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Pfeiffer Vacuum PTR 91 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum PTR 91 Betriebsanleitung

Pirani/kaltkathoden-transmitter
Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
PTR 91
Pirani/Kaltkathoden-Transmitter

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum PTR 91

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original PTR 91 Pirani/Kaltkathoden-Transmitter...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Verantwortung und Gewährleistung Anforderungen an den Betreiber Personenqualifikation 2.8.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.8.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.8.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Anforderungen an den Bediener Produktbeschreibung Funktion Schalter und Statusanzeige Produkt identifizieren Lieferumfang Transport und Lagerung...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis Störungen Störungen beheben Fehler an der Messkammer feststellen Versand Recycling und Entsorgung 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 11.2 Transmitter entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Zubehör 14.1 Zubehörinformationen 14.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines 15.2 Technische Daten 15.3 Abmessungen ETL-Zertifizierung Konformitätserklärung...
  • Seite 5 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Varianten Tab. 3: Verwendete Abkürzungen Tab. 4: Leuchtdioden Tab. 5: Betriebsarten Tab. 6: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Tab. 7: Kalibrierfaktoren für den Druckbereich < 10 hPa Tab. 8: Störungen Tab.
  • Seite 6 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Messkonfiguration Abb. 2: Schalter und LED Abb. 3: Vakuumanschluss herstellen Abb. 4: Elektronikeinheit Abb. 5: Anschlussplan Abb. 6: Messkabel FCC-68, 8-polig Abb. 7: Beziehung zwischen Messsignal und Druck Abb. 8: Druckbereich > 10 hPa (reiner Pirani-Betrieb) Abb.
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Tab. 2: Varianten Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Informationen, die nur auf eines der Produkte zutreffen, sind entsprechend gekennzeichnet. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu.
  • Seite 8: Konventionen

    Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild befindet sich an der Rückseite des Gerätes. D-35614 Asslar Mod. PTR 91 PT T03 xx8 310 3103457 xxxxxxxxx Made in Liechtenstein 2019/04 Input 14.5...30 V DC 2 W 1.3.4 Abkürzungen...
  • Seite 9: Markennachweis

    Messsignal [V] (Ausgangsspannung) Marke der Swagelok Company Tab. 3: Verwendete Abkürzungen 1.4 Markennachweis ● FullRange ® ist eine Marke der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Hirschmann ® ist eine Marke der Hirschmann Electronics GmbH. ● Scotch-Brite ® ist eine Marke der 3M Company.
  • Seite 10: Sicherheit

    Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
  • Seite 11 ● Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ● Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 ► Sichern Sie die Leitung zum Produkt ab. – Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. GEFAHR Stromschlag durch in das Gerät eindringende Feuchtigkeit In das Gerät eindringende Feuchtigkeit führt zu Personenschäden durch Stromschläge.
  • Seite 12: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar- beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be- seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden. ►...
  • Seite 13: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Der FullRange-Transmitter dient zur Vakuummessung von Gasen im Bereich von 1 × 10 1000 hPa. Produkt bestimmungsgemäß verwenden ► Betreiben Sie den Transmitter mit einem Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät. ► Installieren, betreiben und warten Sie den Transmitter ausschließlich gemäß dieser Betriebsanlei- tung.
  • Seite 14: Personenqualifikation

    6. Stellen Sie die Personenqualifikation sicher. 2.8 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 15: Mit Pfeiffer Vacuum Weiterbilden

    4. Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein. 5. Beachten Sie die technischen Daten. 6. Wenden Sie sich an das Pfeiffer Vacuum Service Center falls Ihre Fragen zu Betrieb oder War- tung des Produktes in dieser Betriebsanleitung nicht beantwortet werden. – Informationen finden Sie im Pfeiffer Vacuum Servicebereich.
  • Seite 16: Produktbeschreibung

    Kaltkathode gezündet leuchtet rot Messsystem-Fehler blinkt rot EEPROM-Fehler leuchtet gelb Messbereichsüberschreitung leuchtet gelb leuchtet grün Messbereichsunterschreitung Tab. 4: Leuchtdioden 3.3 Produkt identifizieren Sie benötigen alle Daten des Typenschildes zur sicheren Identifizierung des Produktes bei der Kommu- nikation mit Pfeiffer Vacuum. 16/52...
  • Seite 17: Lieferumfang

