Vstupné a výstupné signály pre HAP
Vstupné signály
Vstupné údaje prúdového zdroja v znázornení postupu HAP (Hot Active Plasma)
(od robota
k prúdovému
Sér. č.
zdroju)
E01
E02
E03
E04
E05
E06
E07
E08
E09
E10
E11
E12
E13
E14
E15
E16
E17 – E24
E25
E26
E27
E28
E29
E30
E31
E32
E33 – E40
E41 – E48
Názov signálu
Postup zapnutý
Robot je pripravený
Prevádzkové režimy bit 0
Prevádzkové režimy bit 1
Prevádzkové režimy bit 2
nepoužíva sa
nepoužíva sa
nepoužíva sa
Skúška plynu
nepoužíva sa
nepoužíva sa
Potvrdiť poruchu zdroja
nepoužíva sa
nepoužíva sa
nepoužíva sa
nepoužíva sa
Číslo jobu
nepoužíva sa
nepoužíva sa
nepoužíva sa
Pulzovanie disable
Výber rozsahu pulzácií Bit 0
Výber rozsahu pulzácií Bit 1
Výber rozsahu pulzácií Bit 2
Simulácia postupu
Hlavný prúd (pož. hodnota)
Low Byte
High Byte
Externý parameter (pož. hodnota)
Rozsah
Aktivita
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
-
-
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
High
-
-
-
-
-
-
-
-
0 – 99
-
-
-
-
-
-
-
-
High
-
High
-
High
-
High
-
High
0 – 65535 (0 –
-
max.)
-
-
-
-
0 – 65535
-
185