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Abb. 16:
Abgleich vorbereiten
1. Führen Sie einen Nullpunktabgleich durch
2. Achten Sie auf gleiche Einbau- und Umgebungsbedingungen wie bei Normalanwendung.
HV-Abgleich durchführen
► Evakuieren Sie das Vakuumsystem auf einen Druck von 1 bis 3 × 10
Der Transmitter gleicht das Pirani-Messsystem bei jeder Inbetriebnahme des Transmitters automatisch
durch das HIMS ab, wenn sich der Druck zum ersten Mal im Bereich zwischen 1 und 3 × 10
det.
ATM-Abgleich durchführen
1. Lassen Sie den Transmitter ca. 30 Minuten auf Umgebungstemperatur abkühlen, wenn Sie den
2. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
3. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten bei Atmosphärendruck.
4. Drücken Sie den Taster "ATM" 5 Sekunden mit einem Taststift.
Nullpunktabgleich durchführen
1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb.
2. Betreiben Sie den Transmitter mindestens 10 Minuten lang bei ≤ 1 × 10
3. Drücken Sie den Taster "ATM" 2 Sekunden lang mit einem Taststift.
8.3 Messsystem austauschen
Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen
Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und
führt zu Fehlmessungen. Schmutz (z. B. Staub, Fingerabdrücke o. ä.) und Beschädigungen beein-
trächtigen die Funktion.
► Tragen Sie bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen immer saubere, fussel- und pu-
► Verwenden Sie nur sauberes Werkzeug.
► Achten Sie auf fettfreie Anschlussflansche.
► Entfernen Sie Schutzkappen und Schutzdeckel von Flanschen und Anschlüssen erst wenn es
► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch.
Voraussetzungen
● Messsystem stark verschmutzt,
● Messsystem sichtbar beschädigt oder
● Transmitter defekt (z. B. Filament gebrochen)
Transmitter abgleichen
● nach einem Austausch des Messsystems
● im Rahmen der üblichen Wartungsaktivitäten zur Qualitätssicherung.
Transmitter zuvor im Ioni-Bereich betrieben haben.
– Der Abgleich benötigt 2 Minuten und läuft automatisch ab.
derfreie Laborhandschuhe.
nötig ist.
HINWEIS
Wartung
-3
hPa.
-3
hPa befin-
-4
hPa.
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