    Produktbeschreibung 1. Lesen Sie die Daten des Typenschildes am Produkt ab. 2. Notieren Sie die abgelesenen Daten. 3. Halten Sie immer alle Angaben des Typenschildes bereit. 3.4 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören die folgenden Teile: ● Transmitter ● Taststift (Ø 1,1 mm) ●...
  • Seite 18: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung 4.1 Produkt transportieren HINWEIS Beschädigung durch unsachgemäßen Transport Der Transport in einer ungeeigneten Verpackung oder fehlende Transportsicherung führen zu Be- schädigung des Produktes. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Transport ein. Verpackung Wir empfehlen die Transportverpackung und die original Schutzdeckel aufzubewahren. Allgemeine Hinweise für den sicheren Transport ►...
  • Seite 19: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Vakuumanschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►...
  • Seite 20: Elektronikeinheit

    Elektronikeinheit möglich ist. – Dies erleichtert die Montage der CF-Flanschverbindung. Vorgehen 1. Entfernen Sie die Schutzkappe und bewahren Sie diese auf. 2. Montieren Sie den Transmitter mit Vakuumbauteilen aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop am Vakuumsystem. 5.2 Elektronikeinheit GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich.
  • Seite 21: Abb. 4: Elektronikeinheit

    Installation GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Fehlende Erdverbindung führt zu berührungsgefährlichen Spannungen und beschädigt elektronische Bauteile. ► Befestigen Sie die Elektronikeinheit immer mit dem Gewindestift. ► Stellen Sie sicher, dass Sie den Gewindestift der Elektronikeinheit korrekt angezogen haben. HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen.
  • Seite 22: Elektrischen Anschluss Herstellen

    ● selbst hergestelltes Messkabel für ein kundeneigenes Auswertegerät ● RJ-45-Stecker Elektrischen Anschluss herstellen ► Schließen Sie das Messkabel am Transmitter an. ► Schließen Sie den Transmitter an ein Pfeiffer Vacuum-Totaldruck-Mess- und Steuergerät oder ein kundeneigenes Auswertegerät an. – Signal 4.7Ω...
  • Seite 23: Abb. 6: Messkabel Fcc-68, 8-Polig

    Installation Abb. 6: Messkabel FCC-68, 8-polig Messkabel herstellen Weitere Informationen zu Messkabeltyp und Leiterquerschnitten finden Sie in den Technischen Daten. 1. Beachten Sie für beste Signalqualität die nachfolgenden Schritte, weil Erdschleifen, Potentialun- terschiede oder EMV das Messsignal beeinflussen. 2. Verwenden Sie ein Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse. 3.
  • Seite 24: Betrieb

    Betrieb 6 Betrieb Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung steht am elektrischen Anschluss zwischen Pins 3 und 5 das Messsignal zur Verfügung. Empfehlungen ► Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten. ► Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck. ► Lassen Sie den Transmitter unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet. 6.1 Betriebsarten Der Identifikationsausgang zeigt an, in welchem Betriebszustand sich der Transmitter befindet.
  • Seite 25: Tab. 6: Konstanten Zur Umrechnung Von Messsignal Und Druck

    Betrieb Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) Konstante (d) [hPa] 11,33 [mbar] [Torr] 6,875 11,46 [micron] 5,075 8,458 [Pa] 9,333 Tab. 6: Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Messsignal und Druck umrechnen Gültigkeitsbereich ● 1 × 10 hPa < p < 1000 hPa ●...
  • Seite 26: Tab. 7: Kalibrierfaktoren Für Den Druckbereich

    Betrieb Druckbereich von 10 bis 0,1 hPa p [hPa] –1 –2 –3 –4 –5 –6 –6 –5 –4 –3 –2 –1 4 6 8 [hPa] Abb. 9: Druckbereich von 10 bis 0,1 hPa Kalibrierfaktoren Im Druckbereich < 10 hPa ist die Anzeige linear. Gas- und Dampfgemische Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische.
  • Seite 27: Zündverzögerung Beachten

