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Signaux d'entrée et de sortie pour HAP
Signaux d'entrée
Données d'entrée de la source de courant dans la reproduction du process HAP (Hot
HAP (du robot
Active Plasma)
vers la source de
courant)
N° d'ordre
E01
E02
E03
E04
E05
E06
E07
E08
E09
E10
E11
E12
E13
E14
E15
E16
E17 – E24
E25
E26
E27
E28
E29
E30
E31
E32
E33 – E40
E41 – E48
Désignation du signal
Process activé
Robot prêt
Modes de service Bit 0
Modes de service Bit 1
Modes de service Bit 2
Non utilisé
Non utilisé
Non utilisé
Contrôle gaz
Non utilisé
Non utilisé
Acquitter la panne de source
Non utilisé
Non utilisé
Non utilisé
Non utilisé
Numéro de job
Non utilisé
Non utilisé
Non utilisé
Impulsions disable
Sélection plage d'impulsion Bit 0
Sélection plage d'impulsion Bit 1
Sélection plage d'impulsion Bit 2
Simulation process
Courant principal (valeur de consigne)
Low Byte
High Byte
Plage
Activité
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
-
-
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
-
-
-
0 à 99
-
-
-
-
-
-
-
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
0 à 65535 (0 à
-
max.)
-
-
-
-
133
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