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Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten; Tab. 9: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten - Pfeiffer Vacuum CMR 371 Betriebsanleitung

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Technische Daten und Abmessungen

13 Technische Daten und Abmessungen
13.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 9:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 10:
13.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Gasartabhängigkeit
Genauigkeit
36/44
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
3)
Pa
hPa
-3
100
1
1000
1 · 10
5
1
0,01
-5
100
1
-3
1000
10
-3
133,32
1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
CMR 371
CMR 372
CMR 373
CMR 374
CMR 375
CMR 371
CMR 372
CMR 373
CMR 374
CMR 375
kPa
Torr | mm Hg
0,1
0,75
100
750
1 · 10
-3
7,5 · 10
0,1
0,75
1
7,5
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
Wert
1 × 10
-1
hPa (1 V)
1100 hPa (9,8 V)
1000 hPa (FS, 9 V)
1 × 10
-2
hPa (1 V)
110 hPa (9,8 V)
100 hPa (FS, 9 V)
-3
1 × 10
hPa (1 V)
11 hPa (9,8 V)
10 hPa (FS, 9 V)
1 × 10
-4
hPa (1 V)
1,1 hPa (9,8 V)
1 hPa (FS, 9 V)
1 × 10
-5
hPa (1 V)
0,11 hPa (9,8 V)
0,1 hPa (FS, 9 V)
300 kPa
200 kPa
130 kPa
600 kPa
keine
0,15 % des Messwerts
-3
3
/s
-2

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