    Betrieb Druck für andere Gase als Luft berechnen ► Berechnen Sie den effektiven Druck nach folgender Formel: = C × p ● P = effektiver Druck ● C = Kalibrierfaktor ● p = angezeigter Druck (Transmitter abgeglichen für Luft) 6.4 Zündverzögerung beachten Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung.
  • Seite 28 Betrieb Verschmutzungsgrad beeinflussen Sie können das Maß der Verschmutzung in begrenztem Rahmen beeinflussen. Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten. ► Ergreifen Sie geometrische Schutzmaßnahmen (Abschirmbleche, Krümmer) für sich in gerader Li- nie ausbreitende Teilchen.
  • Seite 29: Ausbau

    Ausbau 7 Ausbau GEFAHR Lebensgefahr durch Stromschlag Ein nicht fachgerecht geerdetes Produkt ist im Störungsfall lebensgefährlich. ► Verbinden Sie das Produkt galvanisch mit dem geerdeten Vakuumrezipienten. ► Stellen Sie sicher, dass die Verbindung den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entspricht. (CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.) ►...
  • Seite 30: Abb. 10: Transmitter Demontieren

    Ausbau Abb. 10: Transmitter demontieren 1 Dichtung mit Zentrierring Spannelement 2 Schutzkappe Transmitter demontieren 1. Lösen Sie das Messkabel vom Transmitter. 2. Empfehlung: Entfernen Sie vorübergehend die Elektronikeinheit des Transmitters, falls die De- montage nur ohne Elektronikeinheit möglich ist. – Dies erleichtert die Demontage der CF-Flanschverbindung. 3.
  • Seite 31: Wartung

    Garantieanspruch Öffnen des Geräts während der Gewährleistungszeit oder Beschädigung bzw. Entfernen des Garantiesiegels führen zum Verlust der Gewährleistung. Kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center bei prozessbedingt kürzeren War- tungsintervallen. Abschnitte zuerst komplett durchlesen Lesen Sie die Abschnitte mit den Arbeitsanweisungen zuerst komplett durch, bevor Sie mit den Arbeiten beginnen.
  • Seite 32: Transmitter Zerlegen

    Wartung Abb. 11: Transmitter abgleichen HV-Abgleich durchführen 1. Nehmen Sie den Transmitter in Betrieb. 2. Evakuieren Sie das Vakuumsystem auf p < 10 hPa. 3. Warten Sie mindestens 2 Minuten. 4. Drücken Sie den Taster "ADJ" kurz mit einem Taststift. –...
  • Seite 33: Zündhilfe Austauschen

    Wartung Abb. 12: Transmitter zerlegen 1 Sicherungsring Gewindestift 2 Ionisationskammer Elektronikeinheit 3 Messkammer Transmitter zerlegen 1. Demontieren Sie den Transmitter aus dem Vakuumsystem. 2. Lösen Sie den Gewindestift seitlich an der Elektronikeinheit. 3. Entfernen Sie die komplette Messkammer aus der Elektronikeinheit. 4.
  • Seite 34: Abb. 13: Zündhilfe Entfernen

    Wartung Abb. 13: Zündhilfe entfernen 1 Zündhilfe Montagewerkzeug Zündhilfe entfernen ► Entfernen Sie die Zündhilfe. Abb. 14: Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen 1 Zündhilfe Montagewerkzeug 2 gezackte Seite der Zündhilfe Zündhilfe in das Montagewerkzeug einlegen 1. Legen Sie die neue Zündhilfe in das Montagewerkzeug ein. 2.
  • Seite 35: Komponenten Reinigen

    ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Sehen Sie spezielle Maßnahmen vor, falls Tropfwasser zu befürchten ist. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center. HINWEIS Beschädigung durch ungeeignete Reinigungsmittel Ungeeignete Reinigungsmittel beschädigen das Produkt.
  • Seite 36: Transmitter Montieren

