Inhaltsverzeichnis
Werbung
Verfügbare Sprachen
Verfügbare Sprachen
Quicklinks
Turbo-V 81-T
Models:
969-8905
969-8906
969-8907
969-8908
87-900-984-01(D)
FEBRUARY 2008
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian Turbo-V 81-T
Inhaltszusammenfassung für Varian Turbo-V 81-T
- Seite 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Turbo-V 81-T MANUAL DE INSTRUÇÕES...
- Seite 2 Turbo-V 81-T...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-T..................52 Pump Description ......................52 TECHNICAL SPECIFICATION ....................53 TURBO-V 81-T OUTLINE......................54 INLET SCREEN INSTALLATION ....................57 HEATER BAND INSTALLATION....................58 AIR COOLING KIT INSTALLATION ....................58 WATER COOLING KIT INSTALLATION ..................59... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva- ta velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-T è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richie- dono un vuoto "pulito". -
Seite 8: Smaltimento
La Turbo-V 81-T può essere installata in qualsiasi posizione. Fis- MANUTENZIONE sare la Turbo-V 81-T in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di Le pompe della serie Turbo-V 81-T non richiedono alcuna manu- resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse. -
Seite 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 10: Allgemeine Informationen
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Text hervorgehoben werden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden An- weisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht... -
Seite 11: Wartung
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Gasen verwendet werden. Modell Turbo-V 81-T kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 81-T ist stabil zu befestigen, indem der WARTUNG Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen- Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-T erfordern keine Wartung. -
Seite 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 13: Indications Generales
Les pompes de la série Turbo-V 81-T sont des pompes turbo- moléculaires pour des applications de vide poussé et ultra- poussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé... -
Seite 14: Mise Au Rebut
à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 250 Nm autour de son axe Par exemple le flasque Les pompes de la série Turbo-V 81-T ne demandent aucun entre- ISO 63 peut être fixé à l'aide de brides en acier à haute résistance tien. -
Seite 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 16: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-T no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’... - Seite 17 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 El Turbo-V 81-T puede instalarse en cualquier posición. Fijar el MANTENIMIENTO Turbo-V 81-T en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede Las bombas de la serie Turbo-V 81-T no requieren mantenimiento.
-
Seite 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Seite 19 O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-T é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
- Seite 20 O Turbo-V 81-T pode ser instalado em qualquer posição. Fixar adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na o Turbo-V 81-T em posição estável ligando o flange de entrada presença de gases explosivos. da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.
-
Seite 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 22: Algemene Informatie
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-T Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-T niet kan moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. - Seite 23 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 explosieve gassen. De Turbo-V 81-T kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 81-T in een stabiele positie en verbind de ONDERHOUD inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een De pompen van de serie Turbo-V 81-T zijn onderhoudsvrij.
-
Seite 24: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Seite 25 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske skader, der kan være opstået under transporten. felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” Sørg for, at Turbo-V 81-T ikke tabes eller udsættes for stød ved for yderligere oplysninger. udpakningen. De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-T må kun benyttes med en af de specielle Varian controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet under "Technical...
- Seite 26 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T kan installeres i en hvilken som helst position. VEDLIGEHOLDELSE Fastgør Turbo-V 81-T i en stabil position ved at slutte Pumperne i serien Turbo-V 81-T kræver ikke nogen form for turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et...
-
Seite 27: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 28: Allmän Information
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen... - Seite 29 Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett UNDERHÅLL stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på...
-
Seite 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 31: Klargjøre Til Installasjon
0 - 95% (uten kondens) transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 81-T pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede eller utsettes for noen form for støt. - Seite 32 BRUKERVEILEDNING Turbo-V 81-T pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Varian-styreenhetene og den må koples til en ADVARSEL! hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller...
-
Seite 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 28/64 87-900-984-01(D) -
Seite 34: Yleisiä Tietoja
Käyttäkää aina käsineitä tai ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota muuta sopivaa suojausta. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä... - Seite 35 Turbo-V 81-T voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. HUOLTO Kiinnittäkää Turbo-V 81-T vakaaseen asentoon liittämällä Sarjan Turbo-V 81-T pumput eivät vaadi mitään huoltoa. turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön kestää 250 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi tehtäväksi.
-
Seite 36: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 37 Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste “Technical Information” gia perissÒterej leptom◊reiej. idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Turbo-V 81-T Οι αντλίες στροβιλοµοριακές της σηράς Turbo-V 81-T πρέπει να kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
- Seite 38 Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn. Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 SUNTHRHSH To Turbo-V 81-T mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Οι αντλίες της σηράς Turbo-V 81-T δε χρειάζονται καµµία Stereèste to Turbo-V 81-T se staqerÿ q◊sh enènontaj th συντήρηση.
