

  • Seite 71: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...

  • Seite 72: Všeobecné Informace

    − Typ 969-8209: Turbo Stack s vývěvou Turbo- informace dodané firmou Varian. Firma Varian V300HT a přívodní přírubou ISO 100; neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem − Typ 969-8210: Turbo Stack s vývěvou Turbo- i částečného nedodržení...

  • Seite 73: Příprava K Instalaci

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ USKLADNĚNÍ POZ. POLOŹKA Při přepravě a uskladnění zařízení Turbo Stack by se měly dodržovat tyto požadavky: 969-8200 Turbo-V70 s přírubou CFF 4,5" − teplota: od -20 °C do +70 °C Mechanické čerpadlo SD40 − relativní vlhkost: 0 - 95% (bez orosení) Regulátor Turbo-V70 969-8201 Turbo-V70 s přírubou ISO 63...
  • Seite 74 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Podrobné informace o dalších dílech vestavěných do ÚDRŽBA zařízení Turbo Stack jsou uvedeny v příslušných Zařízení Turbo Stack nevyžaduje žádnou údržbu. návodech k obsluze. Veškeré práce na zařízení Turbo Stack musí provádět oprávněné osoby.  Bude-li nějaký agregát nainstalován na zařízení Turbo VÝSTRAHA! Stack nesprávně, viz prosím příslušný...
  • Seite 75 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ 1. konektor blokování 2. cívka stykače 3. relé na přřetížení 4. síťčvá zástrčka 5. zástrčka pro napájení pomocného čerpadla (připojená ke konektoru J7 regulátoru) 6. zásuvka pro napájení regulátoru (připojená ke konektoru sítě a síťové pojistky) 7. síťová svorkovnice Zadní...

  • Seite 76: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Seite 77: Všeobecné Informácie

    Skôr než začnete zariadenie používaќ, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny − Model 969-8207: Turbo Stack s Turbo-V250 spoločnosti Varian. Spoločnosќ Varian nenesie žiadnu vývevou opatrenou vstupnou prírubou ISO 100; zodpovednosќ akékoѕvek udalosti, zapríčinené − Model 969-8208: Turbo Stack s Turbo-V300HT postupom, ktorý...

  • Seite 78: Príprava Na Inštaláciu

    Výveva Turbo-V70D, príruba ISO 63 Ak je balenie poškodené (čo sa môže staќ napríklad Membránová výveva MD40 počas prepravy), obráќte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Varian. Kontrolný modul Turbo-V70 Pri vybaѕovaní systému Turbo Stack sa postarajte, aby 969-8204 Výveva Turbo-VLP, príruba CFF 4,5"...
  • Seite 79 NÁVOD K POUŽITIU Podrobné informácie ostatných agregátoch ÚDRŽBA inštalovaných do Turbo Stacku nájdete v príslušných Zariadenie Turbo Stack nevyžaduje žiadnu údržbu. Návodoch na použitie. Akékoѕvek úpravy a opravy systému musí vykonaќ autorizovaný personál.  Ak je agregát Turbo Stacku vadný, postupujte podѕa VAROVANIE! príslušného Návodu na použitie.
  • Seite 80 NÁVOD K POUŽITIU Prepájací konektor Cievka stykača Preќažovacie relé Zástrčka napájania Zástrčka napájania primárnej vývevy (pripojená ku konektoru J7 kontrolného modulu) Zásuvka napájania kontrolného modulu (pripojená ku konektoru HLAVNÁ POISTKA) Doska s napájacou zásuvkou Zadný panel skrine kontrolného modulu Turbo Stacku Kontrolný...

  • Seite 81: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...

  • Seite 82: Splošne Informacije

    − Model 969-8209: Turbo Stack Turbo-V300HT vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. črpalko z ISO 100 vhodno prirobnico; Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja navodil, nepravilne uporabe −...

  • Seite 83: Priprava Za Montažo

    NAVODILA ZA UPORABO Oddaljeni zagon/zaustavitev, statusni singnali črpalke, MOD. POL. ENOTA zagon/zaustavitev predčrpalke, nadzor nad interlockom 969-8200 Turbo-V70 črpalka, CFF 4,5" (za stikalo za pritisk, stikalo za pretok vode, itd.) lahko prirobnica nadzorujete preko auksiliarnih priključkov upravljalca. Turbo Stack je potrebno napajati z napetostjo 220 V AC, Mehanska črpalka SD40 s frekvenco 50/60 Hz.
  • Seite 84 NAVODILA ZA UPORABO Podrobne informacije o enotah nameščenih na Turbo VZDRŽEVANJE Stack se nahajajo v pripadajočih navodilih za uporabo. Turbo Stack ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.  V primeru, ko je enota, nameščena na Turbo Stack OPOZORILO! pokvarjena, poglejte v primerna navodila za uporabo.
  • Seite 85 NAVODILA ZA UPORABO 1. Interlock priključek 2. Kontaktorski navoj 3. Rele za preobremenitev 4. Napetostni priključek 5. Napetostni priključek za predčrpalko (povezan na J7 priključek upravljalca) 6. Dovod napetosti za upravljalec (povezan na FUSE-MAINS priključek) 7. Glavna terminalna plošča Turbo Cart zadnja plošča za upravljalec 1.

  • Seite 86: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 87: General Information

    Varian before operating pump with CFF 6” input flange; the equipment. Varian will not be held responsible for any − Model 969-8211: Turbo Stack with Turbo-V150HT events occurring due to non-compliance, even partial, pump with ISO 100 input flange.

  • Seite 88: Preparation For Installation

    INSTRUCTIONS FOR USE STORAGE MOD. POS. ITEM When transporting and storing the Turbo Stack, the following environmental requirements should be satisfied: 969-8200 Turbo-V70 pump, CFF 4.5" flange − temperature: from -20 °C to +70 °C Mechanical pump SD40 − relative humidity: 0 - 95% (without condensation) Controller Turbo-V70 PREPARATION FOR INSTALLATION 969-8201...
  • Seite 89 INSTRUCTIONS FOR USE Detailed information about the other units installed into the Turbo Stack are contained in the relevant MAINTENANCE Instructions Manuals. The Turbo Stack does not require any maintenance. Any work performed on the Turbo Stack must be carried out ...
  • Seite 90 INSTRUCTIONS FOR USE 1. Interlock connector 2. Contactor coil 3. Overload relay 4. Mains plug 5. Forepump power supply plug (connected to J7 connector of controller) 6. Controller power supply socket (connected to FUSE-MAINS connector) 7. Mains terminal board Turbo Cart Controller box rear panel 1.
  • Seite 91 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Seite 92 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 93 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.

Diese Anleitung auch für:

Turbo stack 969-8201Turbo stack 969-8202Turbo stack 969-8203Turbo stack 969-8204Turbo stack 969-8205Turbo stack 969-8206 ... Alle anzeigen

Inhaltsverzeichnis