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Technische Daten und Abmessungen
15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 12:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 13:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, N
Übergangsbereich (Heißkath-
ode - Pirani)
Einschaltdruck
(Emission)
Ausschaltdruck
(Emission)
Emissionsstrom-Umschaltung
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Maximaldruck (absolut)
Messprinzip
Tab. 14:
46/52
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
)
2
Mess- und Druckwerte
Pa
-3
100
1 · 10
5
1
-5
100
-3
1000
-3
133,32
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
high (ab Werk)
low
high (ab Werk)
low
high (ab Werk)
low
25 μA -> 5 mA, bei ab-
nehmendem Druck
5 mA -> 25 μA, bei zu-
nehmendem Druck
10
-8
bis 10
-2
hPa
10
-8
bis 10
-2
hPa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
Wert
5 × 10
-10
bis 1000 hPa
5,5 × 10
–3
bis 2,0 × 10
-2
hPa
2,0 × 10
–3
bis 8,0 × 10
-3
hPa
2,4 × 10
–2
hPa
–3
9,9 × 10
hPa
–2
3,2 × 10
hPa
1,3 × 10
–2
hPa
7,2 × 10
–6
hPa
–5
3,2 × 10
hPa
ca. 15 % des Messwertes nach 5 Minu-
ten Stabilisierung
ca. 5 % des Messwertes nach 5 Minuten
Stabilisierung
≤ 200 kPa, beschränkt auf inerte Gase
und Temperaturen < 50 °C
Pirani/Bayard-Alpert
-3
3
/s
-2
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