    Wartung 5. Ersetzen Sie die komplette Messkammer, wenn die Messkammer stark verschmutzt ist. 6. Ersetzen Sie die Zündhilfe, wenn die Zündhilfe verschmutzt ist. Komponenten reinigen 1. Zerlegen Sie den Transmitter soweit wie benötigt. – Verbiegen Sie die Anode nicht. 2. Entfernen Sie die alte Zündhilfe. 3.
  • Seite 37: Abb. 17: Transmitter Montieren

    Wartung Kalibrierwert des Ersatzsensors einstellen Wenn Sie die komplette Messkammer ersetzen, müssen Sie am Transmitter den Kalibrierwert des Er- satzsensors einstellen. ► Stellen Sie den Kalibrierwert des Ersatzsensors am Schalter für den Kalibrierwert (CAL) der Elekt- ronikeinheit ein. Abb. 17: Transmitter montieren 1 Messkammer Messkammer (komplett)
  • Seite 38: Störungen

    Fehlfunktionen des Gerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Ionisationskammer), fallen nicht unter die Gewährleistung. Störungsbehebung (Reset) Pfeiffer Vacuum empfiehlt, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 Sekunden wieder einzuschalten, wenn eine Störung aufgetreten ist. 9.1 Störungen beheben Störung...
  • Seite 39: Tab. 9: Messung

    Störungen Abb. 18: Kontaktstifte der Messkammer 1 – 5 Kontaktstift Messkammer Messung zwi- Sollwertbereich Ursachen für Werte außerhalb des Sollwertbe- schen reichs 1 und 4 39,5 – 40,5 Ω (bei Defektes Pirani-Filament 20 °C) 1 und 2 1000 – 1100 Ω (bei Defekter Pirani-Temperaturfühler 20 °C) 5 und 6...
  • Seite 40: Versand

    Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Hinweise für den sicheren Versand ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein.
  • Seite 41: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 11.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 42: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 43 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 44: Ersatzteile

    Ersatzteile 13 Ersatzteile Ersatzteile bestellen ► Halten Sie die Artikelnummer und ggf. noch weitere Angaben auf dem Typenschild bereit. ► Setzen Sie nur originale Ersatzteile ein. Abb. 19: Komplette Messkammer (Ersatzsensor) 1 Sicherungsring Messkammer 2 Ionisationskammer Beschreibung Bestellnummer Zündhilfensatz (10 Stück) BN 845 995 -T Montagewerkzeug für Zündhilfe PT 120 316 -T...
  • Seite 45: Zubehör

    Zubehörportfolio für CenterLine auf unserer Homepage. 14.1 Zubehörinformationen Messkabel Messkabel in verschiedenen Längen zum Anschluss an ein Pfeiffer Vacuum Totaldruck-Mess- und Steuergerät Dichtungen mit Zentrierring und Filter Filter in verschiedenen Porengrößen zum Schutz des Messsystems vor Verschmutzung bei potentiell verschmutzenden Anwendungen 14.2 Zubehör bestellen...
  • Seite 46: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 15 Technische Daten und Abmessungen 15.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33...
  • Seite 47: Tab. 14: Elektrische Daten

    Aufstellungshöhe max. 6000 m NN Schutzart IP40 Tab. 16: Umgebungsbedingungen Parameter Wert Betrieb 5 bis 55 °C Pirani-Filament 120 °C Sie müssen die minimale Spannung des Versorgungsgerätes proportional zur Leitungslänge erhöhen. Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte erfüllen diese Forderung. 47/52...
  • Seite 48: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen Parameter Wert Lagerung -40 bis +70 °C Ausheizen ≤ 150 °C Tab. 17: Temperaturen Parameter Wert Flansch Edelstahl (1.4435) Messkammer Edelstahl (1.4435) Pirani-Filament Wolfram (W) Durchführung (Isolation) Keramik (Al ), Glas Durchführung (Ring) Edelstahl (1.4435) Durchführung (Anode) Molybdän (Mo) Durchführung (Pin) Nickel-Legierung (Ni)
  • Seite 49: Etl-Zertifizierung

    ETL LISTED The product PTR 91 - conforms to the UL standard UL 61010-1. - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. 3103457...
  • Seite 50: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Pirani/Kaltkathoden-Transmitter PTR 91 Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...
  • Seite 51 51/52...

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