-
Seite 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
- Seite 41 A Turbo-V 81-T bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a KARBANTARTÁS Turbo-V 81-Tt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti A Turbo-V 81-T típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek képes ellenállni 250 Nm tengely körüli nyomatéknak.
-
Seite 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Seite 43 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. dodatek “Technical Information”. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 81-T ani 38/64 87-900-984-01(D)
- Seite 44 Zamocować Turbo-V 81-T w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na KONSERWACJA obciążenie 250 Nm wokół własnej osi. Pompy z serii Turbo-V 81-T nie wymagają żadnej konserwacji. Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z Jakakolwiek interwencja musi być...
-
Seite 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Seite 46 činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Čerpadlo řady Turbo-V 81-T je turbomolekulární čerpadlo pro vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je schopné čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo sloučeniny plynů.
- Seite 47 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-T lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů Varian a musí VÝSTRAHA! být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo Technical Information).
-
Seite 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Seite 49 2 bary nad úrovňou atmosférického PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU tlaku Zariadenie Turbo-V 81-T sa dodáva v špeciálnom ochrannom − teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad v dodatku “Technical Information”)
- Seite 50 Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-T sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení UPOZORNENIE Varian a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom.
-
Seite 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Seite 52 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na naprave Turbo-V 81-T. Kljub temu je priporočljivo, da je enota določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili če se jih ne drži.
- Seite 53 Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi. POZOR ODLAGANJE OPADKOV Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-T v skupino za drugo nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na Pomen znamke "WEEE" na etiketah. napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
-
Seite 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 55: General Information
The Turbo-V 81-T is a turbo-molecular pump for high and ultra- high vacuum applications which can pump any type of non- corrosive gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles. - Seite 56 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Do not use the pump in presence of explosive gases. The Turbo-V 81-T can be installed in any position. Fix the Turbo-V 81-T in a stable position connecting the inlet flange of MAINTENANCE...
-
Seite 57: Technical Information
Proceeding from the high vacuum to the forevac- DESCRIPTION OF THE TURBO-V 81-T uum region, the turbine stages sequence is: The Turbo-V 81-T pump is available in four ver- sions. The difference among the four versions lies • 1st stage with a blade angle of 40°, purely in the high vacuum connection. -
Seite 58: Technical Specification
Operating ambient +5 °C to +25 °C temperature with NOTE natural air convec- When the Turbo-V 81-T has been stored at a tem- tion perature less than 5°C, wait until the system has Operating ambient +5 °C to +35 °C reached the above mentioned temperature. -
Seite 59: Turbo-V 81-T Outline
TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 81-T OUTLINE The following figure shows the Turbo-V 81-T outlines (dimensions are in inches [mm]). Turbo-V 81-T outline 54/64 87-900-984-01(D) - Seite 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m /h mechanical pump Graph of compression ratio vs foreline pressure 55/64 87-900-984-01(D)
- Seite 61 TECHNICAL INFORMATION Graph of Nitrogen throughput against inlet pressure using a DS102 as forevacuum pump 56/64 87-900-984-01(D)
-
Seite 62: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol- INLET SCREEN INSTALLATION lowing figure. The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pump- The following figure shows the overall flange di- ing speed by about 10%. -
Seite 63: Heater Band Installation
The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different posi- tions. To fix the fan to the Turbo-V 81-T case execute the following procedure (see the following figure): 1. Fix the fan to the suitable bracket by means of Switch on the heater while the turbopump is in op- the furnished screws;... -
Seite 64: Water Cooling Kit Installation
TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9823 (me- tallic model), and 969-9824 (plastic model). -
Seite 65: Vent Accessories
TECHNICAL INFORMATION 2. Assemble the metal or the plastic kit as shown. Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or us- ing a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +15 °C and +35 °C, with an inlet pressure between 2 and 4 bar. -
Seite 66: Vibration Isolator Installation
− model 969-9375 for ISO 63 flange; 15. Flexible connection − model 969-9376 for CFF 4.5” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V 81-T to the system by a factor of Please refer to the relevant instruction manual. 61/64 87-900-984-01(D) -
Seite 67: With Standard Rack Controller
TECHNICAL INFORMATION With Standard Rack Controller Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo-V 81-T pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the cen- tering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. -
Seite 68: Connection Configurations
Connection C - ELECTRICAL A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-T pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. -
Seite 69: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Turbo-V 81-AG Navigator Controller 969-8996 100-240 Vac For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo-V 81-AG Navigator Controller N.O. - Seite 70 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
- Seite 71 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 72 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.