Pfeiffer Vacuum CMR 361 Betriebsanleitung
Ceramic capacitance gauge
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum CMR 361
- Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N CMR 361 … CMR 365 Ceramic Capacitance Gauge Betriebsanleitung...
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typen- schildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. BG 5136 BDE / C (2019-05) -
Seite 3: Gültigkeit
8 VCR Sie finden die Artikelnummer (No) auf dem Typenschild. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der Messröhre CMR 361 mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinn- gemäß auch für die anderen Messröhren. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal- ten. -
Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Die Ceramic Capacitance Gauges der Serie CMR 36X sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→ 3). Funktion Die CMR-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazi- tiven Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein Gleichspannungs-Ausgangssignal umwandelt. -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marke Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss Betrieb Anzeigen Messröhre abgleichen Werkseinstellung laden (Factory Reset) Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Umrechnungstabelle ETL-Zertifizierung EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→... -
Seite 6: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen •... -
Seite 8: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit PT R24 600 … PT R24 633 0.20% vom Messwert PT R24 640 … PT R24 643 0.50% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt PT R24 600 … PT R24 623 0.0050% F.S./ °C PT R24 630 … PT R24 633 0.015% F.S./ °C PT R24 640 …... - Seite 9 Identifikation der Messröhre Widerstand 13.2 kΩ gegen Speisungserde Speisung GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgerä- te angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ent- sprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzu- sichern. Versorgungsspannung an der Messröhre +14 …...
- Seite 10 Werkstoffe gegen Vakuum Flansch, Rohr Edelstahl AISI 316L Sensor und Membran Keramik (Al ≥99.5%) Verbindung Sensor–Membran Glaskeramiklot Verbindung Keramik–Metall AgTiCu-Hartlot, Vacon 70 (28% Ni, 23% Co, 49% Fe) Inneres Volumen ≤3.6 cm Maximaldruck (absolut) PT R24 600 … PT R24 603 300 kPa PT R24 610 …...
- Seite 11 Abmessungen [mm] DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R AD½" 8 VCR Innengewinde Gewicht ≤370 g BG 5136 BDE / C (2019-05)
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Seite 12: Beziehung Messsignal Analog - Druck
= (U - 1) × c (F.S.) Torr 0.125 12.5 0.094 Beispiel: Messröhre CMR 361 mit 1000 hPa F.S. Messsignal U = 6 V p = (6 V - 1 V) × 0.125 × 1000 hPa = 625 hPa BG 5136 BDE / C... -
Seite 13: Einbau
Einbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >100 kPa Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 14 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. •...
- Seite 15 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden. Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zu- stand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→...
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Seite 16: Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuum- apparatur angeschlossen sein (→ 13). GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messgerä- te angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) ent- sprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzu- sichern. - Seite 17 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. – 13K2 – Elektrischer Anschluss Pin 1 Identifikation Pin 2 Signalausgang (Messsignal) Pin 3 Signalerde Pin 4 Speisung Pin 5 Speisungserde Kabeldose Pin 6 Abschirmung lötseitig Messkabel an die Messröhre anschließen und den Kabel- stecker mit der Arretierungsschraube sichern.
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Seite 18: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Aufwärmzeit • bei allgemeinen Druckmessungen (innerhalb >¼ Stunde der Spezifikationen) • bei Präzisionsmessungen und Nullpunktab- >2 Stunden gleich Anzeigen Nur für Werkseinstellung ZERO Zustand Bedeutung <RUN> leuchtet Messmodus blinkt anderer Modus, Fehler, außerhalb Messbereich Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abge- glichen (→... - Seite 19 Nullpunkteinstellung bei den gleichen und konstanten Umge- bungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei denen die Messröhre normalerweise verwendet wird. Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. Die Änderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage beträgt: F.S. U / 90° ∆...
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Seite 20: Adjust Mit Rampenfunktion
Die Messröhre mind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert stabil ist). Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken. Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die LED <RUN> blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≤8 s) abge- schlossen ist. Taster kurz drücken max. - Seite 21 Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder • einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wand- ler zu erzeugen. Der Offset sollte nicht größer als 2% vom F.S. (+160 mV) sein. Bei größerem positiven Offset wird die obere Messbereichs- grenze überschritten.
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Seite 22: Werkseinstellung Laden (Factory Reset)
Taster <ZERO> erneut drücken: Feineinstellung Zero-Adjust Wert ändert um eine innerhalb 0...3 s: Einheit (Taster ca. 1 mal pro Se- kunde drücken) Richtungswechsel Zero-Adjust Einstellung ändert ihre innerhalb 3...5 s: Richtung (Blinkfrequenz der LED <RUN> ändert kurz) Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. -
Seite 23: Ausbau
Ausbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. -
Seite 24: Instandhaltung, Instandsetzung
Gewähr- leistung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 19). Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungs- arbeiten selber ausführen. BG 5136 BDE / C... -
Seite 25: Produkt Zurücksenden
Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxi- scher, ätzender oder mikrobiologischer Art) können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beile- gen. - Seite 26 WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um- weltschäden verursachen. Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen Vorschriften entsorgen. Unterteilen der Bauteile Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungs- technisch in folgende Kategorien zu unterteilen: •...
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Seite 27: Umrechnungstabelle
1.3332 0.1332 mm HG 1 Pa = 1 N/m ETL-Zertifizierung ETL LISTED The products CMR 361 … CMR 365 • conform to the UL Standard UL 61010-1 • are certified to the CSA Standard CSA C22.2 # 61010-1 3103457 BG 5136 BDE / C... -
Seite 28: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS-Richtlinie 2011/65/EU. Ceramic Capacitance Gauge CMR 361 … CMR 365 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung) - Seite 29 Notizen BG 5136 BDE / C (2019-05)
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- Seite 31 Notizen BG 5136 BDE / C (2019-05)
- Seite 32 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle aus einer Hand Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente...