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Technische Daten und Abmessungen
15 Technische Daten und Abmessungen
15.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 11:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 12:
15.2 Technische Daten
Parameter
Messbereich (Luft, N
Übergangsbereich (Heißkathode -
Pirani)
Einschaltdruck
(Emission)
Ausschaltdruck
(Emission)
Genauigkeit
Wiederholbarkeit
Maximaldruck (absolut)
Messprinzip
Anzahl der Filamente
Filamentmaterial
Reaktionszeit
Tab. 13:
42/50
mbar
bar
1
1 · 10
1000
1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10
0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3
/s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
)
2
Mess- und Druckwerte
Pa
hPa
-3
100
1
1000
1 · 10
5
1
0,01
-5
100
1
-3
1000
10
-3
133,32
1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
-3
1
1,69 · 10
0,133
78,9
0,101
59,8
high (ab Werk)
low
hard
high (ab Werk)
low
hard
high (ab Werk)
low
hard
1 × 10
-8
– 10 hPa
10 – 1000 hPa
-8
-2
1 × 10
– 1 × 10
hPa
1 × 10
-2
– 10 hPa
kPa
Torr | mm Hg
0,1
0,75
100
750
1 · 10
-3
7,5 · 10
0,1
0,75
1
7,5
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
-2
1,27 · 10
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
Wert
5 × 10
-10
– 1000 hPa
5 × 10
–3
– 1 × 10
-2
hPa
1 × 10
–3
– 2 × 10
-3
hPa
direkte Umschaltung
1,3 × 10
–2
hPa
–3
2,6 × 10
hPa
4,0 × 10
–4
hPa
1,5 × 10
–2
hPa
3,0 × 10
–3
hPa
5,2 × 10
–4
hPa
±10 % des Messwerts
±30 % des Messwerts
±5 % des Messwerts
±2 % des Messwerts
≤ 400 kPa, beschränkt auf inerte Ga-
se und Temperaturen < 50 °C
Wärmeleitung nach Pirani und
Bayard-Alpert
2
Iridium, Y
O
-beschichtet
2
3
50 ms
-3
3
/s
-2
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