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Ein- und Ausgangssignale für HAP
HAP Eingangssi-
Eingangsdaten der Stromquelle im Prozessabbild HAP (Hot Active Plasma)
gnale (vom Robo-
ter zur Strom-
Lfd. Nr.
quelle)
E01
E02
E03
E04
E05
E06
E07
E08
E09
E10
E11
E12
E13
E14
E15
E16
E17 - E24
E25
E26
E27
E28
E29
E30
E31
E32
E33 - E40
E41 - E48
32
Signalbezeichnung
Prozess Ein
Roboter bereit
Betriebsarten Bit 0
Betriebsarten Bit 1
Betriebsarten Bit 2
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Gas Test
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Quellenstörung quittieren
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Jobnummer
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Nicht in Verwendung
Pulsen disable
Pulsbereichs-Auswahl Bit 0
Pulsbereichs-Auswahl Bit 1
Pulsbereichs-Auswahl Bit 2
Prozess-Simulation
Hauptstrom (Sollwert)
Low Byte
High Byte
Externer Parameter (Sollwert)
Bereich
Akti-
vität
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
-
-
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
-
-
-
0 - 99
-
-
-
-
-
-
-
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
0 - 65535 (0 - max.)
-
-
-
-
-
0 - 65535
-
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