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Varian Turbo Stack 969-8200 Bedienungshandbuch Seite 25

Turbomolekularpumpen
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Panel Posterior del Cesto Controlador
Esquema Eléctrico
20
INSTRUCCIONES DE USO
1.
Conector de interlock (conectado al
conector P1 del controlador)
2.
Contactor
3.
Relé de sobrecarga
4.
Toma de alimentación de la red
5.
Alimentación de la bomba primaria
(conectado al conector J7 del controlador)
6.
Alimentación del controlador (conectado al
conector FUSE-MAINS del controlador)
7.
Tablero de bornes de conexión con la red
1. Controlador Turbo-V
2. Vent valve (opcional)
3. Red de alimentación (220 V, 50 Hz, 1
fase)
4. Bomba mecánica
5. Ventilador a baja potencia
6. Ventilador a alta potencia
7. Tarjeta Set Point
8. Multi-Gauge (opcional)
87-900-888-01(B)

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