Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum CMR 371
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum CMR 371
- Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N CMR 371 … CMR 375 Ceramic Capacitance Gauge Betriebsanleitung...
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typen- schildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. BG 5138 BDE / B (2019-07) -
Seite 3: Gültigkeit
[Pascal] [Pascal] [Pascal] PT R25 100 ½" Rohr PT R25 101 DN 16 ISO-KF 1000 1100 CMR 371 100'000 110'000 PT R25 102 DN 16 CF-R ® PT R25 103 8 VCR PT R25 110 ½" Rohr PT R25 111... -
Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Die temperaturgeregelten Ceramic Capacitance Gauges der Serie CMR 37X sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Ab- solutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbe- reichen (→ 3). Funktion Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt. Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi- tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge- wandelt. -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marke Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss Betrieb Anzeigen Messröhre abgleichen Werkseinstellung laden (Factory Reset) Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Umrechnungstabelle ETL-Zertifizierung EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→... -
Seite 6: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen •... -
Seite 8: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit 0.15% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt PT R25 100 … PT R25 133 0.0025% F.S./ °C PT R25 140 … PT R25 143 0.005% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich 0.01% vom Messwert / °C 0.003% F.S. - Seite 9 Status-Relais geschlossen Messmodus Warnung offen keine Versorgungsspannung aufwärmen Fehler Speisung GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgerä- te angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Mess- röhre ist abzusichern.
- Seite 10 Anschluss elektrisch Kompaktstecker Hirschmann Typ GO 6, 6-polig, Kontaktstifte Anziehdrehmoment ≤0.2 Nm Messkabel 5-polig plus Abschirmung Kabellänge Versorgungsspannung 15 V ≤15 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 24 V ≤75 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 30 V ≤135 m (0.25 mm²/Leiter) Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich ≤1.0 Ω).
- Seite 11 Abmessungen [mm] DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R AD½" 8 VCR Innengewinde Gewicht 837 … 897 g BG 5138 BDE / B (2019-07)
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Seite 12: Beziehung Messsignal Analog - Druck
= (U - 1) × c (F.S.) Torr 0.125 12.5 0.094 Beispiel: Messröhre CMR 371 mit 1000 hPa F.S. Messsignal U = 6 V p = (6 V - 1 V) × 0.125 × 1000 hPa = 625 hPa BG 5138 BDE / B... -
Seite 13: Einbau
Einbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >100 kPa Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 14 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. •...
- Seite 15 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen. Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→...
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Seite 16: Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuum- apparatur angeschlossen sein (→ 13). GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgerä- te angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. - Seite 17 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen (Kabellänge und -querschnitt → 10). – 10Ω 13K2 – Elektrischer Anschluss Pin 1 Identifikation Pin 2 Signalausgang (Messsignal) Pin 3 Signalerde Pin 4 Speisung Pin 5 Speisungserde Kabeldose Pin 6 Abschirmung...
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Seite 18: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens ½ Stunde, bei Präzisionsmessungen mindestens 2 Stunden. Anzeigen Nur für Werks- einstellung STATUS ZERO Zustand Bedeutung <STATUS> Keine Versorgungsspannung leuchtet grün Messmodus blinkt grün kurzes Aufblinken Warnung, außerhalb Messbereich langes Aufblinken Aufwärmen... - Seite 19 Nullpunkteinstellung bei den gleichen konstanten Umgebungs- bedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei denen die Messröhre normalerweise verwendet wird. Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. Die Änderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage beträgt: F.S. U / 90° ∆ 1000 Torr/hPa ≈2 mV 100 Torr/hPa...
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Seite 20: Adjust Mit Rampenfunktion
Die Messröhre bei konstanten Umgebungsbedingungen mind. 1 Stunde betreiben (bis Messwert stabil ist). Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken. Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die LED <STATUS> blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≤8 s) abge- schlossen ist. - Seite 21 Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder • einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wand- ler zu erzeugen. Der Offset sollte nicht größer als 2% vom F.S. (+200 mV) sein. Bei größerem positiven Offset wird die obere Messbereichs- grenze überschritten.
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Seite 22: Werkseinstellung Laden (Factory Reset)
Taster <ZERO> erneut drücken: Feineinstellung Zero-Adjust Wert ändert um eine innerhalb 0...3 s: Einheit (Taster ca. 1 mal pro Se- kunde drücken) Richtungswechsel Zero-Adjust Einstellung ändert ihre innerhalb 3...5 s: Richtung (Blinkfrequenz der LED <STATUS> ändert kurz) Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr ge- drückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. -
Seite 23: Ausbau
Ausbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. - Seite 24 Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschraube lösen und Messkabel ausziehen. Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen.
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Seite 25: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewähr- leistung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 18). Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungs- arbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. -
Seite 26: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 27: Umrechnungstabelle
HG 1 Pa = 1 N/m ETL-Zertifizierung ETL LISTED RECOGNIZED COMPONENT The products CMR 371 … CMR 375 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CSA Standard CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1 3103457 BG 5138 BDE / B... -
Seite 28: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS-Richtlinie 2011/65/EU. Ceramic Capacitance Gauge CMR 371 … CMR 375 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung) - Seite 29 Notizen BG 5138 BDE / B (2019-07)
- Seite 30 Notizen BG 5138 BDE / B (2019-07)
- Seite 31 Notizen BG 5138 BDE / B (2019-07)
- Seite 32 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle aus einer Hand Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente...